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    • 3. 发明专利
    • 熔射塗膜中的緻密化層的形成方法、及熔射塗膜包覆構件
    • 熔射涂膜中的致密化层的形成方法、及熔射涂膜包覆构件
    • TW201319319A
    • 2013-05-16
    • TW101122155
    • 2012-06-21
    • TOCALO股份有限公司TOCALO CO., LTD.
    • 稻葉光晴INABA, MITSUHARU横田博紀YOKOTA, HIROKI
    • C23C4/18
    • B05D3/06B23K26/0608B23K26/0853B23K26/34C23C4/10C23C4/18
    • 本發明的課題為提供一種可一邊防止過大的裂痕的產生,一邊形成得到充分的效果的緻密化層,並且不招致成本上升的熔射塗膜中的緻密化層的形成方法、及熔射塗膜包覆構件。本發明的解決手段為藉由在掃描於Al2O3熔射塗膜5的表面5a時,朝掃描方向先使其掃描之居先雷射束20,和在與該居先雷射束20同一軌跡上追蹤並使其掃描之追蹤雷射束21構成使Al2O3熔射塗膜5的表層6的塗膜組成物再熔融、再凝固的高能束,一邊使居先雷射束20掃描於Al2O3熔射塗膜5的表面5a,一邊照射,並且一邊使追蹤雷射束21掃描於以該居先雷射束20掃描過的被照射區域22,一邊重複照射,使該被照射區域22的表層6緻密化。
    • 本发明的课题为提供一种可一边防止过大的裂痕的产生,一边形成得到充分的效果的致密化层,并且不招致成本上升的熔射涂膜中的致密化层的形成方法、及熔射涂膜包覆构件。本发明的解决手段为借由在扫描于Al2O3熔射涂膜5的表面5a时,朝扫描方向先使其扫描之居先激光束20,和在与该居先激光束20同一轨迹上追踪并使其扫描之追踪激光束21构成使Al2O3熔射涂膜5的表层6的涂膜组成物再熔融、再凝固的高能束,一边使居先激光束20扫描于Al2O3熔射涂膜5的表面5a,一边照射,并且一边使追踪激光束21扫描于以该居先激光束20扫描过的被照射区域22,一边重复照射,使该被照射区域22的表层6致密化。
    • 4. 发明专利
    • 靜電吸座的新式修復方法
    • 静电吸座的新式修复方法
    • TW201833347A
    • 2018-09-16
    • TW106143521
    • 2017-12-12
    • 美商應用材料股份有限公司APPLIED MATERIALS, INC.
    • 博德二世 溫德爾格倫BOYD, JR., WENDELL GLEN
    • C23C4/02C23C4/04C23C4/134C23C4/18H01L21/683
    • 本揭示內容的實施例與翻新燒結或電漿噴塗的靜電吸座之方法有關。起初,將使用過之靜電吸座主體的一部分移除,以暴露基部表面。接著,使用懸浮漿料電漿噴塗製程,將新的介電材料層沉積至基部表面上。懸浮漿料電漿噴塗製程可將奈米尺寸的介電材料之懸浮漿料霧化成為滴粒流,且接著所述滴粒流被注入電漿放電內,以形成部分地熔融之液滴。將部分地熔融之液滴投射在基部表面上,以在基部表面上形成介電材料層。隨後,選擇性地移除所述新的介電材料層之材料,以形成台面。在清潔後,經翻新的靜電吸座已準備好恢復使用。
    • 本揭示内容的实施例与翻新烧结或等离子喷涂的静电吸座之方法有关。起初,将使用过之静电吸座主体的一部分移除,以暴露基部表面。接着,使用悬浮浆料等离子喷涂制程,将新的介电材料层沉积至基部表面上。悬浮浆料等离子喷涂制程可将奈米尺寸的介电材料之悬浮浆料雾化成为滴粒流,且接着所述滴粒流被注入等离子放电内,以形成部分地熔融之液滴。将部分地熔融之液滴投射在基部表面上,以在基部表面上形成介电材料层。随后,选择性地移除所述新的介电材料层之材料,以形成台面。在清洁后,经翻新的静电吸座已准备好恢复使用。