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1. 发明专利

TW202018856A 晶圓卡盤組件审中-公开
简体标题：晶圆卡盘组件
公开(公告)号：TW202018856A
公开(公告)日：2020-05-16
申请号：TW108114847
申请日：2019-04-29
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：拉布里亞倫路易斯 , LABRIE, AARON LOUIS , 普哈克勞迪烏瓦倫廷 , PUHA, CLAUDIU VALENTIN , 史多維羅伯特馬修 , STOWELL, ROBERT MARSHALL
IPC分类号： H01L21/687
摘要：本發明大體上係關於用於在處理期間支撐半導體晶圓之卡盤技術。在一些範例中，一晶圓卡盤組件包含一卡盤轂部及設置於該卡盤轂部之內的一定心轂部。一嚙合裝置係可分別在嚙合位置與脫離位置之間操作，以使該卡盤轂部與該定心轂部嚙合，俾防止在至少一第一方向上的該卡盤轂部與該定心轂部之間的相對運動、或允許該卡盤轂部與該定心轂部之間的相對運動。提供一卡盤馬達，以用於基於該嚙合裝置的該嚙合或脫離位置而在晶圓處理操作及晶圓定心操作期間選擇性地使該卡盤轂部及/或該定心轂部轉動。複數卡盤臂係裝設於該卡盤轂部，每一卡盤臂在鄰近該卡盤轂部的近端與遠離該卡盤轂部的遠端之間徑向地延伸。複數定心凸輪之各者係裝設於一卡盤臂的遠端處或附近且係可移動的，以響應於該定心轂部相對於該卡盤轂部的旋轉運動而嚙合或釋放晶圓邊緣。
简体摘要：本发明大体上系关于用于在处理期间支撑半导体晶圆之卡盘技术。在一些范例中，一晶圆卡盘组件包含一卡盘毂部及设置于该卡盘毂部之内的一定心毂部。一啮合设备系可分别在啮合位置与脱离位置之间操作，以使该卡盘毂部与该定心毂部啮合，俾防止在至少一第一方向上的该卡盘毂部与该定心毂部之间的相对运动、或允许该卡盘毂部与该定心毂部之间的相对运动。提供一卡盘马达，以用于基于该啮合设备的该啮合或脱离位置而在晶圆处理操作及晶圆定心操作期间选择性地使该卡盘毂部及/或该定心毂部转动。复数卡盘臂系装设于该卡盘毂部，每一卡盘臂在邻近该卡盘毂部的近端与远离该卡盘毂部的远程之间径向地延伸。复数定心凸轮之各者系装设于一卡盘臂的远程处或附近且系可移动的，以响应于该定心毂部相对于该卡盘毂部的旋转运动而啮合或释放晶圆边缘。

2. 发明专利

TW201803009A 用於邊角移除之卡盤及用於邊角移除前之晶圓定心方法审中-公开
简体标题：用于边角移除之卡盘及用于边角移除前之晶圆定心方法
公开(公告)号：TW201803009A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106110459
申请日：2017-03-29
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：拉布里亞倫路易斯 , LABRIE, AARON LOUIS , 布倫德羅伯特林登 , BRAENDLE, ROBERT LYNDEN , 斯威尼奇安歐文 , SWEENEY, CIAN OWEN
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/02 , B08B3/08
CPC分类号： H01L21/6838 , H01L21/02041 , H01L21/6708 , H01L21/68728
摘要：一種在邊角移除(EBR)製程期間支撐晶圓用的卡盤包含：一可旋轉的中心轂，其具有自該可旋轉的中心轂向外延伸的複數支撐臂；複數支撐銷，位於該複數支撐臂的複數末端上；複數氣體通道，延伸通過該複數支撐銷的複數上表面；及該複數支撐臂中的複數氣體管，該複數氣體管係用以將氣體供給至該複數氣體通道或將真空供給至該複數氣體通道。該複數支撐臂可包含複數對準凸輪，該複數對準凸輪可自遠離該晶圓之一外圍的一外非對準位置旋轉至晶圓受到定心處的一內對準位置。為了供給氣體至或施加真空力至該複數支撐銷中的該複數氣體出口，該可旋轉的中心轂可具有一氣體入口及與該複數支撐臂中之該複數氣體輸送管流體交流的複數氣體輸送接口。氣體可藉由連接至該氣體入口的一加壓氣體源而被供給至該複數氣體出口且吸力可藉由連接至該氣體入口的一真空源而被施加至該複數氣體出口。在定心期間，該晶圓係漂浮在一氣體墊上降低該複數支撐銷的磨損。
简体摘要：一种在边角移除(EBR)制程期间支撑晶圆用的卡盘包含：一可旋转的中心毂，其具有自该可旋转的中心毂向外延伸的复数支撑臂；复数支撑销，位于该复数支撑臂的复数末端上；复数气体信道，延伸通过该复数支撑销的复数上表面；及该复数支撑臂中的复数气体管，该复数气体管系用以将气体供给至该复数气体信道或将真空供给至该复数气体信道。该复数支撑臂可包含复数对准凸轮，该复数对准凸轮可自远离该晶圆之一外围的一外非对准位置旋转至晶圆受到定心处的一内对准位置。为了供给气体至或施加真空力至该复数支撑销中的该复数气体出口，该可旋转的中心毂可具有一气体入口及与该复数支撑臂中之该复数气体输送管流体交流的复数气体输送接口。气体可借由连接至该气体入口的一加压气体源而被供给至该复数气体出口且吸力可借由连接至该气体入口的一真空源而被施加至该复数气体出口。在定心期间，该晶圆系漂浮在一气体垫上降低该复数支撑销的磨损。

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