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1. 发明申请

WO2016151101A3 METHOD FOR CORRECTING COORDINATE MEASUREMENT MACHINE ERRORS 审中-公开
标题翻译：校正坐标测量机错误的方法
公开(公告)号：WO2016151101A3
公开(公告)日：2016-10-27
申请号：PCT/EP2016056623
申请日：2016-03-24
申请人： NIKON METROLOGY NV
发明人： STOTT CHRISTOPHER , OSBORNE NICHOLAS PATRICK , VANDENHOUDT GEERT
IPC分类号： G01B21/04 , H01B7/00 , H01B11/00
CPC分类号： G01B21/045 , G01B21/047
摘要： The invention provides a method for creating or refining a mathematical correction model for correcting dybamic measurement errors in a co-ordinate measurement machine having at least 3 linear machine axes X, Y, and Z, each comprising a machine linear scale, and provided with a measurement probe. An error model for considering acceleration errors is created and refined using actual measurements of the probe position when accelerating. Also the probe offset from the linear translation axes is considered.
摘要翻译：本发明提供了一种用于在具有至少3个线性机器轴X，Y和Z的坐标测量机器中产生或精炼用于校正动态测量误差的数学校正模型的方法，每个线性机器轴线X，Y和Z各自包括机器线性刻度，测量探头。考虑加速度误差的误差模型是通过加速时探头位置的实际测量来创建和改进的。此外，考虑了与线性平移轴偏移的探头。

2. 发明申请

WO2016023069A1 A METHOD OF SETTING-UP A RANGE-BASED TRACKING SYSTEM UTILISING A TRACKING COORDINATE SYSTEM 审中-公开
标题翻译：一种利用跟踪协调系统设置基于范围的跟踪系统的方法
公开(公告)号：WO2016023069A1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：PCT/AU2015/000484
申请日：2015-08-12
申请人： COMMONWEALTH SCIENTIFIC AND INDUSTRIAL RESEARCH ORGANISATION
发明人： HEDLEY, Mark , POPESCU, Dan
IPC分类号： G01S5/00 , H04B7/26
CPC分类号： G01B21/045 , G01S5/0226 , G01S5/0289 , G01S5/0294 , G01S2205/007
摘要： Described herein is a method of setting-up a range-based tracking system utilising a tracking coordinate system that uses a plurality of spaced apart stationary nodes for tracking objects within a tracking environment. The method includes the step of transmitting signals between the stationary nodes to obtain range information between at least a subset of pairs of the nodes and determining coordinates for all of the stationary nodes in a node coordinate system using these range information. The method also includes the step of obtaining spatial information related to at least one of the nodes, the spatial information being indicative of one or more features or locations within the tracking environment and determining the location of all stationary nodes in the tracking coordinate system, wherein some or all of the coordinates of the stationary nodes are used for tracking objects in the tracking system.
摘要翻译：这里描述了一种使用跟踪坐标系建立基于范围的跟踪系统的方法，所述跟踪坐标系使用多个间隔开的固定节点来跟踪跟踪环境内的对象。该方法包括在固定节点之间发送信号的步骤，以使用这些范围信息在节点坐标系统中的至少一对节点之间获得范围信息，并确定节点坐标系统中所有固定节点的坐标。该方法还包括获得与至少一个节点有关的空间信息的步骤，空间信息指示跟踪环境内的一个或多个特征或位置，并确定跟踪坐标系中所有固定节点的位置，其中固定节点的一些或所有坐标用于跟踪跟踪系统中的对象。

