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1. 发明专利

TW201348508A 具有過濾器的容器审中-公开
简体标题：具有过滤器的容器
公开(公告)号：TW201348508A
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW102118515
申请日：2013-05-24
申请人：氣體產品及化學品股份公司 , AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
发明人：伯特奇兒查理麥克 , BIRTCHER, CHARLES MICHAEL , 斯坦多湯瑪斯安得魯 , STEIDL, THOMAS ANDREW , 雷新建 , LEI, XINJIAN , 伊瓦諾夫塞基烏拉底米諾維奇 , IVANOV, SERGEI VLADIMIROVICH
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4412 , B01D7/00 , B01D46/02 , B01D46/2403 , B01D2275/203 , B01D2275/206 , B01D2279/00 , C23C16/4402 , C23C16/4481 , C23C16/4485 , C23C16/455 , H01L21/0262 , Y10T137/4891 , Y10T137/794
摘要：本發明揭示一種運送來自前驅物材料的含前驅物流體流之容器，該前驅物材料裝在該容器內，該容器包含：由頂部、一或更多側壁及基座所界定的內部容積；及至少一供汽化前驅物用的流體出口，及至少一粒子障壁，該至少一粒子障壁界定於該內部容積內的至少一粒子受限空間，其中該粒子障壁包含至少一三維過濾器。也揭示一種使用該設備之方法。
简体摘要：本发明揭示一种运送来自前驱物材料的含前驱物流体流之容器，该前驱物材料装在该容器内，该容器包含：由顶部、一或更多侧壁及基座所界定的内部容积；及至少一供汽化前驱物用的流体出口，及至少一粒子障壁，该至少一粒子障壁界定于该内部容积内的至少一粒子受限空间，其中该粒子障壁包含至少一三维过滤器。也揭示一种使用该设备之方法。

2. 发明专利

TW201242907A 水處理系統 WATER TREATMENT SYSTEM 审中-公开
简体标题：水处理系统 WATER TREATMENT SYSTEM
公开(公告)号：TW201242907A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW101102468
申请日：2012-01-20
申请人：通路實業集團國際公司
发明人：庫南羅依W , 康拉德肯尼士E , 洛曾海瑟泰瑞L , 尚佩爾雷恩D
IPC分类号： C02F , F03B
CPC分类号： C02F9/005 , C02F1/008 , C02F1/283 , C02F1/686 , C02F1/688 , C02F1/76 , C02F2201/009 , C02F2209/40 , C02F2209/42 , Y02A20/212 , Y10T137/0396 , Y10T137/794
摘要：本發明提出一水處理系統，其包括一滅菌系統、一濾器以及一渦輪發電機。一手動幫浦係置於該濾器的下游，以生成負壓以引水流經該濾器。該手動幫浦亦生成正壓以從該系統的出水口分配經過處理的水。水流經該系統的移動驅動該渦輪發電機。所生成電力可用來監控該水處理系統的一特性。
简体摘要：本发明提出一水处理系统，其包括一灭菌系统、一滤器以及一涡轮发电机。一手动帮浦系置于该滤器的下游，以生成负压以引水流经该滤器。该手动帮浦亦生成正压以从该系统的出水口分配经过处理的水。水流经该系统的移动驱动该涡轮发电机。所生成电力可用来监控该水处理系统的一特性。

3. 发明专利

TWI500803B 具有過濾器的容器及分配含前驅物流體流之方法有权
简体标题：具有过滤器的容器及分配含前驱物流体流之方法
公开(公告)号：TWI500803B
公开(公告)日：2015-09-21
申请号：TW102118515
申请日：2013-05-24
申请人：氣體產品及化學品股份公司 , AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
发明人：伯特奇兒查理麥克 , BIRTCHER, CHARLES MICHAEL , 斯坦多湯瑪斯安得魯 , STEIDL, THOMAS ANDREW , 雷新建 , LEI, XINJIAN , 伊瓦諾夫塞基烏拉底米諾維奇 , IVANOV, SERGEI VLADIMIROVICH
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4412 , B01D7/00 , B01D46/02 , B01D46/2403 , B01D2275/203 , B01D2275/206 , B01D2279/00 , C23C16/4402 , C23C16/4481 , C23C16/4485 , C23C16/455 , H01L21/0262 , Y10T137/4891 , Y10T137/794

4. 发明专利

TWI463005B 具有連續固體排放之氣化裝置有权
简体标题：具有连续固体排放之气化设备
公开(公告)号：TWI463005B
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：TW098123715
申请日：2009-07-14
申请人：堤森克魯波烏爾德公司 , THYSSENKRUPP UHDE GMBH
发明人：漢羅特克里斯多夫 , HANROTT, CHRISTOPH
IPC分类号： C10J3/46 , C10J3/52
CPC分类号： C10J3/52 , C10J3/526 , C10J3/84 , C10J2300/1628 , Y10T137/0318 , Y10T137/794

5. 发明专利

TWI444785B 藥液供給系統，具備彼之基板處理裝置及具備此基板處理裝置之塗布顯影系統有权
简体标题：药液供给系统，具备彼之基板处理设备及具备此基板处理设备之涂布显影系统
公开(公告)号：TWI444785B
公开(公告)日：2014-07-11
申请号：TW100106904
申请日：2011-03-02
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：古庄智伸 , FURUSHO, TOSHINOBU , 大久保敬弘 , OOKUBO, TAKAHIRO , 吉原孝介 , YOSHIHARA, KOUSUKE , 山本裕介 , YAMAMOTO, YUSUKE , 賀尼各史帝芬 , HORNIG, STEFFEN
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/32
CPC分类号： B05D1/02 , B01D29/56 , B01D35/02 , B05C9/06 , B05C11/10 , F17D1/00 , H01L21/67017 , H01L21/6715 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , Y10T137/794

