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11. 发明申请

WO2012066756A1 触針式測定装置审中-公开
标题翻译：探头测量装置
公开(公告)号：WO2012066756A1
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：PCT/JP2011/006301
申请日：2011-11-10
申请人：株式会社アルバック , 柴智志 , 佐藤誠一 , 矢作充
发明人：柴　智志 , 佐藤　誠一 , 矢作　充
IPC分类号： G01B5/008 , G01B5/00
CPC分类号： G01B5/008 , G01B21/045
摘要：　被測定物に対しＸ軸方向に相対移動自在な門型フレームの上端のビーム３２にリニアガイドを介して支持されるＹ軸ステージ４に触針を支持させた触針式測定装置において、リニアガイドの摩耗による測定精度の悪化を防止する。　リニアガイドは、ビーム３２の下面に固定した一対のガイドレール５１，５２と、各ガイドレール５１，５２の鉛直面に対し傾斜したガイド面５１ａ，５２ａに移動自在に接触する一対の直動軸受５３，５４とで構成される。一方の直動軸受５４は、Ｙ軸ステージ４に対しＸ軸方向及び上下方向に遊動自在とする。Ｙ軸ステージ４に、直動軸受５４をガイドレール５２のガイド面５２ａに押し付けるようにＸ軸方向に付勢する付勢手段５５を設けると共に、ビーム３２側に、直動軸受５４を下方に付勢する第２付勢手段５６を設けて、両付勢手段５５，５６の付勢力の合力のベクトル方向をガイド面５２ａの法線方向に合致させる。
摘要翻译：一种探针测量装置，其中探针由Y轴支架（4）支撑，所述Y轴支架通过线性引导件支撑在门架框架的顶部处的梁（32），所述梁（X）在X轴方向上相对于物体自由移动被测量，其中防止了由于直线导轨的磨损引起的测量精度的劣化。线性引导件由固定在梁（32）的下表面的一对导轨（51,52）和与引导面（51a）可移动接触的一对直线运动轴承（53,54），52a），它们相对于导轨（51,52）的垂直平面倾斜。其中一个直线运动轴承（54）在X轴方向和相对于Y轴平台（4）的垂直方向上自由浮动。将直线运动轴承（54）沿X轴方向推压的推动装置（55）以使轴承抵靠导轨（52）的引导面（52a）的方式被设置在 Y轴平台（4），向下推动直线运动轴承（54）的第二推动装置（56）设置在梁（32）侧上，并且向上的向量的方向因此，促使装置（55,56）的推压力与引导面（52a）的法线方向一致。

12. 发明申请

WO2011052426A1 太陽電池の評価装置及び評価方法审中-公开
标题翻译：太阳能电池评估装置及评估方法
公开(公告)号：WO2011052426A1
公开(公告)日：2011-05-05
申请号：PCT/JP2010/068357
申请日：2010-10-19
申请人：株式会社アルバック , 山室和弘 , 南展史 , 矢作充 , 湯山純平
发明人：山室　和弘 , 南　展史 , 矢作　充 , 湯山　純平
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H02S50/10
摘要：　この太陽電池の評価方法は、基板（１１）上に少なくとも第一電極層（１３），半導体層（１４），及び第二電極層（１５）をこの順に重ねられた光電変換体（１２）と、光電変換効率が評価される所定領域と、前記所定領域の周辺に位置する周辺領域とを含む太陽電池（１０）を準備し、前記所定領域の前記半導体層（１４）及び前記第二電極層（１５）を前記周辺領域から電気的に絶縁し、前記半導体層（１４）及び前記第二電極層（１５）が前記周辺領域から電気的に絶縁された前記所定領域を含む領域に光を照射し、前記所定領域を含む領域に光を照射されている時の前記所定領域における電流電圧特性を測定する。
摘要翻译：本发明提供一种太阳能电池评价方法，其中，至少具有第一电极层（13），半导体层（14）和第二电极层（15）的太阳能电池（10）包括光电转换体（12）依次层叠基板（11），评价光电转换效率的规定区域和位于规定区域周边的周边区域，半导体层（14）和第二电极预定区域中的层（15）与周边区域电绝缘，包含半导体层（14）和第二电极层（15）与周边区域电绝缘的预定区域的区域被照射，并且测量当包含预定区域的区域被光照射时的预定区域中的电流 - 电压特性。