3. 发明申请

WO2016009783A1 超音波探触子、その性能評価方法及び超音波診断装置审中-公开
标题翻译：超声波探头，其性能评估方法及超声波诊断设备
公开(公告)号：WO2016009783A1
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：PCT/JP2015/067746
申请日：2015-06-19
申请人：日立アロカメディカル株式会社
发明人：竹崎　泰一 , 町田　俊太郎 , 龍崎　大介
IPC分类号： G01B7/00 , A61B8/00 , G01B17/00
CPC分类号： A61B8/4483 , A61B8/4444 , A61B8/4494 , A61B8/5207 , A61B8/58 , B06B1/0292 , G01B7/14 , G01B17/02 , G01B21/045
摘要：　ＣＭＵＴを用いた超音波探触子について、空洞高さを高い精度で測定でき、超音波探触子における最大送信音圧を正確に把握することができる技術を提供する。本発明の超音波探触子は、それぞれが、下部電極と、当該下部電極に対し間隙を持って配置された上部電極とを有する複数のセルを備え、複数のセルは、間隙が空洞であって超音波を送受信する超音波セル１２１と、間隙が導電材料で充填された参照セル１２２とを含む。超音波セルと参照セルの静電容量を測定し、超音波セルについて測定された静電容量に含まれる寄生容量を、参照セルについて測定された静電容量に含まれる寄生容量を用いて補正し、補正された超音波セルの静電容量から空洞高さを算出する。
摘要翻译：提供了能够以高精度测量使用CMUT的超声波探头中的腔体高度并且能够精确地确定超声波探头中的最大透射声压的技术。本发明的超声波探头设置有多个电池，每个电池具有下部电极和上部电极，其设置成相对于下部电极具有间隙，所述多个电池包括：超声波电池121 其间隙是空腔并且发送和接收超声波; 以及其中间隙被导电材料填充的参考单元122。测量超声波单元的电容和参考单元的电容，通过使用包括在参考单元的测量电容中的寄生电容来校正包括在超声波单元的测量电容中的寄生电容，并且从超声波电池的校正电容。

4. 发明申请

WO2015125178A1 Ｘ線厚さ計审中-公开
标题翻译： X射线厚度计
公开(公告)号：WO2015125178A1
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：PCT/JP2014/002677
申请日：2014-05-22
申请人：株式会社東芝
发明人：賀川　武
IPC分类号： G01B15/02
CPC分类号： G01B15/02 , G01B21/045
摘要：本発明は、厚さ校正済みのＸ線厚さ計の照射線量の温度ドリフトによる測定誤差を、簡易な構成で、測定中であっても補正が可能なＸ線厚さ計を提供することを目的とする。Ｘ線管１ａを冷却媒体で冷却する冷却部１ｂと、当該Ｘ線管に印加する電源を供給する電源部１ｃと、を備えるＸ線発生器１と、被測定物４を透過した検出照射線量を検出する検出器５と、厚さ基準片を備える校正装置２と、校正テーブルを参照して被測定物の厚さを求める演算部６と、を備えるＸ線厚さ計１００であって、前記冷却媒体の温度を測定する温度センサ７を備え、演算部は、校正時の冷却媒体の温度と、測定中の冷却媒体の温度と、の温度差に対応する検出照射線量を求める温度補正テーブルを予め備え、温度補正テーブルを参照して検出照射線量を求め、さらに、校正テーブルを参照して厚さを求めるＸ線厚さ計。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种X射线厚度计，其中使用简单的结构，可以校正在执行厚度校准之后由所述X射线厚度计传送的辐射量的温度漂移引起的测量误差即使在进行测量的过程中。所述X射线测厚仪（100）具备如下：X射线发生器（1）具有使用冷却介质冷却X射线管（1a）的冷却单元（1b）和功率 - 供给单元（1c），其供给施加到所述X射线管的电力; 检测器（5），其检测已经通过被测量的物体（4）的传送的检测辐射; 设置有厚度参考样本的校准装置（2）以及参考校准表以确定被测量物体的厚度的计算单元（6）。该X射线测厚仪还设有测量冷却介质温度的温度传感器（7）。计算单元预先设置有温度校正表，从而可以确定与校准期间的冷却介质的温度和测量期间的冷却介质的温度之间的差相应的检测放射线输送量。计算单元参考所述温度校正表以确定要传送的检测辐射的量，并参考上述校准表以确定上述厚度。

