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    • 25. 发明授权
    • Pattern inspection apparatus, pattern inspection method, and computer-readable recording medium storing a program
    • 图案检查装置,图案检查方法以及存储程序的计算机可读记录介质
    • US08260031B2
    • 2012-09-04
    • US12347345
    • 2008-12-31
    • Kyoji Yamashita
    • Kyoji Yamashita
    • G06K9/00
    • G06T7/001G06T2207/30148
    • A pattern inspection apparatus includes a magnification conversion unit to convert first sample optical image data to higher resolution second sample optical image data, a low-pass filter configured to filter first design image data which has a resolution N times that of the first sample optical image data, an optical filter which calculates third design image data by convolving the second design image data with an optical model function, a coefficient acquisition unit configured to acquire a coefficient of the predetermined optical model function using the second sample optical image data and the third design image data, an optical image acquisition unit configured to acquire actual optical image data of an inspection target workpiece, a reference image data generation unit configured to generate reference image data corresponding to the actual optical image data, and a comparison unit configured to compare the actual optical image data with the reference image data.
    • 图案检查装置包括:倍率转换单元,用于将第一样本光学图像数据转换为更高分辨率的第二样本光学图像数据;低通滤波器,被配置为对具有第一样本光学图像的分辨率的N倍的第一设计图像数据进行滤波 数据,光滤波器,其通过利用光学模型函数卷积第二设计图像数据来计算第三设计图像数据;系数获取单元,被配置为使用第二样本光学图像数据和第三设计来获取预定光学模型函数的系数 图像数据,被配置为获取检查对象工件的实际光学图像数据的光学图像获取单元,被配置为生成与实际光学图像数据相对应的参考图像数据的参考图像数据生成单元,以及比较单元, 具有参考图像数据的光学图像数据。