6. 发明专利

TWI601576B 處理液供給裝置、處理液供給方法及記憶媒體有权
简体标题：处理液供给设备、处理液供给方法及记忆媒体
公开(公告)号：TWI601576B
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：TW103140792
申请日：2014-11-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：佐佐卓志 , SASA, TAKASHI , 柴田大樹 , SHIBATA, DAIKI
IPC分类号： B05C11/10 , F04C5/00 , F04B43/12 , H01L21/027
CPC分类号： F04B43/1238 , A61M5/14232 , B05C17/0333 , F04B43/08 , F04B43/1246 , F04B43/1253 , F04B43/1261 , F04B43/1276 , F04B43/1284 , F04B49/06 , F04B49/065 , F04B49/24 , G03F7/16 , H01L21/67017 , H01L21/6715 , Y10T137/794 , Y10T137/86027

7. 发明专利

TW201430508A 基板處理裝置及藥液供給方法审中-公开
简体标题：基板处理设备及药液供给方法
公开(公告)号：TW201430508A
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：TW103115024
申请日：2011-03-02
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：古庄智伸 , FURUSHO, TOSHINOBU , 大久保敬弘 , OOKUBO, TAKAHIRO , 吉原孝介 , YOSHIHARA, KOUSUKE , 山本裕介 , YAMAMOTO, YUSUKE , 賀尼各史帝芬 , HORNIG, STEFFEN
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/32
CPC分类号： B05D1/02 , B01D29/56 , B01D35/02 , B05C9/06 , B05C11/10 , F17D1/00 , H01L21/67017 , H01L21/6715 , H01L21/67173 , H01L21/67178 , Y10T137/794
摘要：本發明之課題在於提供不會降低生產量，可以提高過濾效果的基板處理裝置及藥液供給方法。本發明之解決手段所揭示之藥液供給系統，具備：貯留藥液的第1容器及第2容器；設於連接第1容器與第2容器的第1配管，使貯留於第1容器的藥液往第2容器流動的第1泵；被設於第1配管，使由第1容器往第2容器而流動於第1配管內的藥液進行過濾之第1過濾器；連接第1容器與第2容器的第2配管；以及設於第2配管，使被貯留於第2容器的藥液往第1容器流動的第2泵。
简体摘要：本发明之课题在于提供不会降低生产量，可以提高过滤效果的基板处理设备及药液供给方法。本发明之解决手段所揭示之药液供给系统，具备：贮留药液的第1容器及第2容器；设于连接第1容器与第2容器的第1配管，使贮留于第1容器的药液往第2容器流动的第1泵；被设于第1配管，使由第1容器往第2容器而流动于第1配管内的药液进行过滤之第1过滤器；连接第1容器与第2容器的第2配管；以及设于第2配管，使被贮留于第2容器的药液往第1容器流动的第2泵。

8. 实用新型

TWM453728U 燃油供給裝置及其中之回油三通管失效
简体标题：燃油供给设备及其中之回油三通管
公开(公告)号：TWM453728U
公开(公告)日：2013-05-21
申请号：TW101222629
申请日：2012-11-22
申请人：沈家企業股份有限公司 , SHEN'S GLORY INC.
发明人：沈武芳
IPC分类号： F02D1/00
CPC分类号： F02M37/0052 , Y10T137/794 , Y10T137/87571

9. 发明专利

TWI576940B 處理液供給裝置及處理液供給方法有权
简体标题：处理液供给设备及处理液供给方法
公开(公告)号：TWI576940B
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW103133320
申请日：2014-09-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：高栁康治 , TAKAYANAGI, KOJI , 吉原孝介 , YOSHIHARA, KOUSUKE , 寺下裕一 , TERASHITA, YUICHI , 古庄智伸 , FURUSHO, TOSHINOBU , 佐佐卓志 , SASA, TAKASHI
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： F17D3/01 , F17C1/00 , Y10T137/0318 , Y10T137/794

10. 发明专利

TW201243981A 蓋體開閉裝置 LID OPENING AND CLOSING DEVICE 审中-公开
简体标题：盖体开闭设备 LID OPENING AND CLOSING DEVICE
公开(公告)号：TW201243981A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW101109108
申请日：2012-03-16
申请人：東京威力科創股份有限公司
发明人：菅原佑道
IPC分类号： H01L , B65B
CPC分类号： H01L21/68735 , H01L21/67772 , Y10T137/794 , Y10T137/8376
摘要：蓋體開閉裝置包含:平臺,用以將載具固定於其上而使該載具蓋體的前表面朝向傳送通道;氣體注射孔,設於相對表面部中並用以供應用以移除黏附至載具蓋體之粒子的吹淨氣體;前進/後退機構,用以使置於該平臺上的該載具朝向該相對表面部或離開該相對表面部移動;及控制單元,用以輸出控制訊號俾以自該氣體注射孔供應吹淨氣體至該載具蓋體,其中該載具應被置於該相對表面部與該載具蓋體間的距離係等於或小於5mm且該載具蓋體與該相對表面部係彼此分離的位置,然後自該載具移除該載具蓋體。
简体摘要：盖体开闭设备包含:平台,用以将载具固定于其上而使该载具盖体的前表面朝向发送信道;气体注射孔,设于相对表面部中并用以供应用以移除黏附至载具盖体之粒子的吹净气体;前进/后退机构,用以使置于该平台上的该载具朝向该相对表面部或离开该相对表面部移动;及控制单元,用以输出控制信号俾以自该气体注射孔供应吹净气体至该载具盖体,其中该载具应被置于该相对表面部与该载具盖体间的距离系等于或小于5mm且该载具盖体与该相对表面部系彼此分离的位置,然后自该载具移除该载具盖体。

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