5. 发明申请

WO2015062594A1 VERFAHREN ZUR DICKENMESSUNG AN MESSOBJEKTEN UND VORRICHTUNG ZUR ANWENDUNG DES VERFAHRENS 审中-公开
标题翻译： DICK测量的度量对象和设备的程序中的应用方法
公开(公告)号：WO2015062594A1
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：PCT/DE2014/200431
申请日：2014-08-28
申请人： MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GMBH & CO. KG
发明人： FUELLMEIER, Herbert , SCHALLMOSER, Guenter
IPC分类号： G01B21/04 , G01B21/08
CPC分类号： G01B11/06 , G01B11/14 , G01B21/042 , G01B21/045 , G01B21/08 , G01B2210/44
摘要： Ein Verfahren zur Dickenmessung an Messobjekten, wobei nnindestens ein Sensor von der Oberseite und nnindestens ein weiterer Sensor von der Unterseite gegen das Objekt misst und bei bekanntem Abstand der Sensoren zueinander die Dicke des Objekts gemäß der Formel D = Gap - (S1 + S2) berechnet wird, wobei D = Dicke des Messobjekts, Gap = Abstand der Sensoren zueinander, S1 = Abstand des oberen Sensors zur Oberseite des Messobjekts und S2 = Abstand des unteren Sensors zur Unterseite des Messobjekts, ist gekennzeichnet durch die Kompensation eines durch Verkippung des Messobjekts und/oder durch Versatz der Sensoren und/oder durch Verkippung der Sensoren bedingten Messfehlers, wobei der Versatz und/oder die Verkippung durch Kalibrierung ermittelt und die berechnete Dicke bzw. das berechnete Dickenprofil entsprechend korrigiert wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Anwendung des Verfahrens.
摘要翻译：一种用于测量对象的厚度测定方法，其特征在于，nnindestens从顶部的传感器和nnindestens的针对该对象的底部措施进一步的传感器和另一种，根据公式D =在传感器之间的已知距离差距的物体的厚度 - 计算（S1 + S2）是，其中D =该测量对象物的厚度，间隔=传感器之间的距离，S1 =距离上传感器来测量对象的上表面的，和S2 =下传感器来测量对象的底部的距离，其特征在于的所述补偿通过倾斜测量对象和/ 或由传感器的位移和/或通过相关的测量误差的传感器，倾斜，其中，所述偏移和/或通过校准确定的倾斜和厚度计算和计算出的厚度分布被相应地修正。此外，本发明涉及一种装置，用于施加所述的方法。

6. 发明申请

WO2015022398A1 REDUZIEREN VON FEHLERN EINER DREHVORRICHTUNG, INSBESONDERE FÜR DIE BESTIMMUNG VON KOORDINATEN EINES WERKSTÜCKS ODER DIE BEARBEITUNG EINES WERKSTÜCKS 审中-公开
标题翻译：异径轮作系统错误，特别是用于测定坐标工件或加工工件
公开(公告)号：WO2015022398A1
公开(公告)日：2015-02-19
申请号：PCT/EP2014/067410
申请日：2014-08-14
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： SAGEMÜLLER, Rainer , SEITZ, Dominik
IPC分类号： G01D5/244 , G01B21/04
CPC分类号： G05B19/402 , G01B21/045 , G01D5/24428 , G05B2219/50047
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reduzieren von Fehlern einer Drehvorrichtung (11, 12), welche einen ersten Teil (12) und einen relativ zu dem ersten Teil (12) um eine Drehachse (A1) der Drehvorrichtung (11, 12) drehbaren, zweiten Teil (11) sowie eine Drehpositions-Messvorrichtung (74, 75) zur Messung von Drehpositionen des ersten Teils (12) und des zweiten Teils (11) relativ zueinander aufweist, wobei die Drehpositions-Messvorrichtung (74, 75) einen Drehpositionssensor (74) und einen für die Messung der Drehposition mit dem Drehpositionssensor (74) zusammenwirkenden Messkörper (75) aufweist, wobei der Drehpositionssensor (74) mit dem ersten Teil (12) und der Messkörper (75) mit dem zweiten Teil (11) verbunden ist oder umgekehrt, und wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: - (21): Fehler der Drehvorrichtung (11, 12) aufgrund von Abweichungen zwischen tatsächlichen Positionen und tatsächlichen Ausrichtungen der Drehachse (A1) einerseits und entsprechenden idealen Positionen und einer idealen Ausrichtung einer idealen Drehachse (A2) der Drehvorrichtung (11, 12) andererseits werden in einem Bereich von Drehwinkeln, d.h. bei verschiedenen Drehstellungen des ersten Teils (12) und des zweiten Teils (11) relativ zueinander, gemessen und entsprechende Fehlermesswerte erhalten, - (23): aus den Fehlermesswerten werden erwartete Schwankungen der radialen Position des ersten Teils (12) oder des zweiten Teils (11) der Drehvorrichtung und/oder Schwankungen der Position des ersten Teils (12) oder des zweiten Teils (11) bezüglich einer Richtung tangential zur Drehrichtung der Drehvorrichtung» die aufgrund einer Abweichung der Drehbewegung der Drehvorrichtung (11, 12) von einer idealen Drehbewegung um die ideale Drehachse (A2) entstehen» für eine Mehrzahl von Drehpositionsmessorten des Drehpositionssensors (74) ermittelt, an denen der Drehpositionssensor (74) die Drehposition der Drehvorrichtung messen kann, - (25): unter Berücksichtigung der erwarteten Schwankungen wird zumindest ein Drehpositionsmessort des Drehpositionssensors (74) ermittelt, für den die erwarteten Schwankungen der Position bezüglich der Richtung tangential zur Drehrichtung ○ kleiner sind als für andere mögliche Drehpositionsmessorte und/oder ○ eine vorgegebene Bedingung erfüllen.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于降低旋转装置的误差（11，12）包括第一部分（12）和一个相对于围绕旋转轴的旋转装置的（A1）（11，12）可旋转的第二所述第一部分（12）部分（11）和用于测量所述第一部分（12）和第二部分（11）相对于彼此，其中所述旋转位置测量装置（74，75）包括旋转位置传感器的旋转位置的旋转位置检测装置（74，75）（74）和一个用于旋转位置由旋转位置传感器协作测量体（75）的测量（74），其中所述旋转位置传感器（74）与第一部分（12）和测量体（75）与所述第二部分（11），或反之亦然并且该方法包括以下步骤： - ：由于一方面和相应的理想宝的实际位置和所述旋转轴线（A1）的实际取向之间的偏离的旋转装置的误差（11，12）（21）位数和理想枢转轴线的旋转装置的（A2）（11，12）的上另一方面理想的对准是在一个范围内的旋转角度，即，在第一部分（12）和第二部分（11）相对于彼此，测量的不同的旋转位置，将获得相应的误差度量， - （23）：从预期在第一部分（12）的径向位置变化的误差测量或第二部分的是（ 11）的在所述第一部分（12）或所述第二部分的位置转动装置和/或变体（11）相对于从约一个理想的旋转运动的切向于旋转装置“，其中（由于转动单元11，12）的旋转运动的偏差的旋转方向的方向旋转理想轴线（A2）的结果“用于多个旋转位置传感器的旋转位置的测量位置（74）被确定在该旋转位置传感器（74）能够测量所述旋转装置的旋转位置， - （25）：考虑到预期的变化，至少一个Drehpositionsmessort旋转位置传感器确定与在的位置相对于所述预期变化（74）方向旋转的方向切向地○○小满足比其他可能的旋转位置测量的位置和/或预定条件。

