基本信息:
- 专利标题： 靜電檢測系統與方法
- 专利标题（英）：STATIC ELECTRICITY DETECTING SYSTEM AND METHOD
- 专利标题（中）：静电检测系统与方法
- 申请号：TW105142347 申请日：2016-12-21
- 公开(公告)号：TW201823740A 公开(公告)日：2018-07-01
- 发明人： 唐敏注 , TUNG, MEAN-JUE , 湯士源 , TONG, SHI-YUAN , 黃玉婷 , HUANG, YU-TING , 楊明達 , YANG, MING-DA
- 申请人： 財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
- 申请人地址： 新竹縣
- 专利权人： 財團法人工業技術研究院,INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
- 当前专利权人： 財團法人工業技術研究院,INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
- 当前专利权人地址： 新竹縣
- 代理人： 葉璟宗; 卓俊傑
- 主分类号： G01R29/24
- IPC分类号： G01R29/24
摘要：
一種靜電檢測系統與方法，其適於檢測產生於基板的主動表面處的靜電。所述靜電檢測系統包括感測裝置與訊號處理裝置。感測裝置設置於至少鄰近所述基板的與所述主動表面相對的背面，用以量測產生於所述主動表面處的靜電並產生初始電訊號。訊號處理裝置與所述感測裝置電性連接，用以接收所述初始電訊號並對所述初始電訊號以電壓補償值進行修正以得到最終電訊號。
摘要（中）：
一种静电检测系统与方法，其适于检测产生于基板的主动表面处的静电。所述静电检测系统包括传感设备与信号处理设备。传感设备设置于至少邻近所述基板的与所述主动表面相对的背面，用以量测产生于所述主动表面处的静电并产生初始电信号。信号处理设备与所述传感设备电性连接，用以接收所述初始电信号并对所述初始电信号以电压补偿值进行修正以得到最终电信号。
公开/授权文献:
- TWI601962B 靜電檢測系統與方法 公开/授权日：2017-10-11
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01R | 测量电变量；测量磁变量（通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的 |
| ------G01R29/00 | 不包括在G01R19/00至G01R27/00各组中的电量的测量或指示装置 |
| --------G01R29/24 | .电荷电量的测量装置 |