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    • 92. 发明申请
    • 漏洩検知方法及び真空処理装置
    • 泄漏检测方法和真空处理装置
    • WO2011132365A1
    • 2011-10-27
    • PCT/JP2011/001737
    • 2011-03-24
    • 株式会社アルバック中邨 大輔中島 豊昭松本 善和前田 章弘瀬戸 規正
    • 中邨 大輔中島 豊昭松本 善和前田 章弘瀬戸 規正
    • G01M3/20
    • G01M3/202
    •  特に大型の真空処理装置に対して、リークディテクタを用いて短時間でかつ正確に漏洩検知ができる作業効率の良い漏洩検知方法を提供する。 チャンバ11と、高真空ポンプ2と、高真空ポンプの排気側に排気管3、4を介して接続されてこの高真空ポンプを補助排気するフォアポンプ5とを備えた真空処理装置1に、ヘリウムガスを検知する質量分析管61とこの質量分析管内を真空引きする真空ポンプ63、65とを有するリークディテクタ6を、接続管7を介して接続し、ヘリウムガスを真空処理装置外側から吹き付け、真空処理装置の漏洩箇所からチャンバ内へと引き込まれたヘリウムガスを質量分析管と導いて検知することで、真空処理装置の漏洩検知を行う。リークディテクタからの接続管を、排気管のうち高真空ポンプの排気側からこの排気管の全長の10%以内の範囲内に接続する。
    • 本发明公开了一种泄漏检测方法,其特征在于可以通过使用泄漏检测器来精确地,有效地并且在短时间内进行相对于大型真空处理装置的泄漏检测。 具有检测氦气的质谱仪管道(61)和真空泵(63,65)的泄漏检测器(6)通过抽真空的质谱管内部与真空处理装置(1)连接, 连接管道(7)。 真空处理装置(1)设置有通过排出管(3,4)连接到排出侧的室(11),高真空泵(2)和前泵(5) 高真空泵,并执行高真空泵的辅助排放。 真空处理装置的泄漏检测是通过从真空处理装置的外部吹入氦气进行的,并且通过从由真空处理装置的泄漏位置吸入室内的氦气引导到质谱管 。 来自泄漏检测器的连接管在从排气管排出管从高真空泵的排出侧排出的总长度的10%以下的范围内连接。
    • 98. 发明申请
    • LECKSUCHGERÄT MIT SCHNÜFFELSONDE
    • 与吸气探针泄漏检测设备
    • WO2007031386A1
    • 2007-03-22
    • PCT/EP2006/065421
    • 2006-08-17
    • INFICON GMBHGROSSE BLEY, WernerSEITZ, Sandra
    • GROSSE BLEY, WernerSEITZ, Sandra
    • G01M3/20
    • G01M3/205
    • Das Lecksuchgerät weist ein Hauptgerät ( 10) auf, das eine Vakuumpumpe (11) und einen Testgassensor (12) enthält, und eine handgefuhrte Schnüffelsoπde (16). Kapillarleitungen (20,21), die die Schnüffelsonde mit dem Grundgerät verbinden, enthalten Ventile (22,23), mit denen sie selektiv geöffnet werden können. In einem Lecksuchmodus ist die Kapillarleitung (20) mit dem größeren Querschnitt offen. Damit wird erreicht, dass Lecks auch aus größerer Entfernung gefunden werden. Die Totzeit bis zum Ansprechen des Testgassensors (12) wird verkürzt. Wenn ein Leck lokalisiert wurde, wird auf einen Leckratenmessmodus umgeschaltet, bei dem nur die Kapillarleitung (21) mit dem kleineren Querschnitt geöffnet ist. Auf diese Weise erfolgt eine quantitative Bestimmung der Leckrate mit hoher Genauigkeit und hoher Stabilität.
    • 泄漏检测器包括:主单元(10),其与真空泵(11)和一个测试气体传感器(12),和一个handgefuhrteSchnüffelsopde(16)。 毛细管(20,21),其吸入探针连接到所述基座单元,包括阀(22,23),与它们可以选择性地打开。 在泄漏检测模式下,具有较大的横截面的毛细管(20)是打开的。 这确保了泄漏甚至从远处找到。 死区时间,以测试气体传感器(12)的响应被缩短。 当泄漏已被定位,被切换到泄漏率测量模式,其中仅所述毛细管管道(21)被打开具有较小的横截面。 以这种方式,以高准确度,高稳定性的泄漏率的定量测定是。