13. 发明申请

WO2009148070A1 アライメント機能付きステージ及びこのアライメント機能付きステージを備えた処理装置並びに基板アライメント方法审中-公开
标题翻译：具有对准功能的阶段，具有对准功能的阶段的处理装置和基板对准方法
公开(公告)号：WO2009148070A1
公开(公告)日：2009-12-10
申请号：PCT/JP2009/060118
申请日：2009-06-03
申请人：株式会社アルバック , 佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 高橋誠
发明人：佐藤　誠一 , 矢作　充 , 南　展史 , 武者　和博 , 高橋　誠
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q1/01 , B65G49/06 , B65G49/07 , H01L21/304 , H01L21/68 , B05C13/00
CPC分类号： H01L21/68785 , B65G49/061 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G2249/045 , H01L21/68 , H01L21/6838
摘要：　処理対象物の重量が重い場合でも、特にθ方向の位置合わせを高精度かつ容易に行い得る低コストのアライメント機能付きステージを提供する。基板（Ｓ）をその処理面を開放して保持するステージ本体（４ａ）を備えたアライメント機能付きステージを有し、基板の処理面に背向する他面に吸着自在な吸着手段（８）と、前記吸着手段での吸着箇所以外の領域に気体を供給する気体供給手段（９）と、前記吸着手段を回転中心として基板が同一平面内で回転されるように前記吸着手段に回転力を付与する駆動手段（１０）とを備える。
摘要翻译：具有对准功能的廉价阶段能够精确地和容易地定位待处理的物体，特别是在即使待处理对象很重。治疗装置包括具有对准功能的台阶，其配备有用于在暴露待治疗的表面的同时保持基底（S）的台体（4a）。处理装置还包括：吸引装置（8），被吸引到被处理面的相对侧的基板的另一个面上;气体供给装置（9），用于将气体供给除吸入区域以外的区域以及驱动装置（10），用于为吸引装置提供扭矩，使得基板能够在与吸附装置相同的平面内旋转。

14. 发明申请

WO2009063906A1 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法审中-公开
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：WO2009063906A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/JP2008/070589
申请日：2008-11-12
申请人：株式会社アルバック , 佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
发明人：佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
IPC分类号： B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： B65G49/064 , B32B37/1018 , B32B38/1833 , B32B2038/1891 , B32B2457/202 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , H01L21/67092
摘要：　上基板と下基板とを位置合わせし、貼り合わせて貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって：前記下基板を支持するベース部と；前記ベース部から立設された第一支持棒と；前記第一支持棒に沿って上下移動可能であり、前記上基板を保持可能である上加圧部材と；前記上加圧部材から独立して上下移動可能である上部チャンバ部材および下部チャンバ部材を含む貼合せ処理室と；を備え、前記上加圧部材が移動することで、前記貼合せ処理室の内部で前記上基板と前記下基板とを貼り合わせ可能であり、前記上部チャンバ部材および前記下部チャンバ部材が、互いに当接する方向または離間する方向に同時に移動可能であることを特徴とする貼合せ基板製造装置。
摘要翻译：公开了一种用于通过使上基板和下基板彼此对准和结合来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设有用于支撑下基板的基部; 从所述基部直立设置的第一支撑杆; 上部加压构件，其可以沿着所述第一支撑杆垂直移动并保持所述上部基板; 以及接合处理室，其包括能够独立于上部加压构件垂直移动的上部室构件和下部室构件。上基板和下基板可以通过移动上加压构件而在接合处理室内部彼此接合。上室构件和下室构件可以在构件彼此抵接的方向或者构件彼此分离的方向上同时移动。

