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1. 发明专利

TW202008502A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW202008502A
公开(公告)日：2020-02-16
申请号：TW108126103
申请日：2019-07-24
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：籾山大 , MOMIYAMA, YUTAKA , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI
IPC分类号： H01L21/687
摘要：本發明的課題為提供一種靜電吸盤，可提高RF響應性，同時可提高電漿密度的面內均勻性。本發明的解決手段為一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有：載置吸附的對象物的第一主表面，和與第一主表面相反側的第二主表面；底板，支撐陶瓷介電質基板；及至少一個第一電極層，配設於陶瓷介電質基板的內部，與高頻電源連接，第一電極層在從底板朝向陶瓷介電質基板的Z軸方向上配設於第一主表面與第二主表面之間，第一電極層具有第一主表面側的第一面，和與第一面相反側的第二面，第二面的表面粗糙度大於第一面的表面粗糙度。
简体摘要：本发明的课题为提供一种静电吸盘，可提高RF响应性，同时可提高等离子密度的面内均匀性。本发明的解决手段为一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有：载置吸附的对象物的第一主表面，和与第一主表面相反侧的第二主表面；底板，支撑陶瓷介电质基板；及至少一个第一电极层，配设于陶瓷介电质基板的内部，与高频电源连接，第一电极层在从底板朝向陶瓷介电质基板的Z轴方向上配设于第一主表面与第二主表面之间，第一电极层具有第一主表面侧的第一面，和与第一面相反侧的第二面，第二面的表面粗糙度大于第一面的表面粗糙度。

2. 发明专利

TW201838089A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW201838089A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW107107198
申请日：2018-03-05
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：上藤淳平 , UEFUJI, JUMPEI , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI , 糸山哲朗 , ITOYAMA, TETSURO
IPC分类号： H01L21/687
摘要：本發明的課題為其目的是提供一種可提高處理對象物的面內的溫度分布的均勻性之靜電吸盤。本發明的解決手段為提供一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有載置處理對象物的第一主表面；電極層，配設於陶瓷介電質基板，底板，支撐陶瓷介電質基板；以及加熱板，配設於底板與第一主表面之間，加熱板具有：第一加熱器元件，藉由電流流動而發熱；以及第二加熱器元件，藉由電流流動而發熱，在沿著對第一主表面垂直的方向看時，第一加熱器元件的折彎比第二加熱器元件的折彎多，第一加熱器元件具有位於第二加熱器元件的間隙的部分。
简体摘要：本发明的课题为其目的是提供一种可提高处理对象物的面内的温度分布的均匀性之静电吸盘。本发明的解决手段为提供一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有载置处理对象物的第一主表面；电极层，配设于陶瓷介电质基板，底板，支撑陶瓷介电质基板；以及加热板，配设于底板与第一主表面之间，加热板具有：第一加热器组件，借由电流流动而发热；以及第二加热器组件，借由电流流动而发热，在沿着对第一主表面垂直的方向看时，第一加热器组件的折弯比第二加热器组件的折弯多，第一加热器组件具有位于第二加热器组件的间隙的部分。

3. 发明专利

TWI644393B 靜電吸盤有权
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TWI644393B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：TW107107198
申请日：2018-03-05
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：上藤淳平 , UEFUJI, JUMPEI , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI , 糸山哲朗 , ITOYAMA, TETSURO
IPC分类号： H01L21/687

4. 发明专利

TW202008500A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW202008500A
公开(公告)日：2020-02-16
申请号：TW108126102
申请日：2019-07-24
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：籾山大 , MOMIYAMA, YUTAKA , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
摘要：本發明的課題為提供一種靜電吸盤，可提高電漿密度的面內均勻性，同時也可提高RF響應性。本發明的解決手段為一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有：第一主表面與第二主表面；底板；第一電極層，配設於陶瓷介電質基板的內部，與高頻電源連接；第二電極層，配設於陶瓷電介體基板的內部，與吸附用電源連接，第一電極層在Z軸方向上配設於第一主表面與第二主表面之間，第二電極層在Z軸方向上配設於第一電極層與第一主表面之間，第一電極層具有第一主表面側的第一面，和與第一面相反側的第二面，從第二面側供電，第一面與第一主表面之間的沿著Z軸方向的距離為一定，第一電極層的端部中的第二面與第一面之間的沿著Z軸方向的距離小於第一電極層的中央部中的第二面與第一面之間的沿著Z軸方向的距離。
简体摘要：本发明的课题为提供一种静电吸盘，可提高等离子密度的面内均匀性，同时也可提高RF响应性。本发明的解决手段为一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有：第一主表面与第二主表面；底板；第一电极层，配设于陶瓷介电质基板的内部，与高频电源连接；第二电极层，配设于陶瓷电介体基板的内部，与吸附用电源连接，第一电极层在Z轴方向上配设于第一主表面与第二主表面之间，第二电极层在Z轴方向上配设于第一电极层与第一主表面之间，第一电极层具有第一主表面侧的第一面，和与第一面相反侧的第二面，从第二面侧供电，第一面与第一主表面之间的沿着Z轴方向的距离为一定，第一电极层的端部中的第二面与第一面之间的沿着Z轴方向的距离小于第一电极层的中央部中的第二面与第一面之间的沿着Z轴方向的距离。

5. 发明专利

TWI621208B 靜電吸盤有权
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TWI621208B
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：TW106108017
申请日：2017-03-10
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：上藤淳平 , UEFUJI, JUMPEI , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683 , H01L23/34

6. 发明专利

TWI648816B 靜電吸盤有权
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TWI648816B
公开(公告)日：2019-01-21
申请号：TW106124293
申请日：2017-07-20
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 近藤俊平 , KONDO, SHUMPEI , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00

