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    • 3. 发明专利
    • 具有光纖邊側插入的晶圓層級光電封裝 WAFER LEVEL OPTOELECTRONIC PACKAGE WITH FIBER SIDE INSERTION
    • 具有光纤边侧插入的晶圆层级光电封装 WAFER LEVEL OPTOELECTRONIC PACKAGE WITH FIBER SIDE INSERTION
    • TW201028748A
    • 2010-08-01
    • TW098133942
    • 2009-10-07
    • 國家半導體公司
    • 達賓揚 亞圖尼桂恩 盧普達 阿妮塔
    • G02B
    • G02B6/4214G02B6/4232
    • 所述係用於形成光電封裝的光電封裝與晶圓層級技術。根據本發明一個設備方面,一對基板係被接合一起以形成一光耦合器。該對基板中第一個係具有面對第二基板的一凹槽,以至少部分定義適合用於容納一光傳輸媒介的一通道。一光子裝置係被安裝在該第二基板之相對其接合表面的一安裝表面上。該光子裝置係面對反射表面,且一光路徑係被形成在該通道與該光子元件之間,以從該反射面反射出來且穿過該第二基板。在一些實施例中,一積體電路裝置及/或銲錫凸塊係亦被附接至該安裝表面,且該第二基板在其上係具有視情況來電氣耦合各種電氣構件之導電跡線(例如:光子裝置、積體電路裝置、銲錫凸塊及/或其他構件)。該等基板係可被形成自包含玻璃、塑膠與矽材之廣泛種類的材料。在一些實施例中,至少該第二基板係播形成自一光透明材料,且該光路徑係直接穿越該光透明材料。在本發明一方法方面,用於形成此等裝置之各種晶圓層級方法係被敘述。
    • 所述系用于形成光电封装的光电封装与晶圆层级技术。根据本发明一个设备方面,一对基板系被接合一起以形成一光耦合器。该对基板中第一个系具有面对第二基板的一凹槽,以至少部分定义适合用于容纳一光传输媒介的一信道。一光子设备系被安装在该第二基板之相对其接合表面的一安装表面上。该光子设备系面对反射表面,且一光路径系被形成在该信道与该光子组件之间,以从该反射面反射出来且穿过该第二基板。在一些实施例中,一集成电路设备及/或焊锡凸块系亦被附接至该安装表面,且该第二基板在其上系具有视情况来电气耦合各种电气构件之导电迹线(例如:光子设备、集成电路设备、焊锡凸块及/或其他构件)。该等基板系可被形成自包含玻璃、塑胶与硅材之广泛种类的材料。在一些实施例中,至少该第二基板系播形成自一光透明材料,且该光路径系直接穿越该光透明材料。在本发明一方法方面,用于形成此等设备之各种晶圆层级方法系被叙述。