7. 发明申请

WO2014187012A1 测长机日常检测与自动补正方法审中-公开
公开(公告)号：WO2014187012A1
公开(公告)日：2014-11-27
申请号：PCT/CN2013/078249
申请日：2013-06-28
申请人：深圳市华星光电技术有限公司
发明人：黄文德 , 张岳妍 , 朱厚毅
IPC分类号： G01B11/02 , G02F1/13
CPC分类号： G01B21/042 , G01B9/02055 , G01B9/02072 , G01B21/04 , G01B21/045
摘要：一种测长机日常检测与自动补正方法，包括：步骤1、在预设日常检测时间到达时，判断机台运行状况；步骤2、当机台处于空闲状态时，则停止进片；步骤3、测量机台上用于承载基板的平台上对位标记的坐标值，生成平台测量数据档，并将该测量得到的对位标记坐标值与预设标准坐标值进行对比；步骤4、如果测量的对位标记坐标值与预设标准坐标值之间的差异在预定差异范围内，则自动计算补正量，并将该补正量更新到平台坐标系参数档，完成自动补正；如果测量的对位标记坐标值与预设标准坐标值之间的差异超出预定差异范围，则报警提示；步骤5、根据预判的差异超出预定差异范围的原因，作出继续自动补正、不自动补正或进行大片基板测量确认。

8. 发明申请

WO2013140118A8 METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING WORKPIECES 审中-公开
标题翻译：检查工作的方法和装置
公开(公告)号：WO2013140118A8
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：PCT/GB2013000125
申请日：2013-03-21
申请人： RENISHAW PLC
发明人： JONAS KEVYN BARRY
IPC分类号： G01B21/04
CPC分类号： G01B21/045
摘要： Methods are described for measuring series of nominally identical production workpieces (10) on a dimensional measuring apparatus such as a coordinate measuring machine (12-20). One master workpiece of the series is calibrated (84), to provide correction values which are used to build an error map (86) of the measuring apparatus. This map is used to correct measurements not only of subsequent nominally identical workpieces of the same series (88), but also of multiple different subsequent series (90) of different workpieces. Each subsequent series also has a master workpiece which is calibrated (84) and used to further build the error map (86). As this process is repeated over time, the error map becomes more and more densely populated. In due course, it becomes possible to dispense with the use of a calibrated master workpiece, because measurements can be corrected using error values which already exist in the error map.
摘要翻译：描述了用于在诸如坐标测量机（12-20）的尺寸测量装置上测量名义上相同的生产工件（10）的系列的方法。对系列的一个主工件进行校准（84），以提供用于构建测量装置的误差图（86）的校正值。该图用于校正不仅相同系列（88）的后续名义上相同的工件的测量，而且还用于不同工件的多个不同后续系列（90）的测量。每个随后的系列还具有被校准的主工件（84），并用于进一步构建误差图（86）。随着这个过程随着时间的推移而重复，错误图变得越来越密集。在适当的时候，可以省略使用校准的主工件，因为可以使用误差图中已经存在的误差值来校正测量值。

