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    • 5. 发明专利
    • 流化床反應器和用於製備粒狀多晶矽的方法
    • 流化床反应器和用于制备粒状多晶硅的方法
    • TW201600655A
    • 2016-01-01
    • TW104119737
    • 2015-06-18
    • 瓦克化學公司WACKER CHEMIE AG
    • 佩卓 賽門PEDRON, SIMON包曼 柏哈德BAUMANN, BERNHARD福斯特波音特納 葛哈德FORSTPOINTNER, GERHARD
    • C30B28/14C30B29/06C30B29/60C01B33/021B01J8/24
    • C01B33/03B01J8/1827B01J8/1836B01J8/1872B01J2208/00761B01J2208/00902C01B33/027C01B33/029
    • 本發明涉及一種用於製備粒狀多晶矽的流化床反應器,所述流化床反應器包括反應器容器(1)、位於所述反應器容器(1)內的反應器管(2)和反應器底部(15),其中,有中間夾套(3)位於所述反應器管(2)的外壁與所述反應器容器(1)的內壁之間;並且還包括加熱裝置(5)、至少一用於引入流化氣體的底部氣體噴嘴(9)以及至少一用於引入反應氣體的二次氣體噴嘴(10)、用於供應矽晶種顆粒的供料裝置(11)、用於粒狀多晶矽的排出管線(14)以及用於排放反應器廢氣(16)的設備,其中所述反應器管(2)的主要元件包含至少60重量%的碳化矽,且包含CVD塗層,所述CVD塗層的層厚度為至少5 µm,且由達至少99.995重量%之程度的SiC組成,或所述反應器管(2)的主要元件由包含至少99.99重量%的α-Al2 O3 的藍寶石玻璃組成。本發明還涉及一種用於在所述流化床反應器中製備粒狀多晶矽的方法。
    • 本发明涉及一种用于制备粒状多晶硅的流化床反应器,所述流化床反应器包括反应器容器(1)、位于所述反应器容器(1)内的反应器管(2)和反应器底部(15),其中,有中间夹套(3)位于所述反应器管(2)的外壁与所述反应器容器(1)的内壁之间;并且还包括加热设备(5)、至少一用于引入流化气体的底部气体喷嘴(9)以及至少一用于引入反应气体的二次气体喷嘴(10)、用于供应硅晶种颗粒的供料设备(11)、用于粒状多晶硅的排出管线(14)以及用于排放反应器废气(16)的设备,其中所述反应器管(2)的主要组件包含至少60重量%的碳化硅,且包含CVD涂层,所述CVD涂层的层厚度为至少5 µm,且由达至少99.995重量%之程度的SiC组成,或所述反应器管(2)的主要组件由包含至少99.99重量%的α-Al2 O3 的蓝宝石玻璃组成。本发明还涉及一种用于在所述流化床反应器中制备粒状多晶硅的方法。