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1. 发明专利

TW202008502A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW202008502A
公开(公告)日：2020-02-16
申请号：TW108126103
申请日：2019-07-24
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：籾山大 , MOMIYAMA, YUTAKA , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI
IPC分类号： H01L21/687
摘要：本發明的課題為提供一種靜電吸盤，可提高RF響應性，同時可提高電漿密度的面內均勻性。本發明的解決手段為一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有：載置吸附的對象物的第一主表面，和與第一主表面相反側的第二主表面；底板，支撐陶瓷介電質基板；及至少一個第一電極層，配設於陶瓷介電質基板的內部，與高頻電源連接，第一電極層在從底板朝向陶瓷介電質基板的Z軸方向上配設於第一主表面與第二主表面之間，第一電極層具有第一主表面側的第一面，和與第一面相反側的第二面，第二面的表面粗糙度大於第一面的表面粗糙度。
简体摘要：本发明的课题为提供一种静电吸盘，可提高RF响应性，同时可提高等离子密度的面内均匀性。本发明的解决手段为一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有：载置吸附的对象物的第一主表面，和与第一主表面相反侧的第二主表面；底板，支撑陶瓷介电质基板；及至少一个第一电极层，配设于陶瓷介电质基板的内部，与高频电源连接，第一电极层在从底板朝向陶瓷介电质基板的Z轴方向上配设于第一主表面与第二主表面之间，第一电极层具有第一主表面侧的第一面，和与第一面相反侧的第二面，第二面的表面粗糙度大于第一面的表面粗糙度。

2. 发明专利

TWI693674B 靜電吸盤有权
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TWI693674B
公开(公告)日：2020-05-11
申请号：TW108107207
申请日：2019-03-05
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 白石純 , SHIRAISHI, JUN , 板倉郁夫 , ITAKURA, IKUO , 籾山大 , MOMIYAMA, YUTAKA , 西願修一郎 , SAIGAN, SHUICHIRO
IPC分类号： H01L21/687

3. 发明专利

TWI690020B 靜電吸盤有权
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TWI690020B
公开(公告)日：2020-04-01
申请号：TW108107208
申请日：2019-03-05
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：山口康介 , YAMAGUCHI, KOSUKE , 白石純 , SHIRAISHI, JUN , 板倉郁夫 , ITAKURA, IKUO , 籾山大 , MOMIYAMA, YUTAKA , 西願修一郎 , SAIGAN, SHUICHIRO
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00

4. 发明专利

TW202008500A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW202008500A
公开(公告)日：2020-02-16
申请号：TW108126102
申请日：2019-07-24
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：籾山大 , MOMIYAMA, YUTAKA , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
摘要：本發明的課題為提供一種靜電吸盤，可提高電漿密度的面內均勻性，同時也可提高RF響應性。本發明的解決手段為一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有：第一主表面與第二主表面；底板；第一電極層，配設於陶瓷介電質基板的內部，與高頻電源連接；第二電極層，配設於陶瓷電介體基板的內部，與吸附用電源連接，第一電極層在Z軸方向上配設於第一主表面與第二主表面之間，第二電極層在Z軸方向上配設於第一電極層與第一主表面之間，第一電極層具有第一主表面側的第一面，和與第一面相反側的第二面，從第二面側供電，第一面與第一主表面之間的沿著Z軸方向的距離為一定，第一電極層的端部中的第二面與第一面之間的沿著Z軸方向的距離小於第一電極層的中央部中的第二面與第一面之間的沿著Z軸方向的距離。
简体摘要：本发明的课题为提供一种静电吸盘，可提高等离子密度的面内均匀性，同时也可提高RF响应性。本发明的解决手段为一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有：第一主表面与第二主表面；底板；第一电极层，配设于陶瓷介电质基板的内部，与高频电源连接；第二电极层，配设于陶瓷电介体基板的内部，与吸附用电源连接，第一电极层在Z轴方向上配设于第一主表面与第二主表面之间，第二电极层在Z轴方向上配设于第一电极层与第一主表面之间，第一电极层具有第一主表面侧的第一面，和与第一面相反侧的第二面，从第二面侧供电，第一面与第一主表面之间的沿着Z轴方向的距离为一定，第一电极层的端部中的第二面与第一面之间的沿着Z轴方向的距离小于第一电极层的中央部中的第二面与第一面之间的沿着Z轴方向的距离。

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