15. 发明申请

WO2007129551A1 印刷装置审中-公开
标题翻译：打印设备
公开(公告)号：WO2007129551A1
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：PCT/JP2007/058618
申请日：2007-04-20
申请人：株式会社アルバック , 内田寛人 , 崎尾進 , 竹井日出夫 , 矢作充 , 湯山純平 , 沢森朗 , 遠藤茂 , 杉本道治
发明人：内田寛人 , 崎尾進 , 竹井日出夫 , 矢作充 , 湯山純平 , 沢森朗 , 遠藤茂 , 杉本道治
IPC分类号： B05C5/00 , B05C9/10
CPC分类号： B41J29/17 , B41J2/16532 , B41J2/16585 , B41J29/377
摘要：【課題】塗布層への塵の混入が無い印刷装置を提供する。【解決手段】本願の印刷装置１は第一の噴出ヘッド４０と印刷ヘッド３０とを有しており、第一の噴出ヘッド４０は印刷ヘッド３０よりも移動方向Ｄ先頭側に位置する。印刷対象物５にインクが着弾する前に、第一の噴出ヘッド４０から除電ガスが吹き付けられて印刷対象物５が除電され、塵が除去されるので、塗布層１２には塵が混入しない。また、噴出孔４６とノズル領域３２の間には吸引孔４７が配置されており、ノズル領域３２には除電ガスの気流が発生しなので、ノズル３５のメニスカスも乱れない。
摘要翻译： [问题]提供一种在涂层中不混合灰尘的打印装置。解决问题的手段打印装置（1）设置有第一喷射头（40）和打印头（30），并且第一喷射头（40）位于打印头（30）的前方移动方向（D）。由于要进行打印的物体（5）的电荷被从第一喷射头（40）吹出的电荷中和气体中和，并且在墨水落在物体（5）之前除去灰尘，所以不会混合灰尘在涂层（12）中。此外，由于在喷射口（46）和喷嘴区域（32）之间设置有吸入孔（47），在喷嘴区域（32）中没有产生中和气体流动，喷嘴（35）的弯液面也不会受到干扰。

16. 发明申请

WO2007105455A1 ステージ装置审中-公开
标题翻译：舞台设备
公开(公告)号：WO2007105455A1
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：PCT/JP2007/053354
申请日：2007-02-23
申请人：株式会社アルバック , 田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史
发明人：田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史
IPC分类号： H01L21/68 , B23Q1/01
CPC分类号： H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70791 , G03F7/70975
摘要：　陸送可能に分割できるとともに被処理基板に対する適正な処理を確保できるステージ装置を提供する。　被処理基板Ｗを支持する基板支持面と、基板支持面を挟んで対向配置された一対のガイドフレーム（１３Ｘ）と、一対のガイドフレーム（１３Ｘ）間にわたって延在し一対のガイドフレーム（１３Ｘ）に対して移動自在に支持されたガントリー（１３Ｙ）と、ガントリー（１３Ｙ）に設置された基板処理ユニット（１４）とを備え、ガイドフレーム（１３Ｘ）は、基板処理ユニット（１４）による基板処理に必要とされるガントリー（１３Ｙ）の移動経路（作業領域Ｒ１）を形成するメインフレーム部（１５Ａ）と、メインフレーム部（１５Ａ）の長さ方向の一端部または両端部に接続され、ガントリー（１３Ｙ）の非作業位置（非作業領域Ｒ２）までの移動経路を形成するサブフレーム部（１５Ｂ）との結合体で構成されている。
摘要翻译：可以被分割以使其能够由陆地运输并且可以适当地处理基底的舞台装置。舞台装置具有用于支撑待处理的基板（W）的基板支撑表面，跨越基板支撑表面彼此相对设置的一对引导框架（13X），安装成跨越所述一对引导框架（13X）和可移动地支撑在所述一对引导框架（13X）上，以及安装在所述台架（13Y）上的基板处理单元（14）。引导框架（13X）是主框架部件（15A）和副框架部件（15B）的连接体。主框架部件（15A）形成由基板处理单元（14）处理基板所需的路线的台架（13Y）的移动路线（工作区域R1）。子框架部分15B连接到主框架部分15A的纵向方向上的一端或两端，形成台架13Y的移动路线到非工作位置（非工作状态）面积（R2））。

