会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 7. 发明专利
    • 形成圖案化金屬層之方法
    • 形成图案化金属层之方法
    • TW564479B
    • 2003-12-01
    • TW091132105
    • 2002-10-29
    • 佳康控股有限公司
    • 詹姆士F 歐蘇力凡史蒂芬 R 伯根
    • H01L
    • H01L21/0272H01L21/2855H05K3/048
    • 一種在一基材上形成一圖案化層之方法,包括沈積一有缺口或切口抗蝕劑圖案以界定出在該光阻材料中之至少一凹孔且該缺口或切口鄰近該凹孔之底部,將一材料濺鍍於該凹孔中及移除該抗蝕劑與沈積在該抗蝕劑上之材料,其特徵在於該凹孔與該缺口或切口之口部高度的長寬比可使該缺口或切口,相對於以一直線移動通過該凹孔之口部之濺鍍粒子,大致位在該抗蝕劑、沈積在該抗蝕劑上之層與在該凹孔之底部處之層下方的陰影中,因此沈積在該等凹孔壁上之材料與沈積在該凹孔底部上之材料是不連續的。
    • 一种在一基材上形成一图案化层之方法,包括沉积一有缺口或切口抗蚀剂图案以界定出在该光阻材料中之至少一凹孔且该缺口或切口邻近该凹孔之底部,将一材料溅镀于该凹孔中及移除该抗蚀剂与沉积在该抗蚀剂上之材料,其特征在于该凹孔与该缺口或切口之口部高度的长宽比可使该缺口或切口,相对于以一直线移动通过该凹孔之口部之溅镀粒子,大致位在该抗蚀剂、沉积在该抗蚀剂上之层与在该凹孔之底部处之层下方的阴影中,因此沉积在该等凹孔壁上之材料与沉积在该凹孔底部上之材料是不连续的。