7. 发明专利

TW201812984A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW201812984A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106124293
申请日：2017-07-20
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 近藤俊平 , KONDO, SHUMPEI , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
CPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
摘要：提供一種靜電吸盤，包含：載置處理對象物之陶瓷介電質基板；支撐陶瓷介電質基板之底板；配設於陶瓷介電質基板與底板之間之加熱板，加熱板具有：第一支撐板、第二支撐板；配設於第一支撐板與第二支撐板之間之加熱器元件；配設於第一支撐板與加熱器元件之間之第一樹脂層；配設於第二支撐板與加熱器元件之間之第二樹脂層，第一支撐板之第二支撐板側的面具有：在沿著積層方向看時，與加熱器元件重疊的第一區域，和不與加熱器元件重疊的第二區域，第二區域比第一區域還突出於第二支撐板側。
简体摘要：提供一种静电吸盘，包含：载置处理对象物之陶瓷介电质基板；支撑陶瓷介电质基板之底板；配设于陶瓷介电质基板与底板之间之加热板，加热板具有：第一支撑板、第二支撑板；配设于第一支撑板与第二支撑板之间之加热器组件；配设于第一支撑板与加热器组件之间之第一树脂层；配设于第二支撑板与加热器组件之间之第二树脂层，第一支撑板之第二支撑板侧的面具有：在沿着积层方向看时，与加热器组件重叠的第一区域，和不与加热器组件重叠的第二区域，第二区域比第一区域还突出于第二支撑板侧。

8. 发明专利

TW201740492A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW201740492A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106115719
申请日：2017-05-12
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/302
摘要：提供一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有：載置處理對象物的第一主表面，和與前述第一主表面相反側的第二主表面；底板，配設於前述第二主表面的側，支撐前述陶瓷介電質基板，前述底板具有通過調節前述處理對象物的溫度的介質之第一連通道，前述第一連通道具有頂面、側面及底面，前述頂面中的最大高度Sz之不均對前述第一連通道的高度的比為1%以下。
简体摘要：提供一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有：载置处理对象物的第一主表面，和与前述第一主表面相反侧的第二主表面；底板，配设于前述第二主表面的侧，支撑前述陶瓷介电质基板，前述底板具有通过调节前述处理对象物的温度的介质之第一连信道，前述第一连信道具有顶面、侧面及底面，前述顶面中的最大高度Sz之不均对前述第一连信道的高度的比为1%以下。

9. 发明专利

TW201732999A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW201732999A
公开(公告)日：2017-09-16
申请号：TW106108017
申请日：2017-03-10
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：上藤淳平 , UEFUJI, JUMPEI , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683 , H01L23/34
摘要：提供一種靜電吸盤，其特徵在於包含：載置有處理對象物之陶瓷介電質基板；底板；以及配設於陶瓷介電質基板與底板之間之加熱板，加熱板具有：包含金屬的第一、第二支撐板；配設於第一支撐板與第二支撐板之間的第一、第二樹脂層；配設於第一樹脂層與第二樹脂層之間，具有在面內方向中分離的第一、第二導電部，藉由電流流動而發熱之加熱器元件；藉由第一導電部的面內方向中的側端部與第一樹脂層與第二樹脂層劃分之空間部，第一樹脂層在第一導電部與第二導電部之間與第二樹脂層相接。
简体摘要：提供一种静电吸盘，其特征在于包含：载置有处理对象物之陶瓷介电质基板；底板；以及配设于陶瓷介电质基板与底板之间之加热板，加热板具有：包含金属的第一、第二支撑板；配设于第一支撑板与第二支撑板之间的第一、第二树脂层；配设于第一树脂层与第二树脂层之间，具有在面内方向中分离的第一、第二导电部，借由电流流动而发热之加热器组件；借由第一导电部的面内方向中的侧端部与第一树脂层与第二树脂层划分之空间部，第一树脂层在第一导电部与第二导电部之间与第二树脂层相接。

10. 发明专利

TW201633451A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW201633451A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW105101205
申请日：2016-01-15
申请人： TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：前畑健吾 , MAEHATA, KENGO , 近藤俊平 , KONDO, SHUMPEI , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI , 山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 吉井雄一 , YOSHII, YUICHI
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833 , B23Q3/15 , H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/67248 , H01L21/6831 , H01L21/68757 , H01L21/68785 , H02N13/00
摘要：提供一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有：承載處理對象物的第一主表面，和與第一主表面相反側的第二主表面，底板，配設於離開陶瓷介電質基板的位置，支撐陶瓷介電質基板；以及加熱板，配設於陶瓷介電質基板與底板之間，加熱板具有：包含金屬的第一支撐板；包含金屬的第二支撐板；配設於第一支撐板與第二支撐板之間，藉由電流流動而發熱之加熱器元件；配設於第一支撐板與加熱器元件之間的第一樹脂層；以及配設於第二支撐板與加熱器元件之間的第二樹脂層。【代表圖】
简体摘要：提供一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有：承载处理对象物的第一主表面，和与第一主表面相反侧的第二主表面，底板，配设于离开陶瓷介电质基板的位置，支撑陶瓷介电质基板；以及加热板，配设于陶瓷介电质基板与底板之间，加热板具有：包含金属的第一支撑板；包含金属的第二支撑板；配设于第一支撑板与第二支撑板之间，借由电流流动而发热之加热器组件；配设于第一支撑板与加热器组件之间的第一树脂层；以及配设于第二支撑板与加热器组件之间的第二树脂层。【代表图】

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