17. 发明申请

WO2009123040A1 太陽電池の製造方法，太陽電池の製造装置，及び太陽電池审中-公开
标题翻译：太阳能电池制造方法，太阳能电池制造装置和太阳能电池
公开(公告)号：WO2009123040A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/JP2009/056249
申请日：2009-03-27
申请人：株式会社アルバック , 山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
发明人：山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
IPC分类号： H01L31/04 , G01R31/00
CPC分类号： H01L31/208 , H01L31/0463 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：　この太陽電池の製造方法は、複数の区画素子（２１，２１ｓ）を含み、互いに隣接する前記区画素子（２１，２１ｓ）どうしが電気的に接続された光電変換体（１２）を形成し、前記光電変換体（１２）のうち、構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）を有する第１区画素子（２１ｓ）を特定し、互いに隣接する前記区画素子（２１，２１ｓ）どうしの間で複数個所の抵抗値を測定して得られる抵抗値の分布に基づき、欠陥部位を特定することにより、前記第１区画素子（２１ｓ）内で構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位を限定し、前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位を含む前記第１区画素子（２１ｓ）と、前記第１区画素子（２１ｓ）に隣接する第２区画素子（２１）との間の境界部（１９）を横断するように、前記第１区画素子（２１ｓ）及び前記第２区画素子（２１）にレーザー光線を照射し、前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）を除去もしくは分離する。
摘要翻译：公开了一种太阳能电池的制造方法，其中形成有包括多个隔室元件（21,21s）的光电转换器（12），并且其中相邻的上述隔间元件（21,21s）彼此电连接。在上述光电转换器（12）内，规定具有结构缺陷（R，A1，A2，A3）的第一隔室元件（21s），并且通过基于通过测量多个电阻值获得的电阻值的分布来指定缺陷位置定义相互相邻的隔间元件（21,21s）之间的位置，在上述第一隔室元件（21s）内存在结构缺陷（R，A1，A2，A3）的位置，并将激光施加到上述第一隔室元件（21s）和与上述第一隔室元件（21s）相邻的第二隔室元件（21），以跨过上述第一隔室元件（21s）之间的边界部分（19），其包括上述结构缺陷（R ，A1，A2，A3），并且上述第二隔室元件（21）和上述缺陷（R，A1，A2，A3）被消除或隔离。

18. 发明申请

WO2009028527A1 ステージ装置审中-公开
标题翻译：阶段装置
公开(公告)号：WO2009028527A1
公开(公告)日：2009-03-05
申请号：PCT/JP2008/065245
申请日：2008-08-27
申请人：株式会社アルバック , 田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史 , 高橋誠 , 伊藤慎也
发明人：田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史 , 高橋誠 , 伊藤慎也
IPC分类号： H01L21/68 , B05C5/00 , B23Q1/00
CPC分类号： B65H1/00 , B41J11/06 , B65H2405/312 , B65H2701/11312 , B65H2801/15
摘要：　本設置場所での組み立て精度が高く、作業が容易なステージ装置を提供する。本発明のステージ装置（５）では、主ベース板（１１）上の第一、第二の主レール（１７ａ，１７ｂ）にそれぞれ接続され、第一、第二の主レール（１７ａ，１７ｂ）を延長させる副レール（１８）が、別々の副ベース板（２１）上に設けられている。従って、副ベース板（２１）を位置合わせして主ベース板（１１）に固定する際に、既に主ベース板（１１）に固定されている副ベース（２１）板の位置合わせ精度に影響が及ばない。
摘要翻译：提供了一种台架装置，其组装精度高，并且在实际安装地点容易进行。在平台装置（5）中，分别与主底板（11）上的第一和第二主导轨（17a和17b）连接的辅助导轨（18），从而使第一和第二主导轨（17a和17b））安装在不同的辅助基板（21）上。因此，在辅助基板21被固定在主基板11上的情况下，对已经固定在主基板11上的辅助基板21的定位精度没有影响）。

