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    • 14. 发明申请
    • 加熱用窒化アルミニウム基板、加熱装置および加熱用窒化アルミニウム基板の製造方法
    • 加热氮化铝板,加热器和制造加热氮化铝板的工艺
    • WO2008001579A1
    • 2008-01-03
    • PCT/JP2007/061164
    • 2007-06-01
    • 株式会社アライドマテリアル石津 定廣瀬 義幸成田 雅士筑木 保志
    • 石津 定廣瀬 義幸成田 雅士筑木 保志
    • H05B3/10G03G15/20H05B3/00H05B3/16H05B3/20
    • H05B3/0095G03G15/20
    •  簡単な構成で電極部の温度上昇を防止することが可能な加熱用窒化アルミニウム基板、加熱装置および加熱用窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。加熱用窒化アルミニウム基板(100)は、相対的に高い熱伝導率を有する高熱伝導部分(110)と、相対的に低い熱伝導率を有する低熱伝導部分(120)とを備える。高熱伝導部分(110)は、少なくとも発熱体の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。低熱伝導部分(120)は、少なくとも電極の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。セラミックヒーター(1)は加熱用窒化アルミニウム基板(10)と高熱伝導部(11)に形成された発熱層(20)と低熱伝導部分(12)に形成された電極層(30)とを備える。酸化雰囲気中で窒化アルミニウム基板を部分的に酸化して、酸化アルミニウムを含む部分を窒化アルミニウム基板内に形成することによって低熱伝導部分(120)を形成する。
    • 一种加热氮化铝板,通过简单的结构,可以防止电极部分的任何温度升高; 相关加热器 以及这种加热氮化铝板的制造方法。 加热氮化铝板(100)包括具有较高导热率的高导热部分(110)和具有相对较低导热率的低导热部分(120)。 高导热部分(110)设置在平面区域中,以提供至少一部分发热体。 低导热部分(120)设置在平面区域中,以设置至少一部分电极。 提供包括加热氮化铝板(10)的陶瓷加热器(1); 放置在高导热部分(11)中的发热层(20); 和放置在低导热部分(12)中的电极层(30)。 低导热部分(120)在氧化气氛中通过部分氧化氮化铝板形成,从而在氮化铝板中提供含有氧化铝的部分。