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    • 2. 发明专利
    • 溫度控制系統及其方法
    • 温度控制系统及其方法
    • TW201712348A
    • 2017-04-01
    • TW105129763
    • 2016-09-13
    • 旺矽科技股份有限公司MPI CORPORATION
    • 克里斯達 黑爾格雅各布KRYSTAD, HELGE JACOB張盈喬CHANG, YING-CHIAO李岳穎LEE, YUEH-YING
    • G01R1/44G01R31/28
    • G01R31/2875F24H9/2071G01R31/2862H05B1/0297
    • 本發明提供一種溫度控制系統及方法。該系統包括一第一通道、一第二通道、一加熱元件、一DUT腔室、一轉換器、一第一PID控制器及至少一個切換調節器。該加熱元件設置於該第一通道及該第二通道下游以根據一輸入功率對來自該第一通道之第一空氣或來自該第二通道之第二空氣進行加熱,以便將具有一溫度之混合空氣提供至該DUT腔室中。該轉換器將一AC功率轉換成一DC功率。該第一PID控制器根據一第一設定點及由該加熱元件消耗之功率的一量來提供一第一輸入信號。該輸入功率係藉由該切換調節器根據該第一輸入信號調整以驅動該加熱元件。因此,電功率之使用將更有效率。
    • 本发明提供一种温度控制系统及方法。该系统包括一第一信道、一第二信道、一加热组件、一DUT腔室、一转换器、一第一PID控制器及至少一个切换调节器。该加热组件设置于该第一信道及该第二信道下游以根据一输入功率对来自该第一信道之第一空气或来自该第二信道之第二空气进行加热,以便将具有一温度之混合空气提供至该DUT腔室中。该转换器将一AC功率转换成一DC功率。该第一PID控制器根据一第一设置点及由该加热组件消耗之功率的一量来提供一第一输入信号。该输入功率系借由该切换调节器根据该第一输入信号调整以驱动该加热组件。因此,电功率之使用将更有效率。