19. 发明申请

WO2009004913A1 被膜形成方法审中-公开
标题翻译：涂层成型方法
公开(公告)号：WO2009004913A1
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：PCT/JP2008/061015
申请日：2008-06-17
申请人：株式会社アルバック , 宮田貴裕 , 村田真朗 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三 , 吉良敦史 , 不破耕 , 田中愛 , 奥野亨 , 崎尾進
发明人：宮田貴裕 , 村田真朗 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三 , 吉良敦史 , 不破耕 , 田中愛 , 奥野亨 , 崎尾進
IPC分类号： B05D1/26 , B05D3/00 , B41J2/01
CPC分类号： B41J2/155
摘要：　筋の見えない被膜を形成する。基板７上で、第一の印刷ヘッド２０ａと、第二の印刷ヘッド２０ｂとが重なる範囲では、第一の印刷ヘッド２０ａから吐出された第一の吐出液が着弾する着弾位置と、第二の印刷ヘッド２０ｂから吐出された第二の吐出液が着弾する着弾位置とを混在させる。どちらの吐出液が着弾するかは乱数に従って決定する。第一の吐出液によって形成される被膜３０ａと、第二の吐出液によって形成される被膜３０ｂの間に第一、第二の吐出液が混在して形成される被膜３０ｃが配置されるので、境界がぼやけ、筋が見えなくなる。
摘要翻译：旨在形成具有无条纹外观的外套。在第一印刷头（20a）和第二印刷头（20b）重叠的基板（7）的范围内，混合从第一印刷头（20a）排出的第一排出液体的喷射位置和第二喷射液体从第二打印头（20b）排出。由随机数决定哪个排出的液体被喷射。通过混合第一和第二排出液形成的涂层（30c）被布置在由第一排出液体形成的涂层（30a）和由第二排出液体形成的涂层（30b）之间，使得边界变得模糊使条纹消失。

20. 发明申请

WO2011024750A1 太陽電池の評価方法及び評価装置审中-公开
标题翻译：用于评估太阳能电池的方法和装置
公开(公告)号：WO2011024750A1
公开(公告)日：2011-03-03
申请号：PCT/JP2010/064169
申请日：2010-08-23
申请人：株式会社アルバック , 山室和弘 , 南展史 , 矢作充 , 湯山純平
发明人：山室　和弘 , 南　展史 , 矢作　充 , 湯山　純平
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H02S50/10
摘要：　この太陽電池の評価方法は、基板（１１）上に少なくとも第一電極層（１３），半導体層（１４），及び第二電極層（１５）がこの順に重ねられて電気的に接続された複数の区画素子（２１）を含む光電変換体（１２）と、前記光電変換体（１２）において前記半導体層（１４）及び前記第二電極層（５）を除去するスクライブ線（１９）とを有する太陽電池（１０）を準備し、評価対象の前記区画素子（２１）において、所定領域（Ｄ１）を周辺領域から絶縁し、絶縁された前記所定領域（Ｄ１）を含む領域に光を照射し、光照射時の前記所定領域（Ｄ１）における電流電圧特性を測定して太陽電池を評価する。
摘要翻译：在提供的太阳能电池评估方法中，首先制备太阳能电池（10），所述太阳能电池具有：具有多个部分元件（21）的光电转换器（12），其中至少第一电极层（13），半导体层（14）和第二电极层（15）依次层叠在基板（11）的上部，并电连接; 以及去除光电转换器（12）上的半导体层（14）和第二电极层（15）的划线（19）。太阳能电池的评价如下：在要评价的截面元件（21）中，规定区域（D1）与周围区域绝缘，在包含绝缘规定区域（D1）的区域上照射光，测量规定区域（D1）照明时的电流特性和电压特性。

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