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    • 1. 发明专利
    • 感光性玻璃基板之製造方法
    • 感光性玻璃基板之制造方法
    • TW201507989A
    • 2015-03-01
    • TW103128731
    • 2014-08-21
    • HOYA股份有限公司HOYA CORPORATION
    • 伏江隆FUSHIE, TAKASHI
    • C03C4/04C03C15/00C03C23/00
    • C03C4/04C03B32/00C03C3/095C03C15/00C03C23/0025G03F7/2051G03F7/36G03F7/38
    • 提供一種考量起因於熱處理之感光性玻璃的尺寸變化量,而藉由直接修正能量束之照射位置,來使得貫通孔之形成位置等微細加工之精度容易上升的方法。 一種感光性玻璃基板之製造方法,係具有:照射工序,係將能量束直接地照射至由感光性玻璃所構成之板狀基材,以形成潛影;結晶化工序,係藉由第1熱處理來將潛影結晶化,以得到結晶化部分;以及微細加工工序,係將結晶化部分溶解去除而進行微細加工,以得到感光性玻璃基板;照射工序中,至少係基於起因於包含第1熱處理的熱處理之感光性玻璃的尺寸變化量,來修正能量束之照射位置。
    • 提供一种考量起因于热处理之感光性玻璃的尺寸变化量,而借由直接修正能量束之照射位置,来使得贯通孔之形成位置等微细加工之精度容易上升的方法。 一种感光性玻璃基板之制造方法,系具有:照射工序,系将能量束直接地照射至由感光性玻璃所构成之板状基材,以形成潜影;结晶化工序,系借由第1热处理来将潜影结晶化,以得到结晶化部分;以及微细加工工序,系将结晶化部分溶解去除而进行微细加工,以得到感光性玻璃基板;照射工序中,至少系基于起因于包含第1热处理的热处理之感光性玻璃的尺寸变化量,来修正能量束之照射位置。