9. 发明申请

WO2014149702A1 THREE-DIMENSIONAL COORDINATE SCANNER AND METHOD OF OPERATION 审中-公开
标题翻译：三维坐标扫描仪及其操作方法
公开(公告)号：WO2014149702A1
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：PCT/US2014/020481
申请日：2014-03-05
申请人： FARO TECHNOLOGIES, INC.
发明人： BECKER, Bernd-Dietmar , BRIDGES, Robert E.
IPC分类号： G01B21/04 , G01S17/66 , G01B5/004 , G01B11/00 , G01B11/25 , G01B11/245
CPC分类号： G01B11/2513 , G01B11/245 , G01B21/045
摘要： A noncontact optical three-dimensional measuring device that includes a first projector, a first camera, a second projector, and a second camera; a processor electrically coupled to the first projector, the first camera, the second projector, and the second camera; and computer readable media which, when executed by the processor, causes the first digital signal to be collected at a first time and the second digital signal to be collected at a second time different than the first time and determines three-dimensional coordinates of a first point on the surface based at least in part on the first digital signal and the first distance and determines three-dimensional coordinates of a second point on the surface based at least in part on the second digital signal and the second distance.
摘要翻译：一种非接触光学三维测量装置，包括第一投影仪，第一相机，第二投影仪和第二相机; 电耦合到第一投影仪，第一相机，第二投影仪和第二相机的处理器; 以及计算机可读介质，所述计算机可读介质在由所述处理器执行时使得所述第一数字信号在第一时间被收集，并且所述第二数字信号将在与所述第一时间不同的第二时间收集，并且确定所述第一数字信号的第一数字信号至少部分地基于所述第一数字信号和所述第一距离在所述表面上指向所述表面，并且至少部分地基于所述第二数字信号和所述第二距离来确定所述表面上的第二点的三维坐标。

10. 发明申请

WO2014143644A1 THREE-DIMENSIONAL COORDINATE SCANNER AND METHOD OF OPERATION 审中-公开
标题翻译：三维坐标扫描仪及其操作方法
公开(公告)号：WO2014143644A1
公开(公告)日：2014-09-18
申请号：PCT/US2014/027035
申请日：2014-03-14
申请人： FARO TECHNOLOGIES, INC.
发明人： TOHME, Yazid , PFEFFER, Charles , BECKER, Bernd-Dietmar , BRIDGES, Robert, E.
IPC分类号： G01B21/04 , G01S17/66 , G01B5/004 , G01B11/00 , G01B11/25
CPC分类号： G01B11/002 , G01B5/004 , G01B11/2513 , G01B11/2531 , G01B21/045 , G01C3/10 , G01S17/003 , G01S17/48 , G01S17/66 , G06T7/593 , G06T7/70 , G06T2200/04 , G06T2207/10028 , H04N13/204 , H04N13/239 , H04N13/254 , H04N13/275
摘要： An assembly that includes a projector and camera is used with a processor to determine three-dimensional (3D) coordinates of an object surface. The processor fits collected 3D coordinates to a mathematical representation provided for a shape of a surface feature. The processor fits the measured 3D coordinates to the shape and, if the goodness of fit is not acceptable, selects and performs at least one of: changing a pose of the assembly, changing an illumination level of the light source, changing a pattern of the transmitted With the changes in place, another scan is made to obtain 3D coordinates.
摘要翻译：包括投影仪和照相机的组件与处理器一起使用以确定物体表面的三维（3D）坐标。处理器将采集到的3D坐标与为表面特征的形状提供的数学表示相匹配。处理器将测量的3D坐标拟合到形状上，并且如果拟合的好处不可接受，则选择并执行以下中的至少一个：改变组件的姿态，改变光源的照明水平，改变光源的模式发送随着位置的变化，进行另一次扫描以获得3D坐标。

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