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1. 发明专利

TW200603684A 利用電漿中電弧電流之早先分路之快速電弧消失之裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR FAST ARC EXTINCTION WITH EARLY SHUNTING OF ARC CURRENT IN PLASMA 审中-公开
简体标题：利用等离子中电弧电流之早先分路之快速电弧消失之设备及方法 APPARATUS AND METHOD FOR FAST ARC EXTINCTION WITH EARLY SHUNTING OF ARC CURRENT IN PLASMA
公开(公告)号：TW200603684A
公开(公告)日：2006-01-16
申请号：TW094119791
申请日：2005-06-15
申请人：先驅能源工業公司 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.
发明人：米蘭伊利克 ILIC, MILAN , 凱爾元NC 希達巴圖拉 SIDDABATTULA, KALYAN N.C. , 安得烈B 馬利林 MALININ, ANDREY B.
IPC分类号： H05H
CPC分类号： B23K10/006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206 , H05H1/36
摘要：本發明提供了一個新的裝置以及操作直流電漿處理的方法，其在電弧的起動將電源電流從電漿轉向，因此抑制從電源流到電漿的能量，然後電源重新允許能量再次流動流到電漿。轉向裝置係連接電源的輸出以在電弧的起動時將電流轉向離開電漿，其中當在輸出上偵測到電弧時起動轉向裝置，並且在第一預定時間中將電流轉向。轉向裝置在第一預定時間的末端、在電流到達零之前釋放，其重新導引電流到電漿，並且轉向裝置在第二預定時間的末端、在電弧事件沒消失的時候重新起動。
简体摘要：本发明提供了一个新的设备以及操作直流等离子处理的方法，其在电弧的起动将电源电流从等离子转向，因此抑制从电源流到等离子的能量，然后电源重新允许能量再次流动流到等离子。转向设备系连接电源的输出以在电弧的起动时将电流转向离开等离子，其中当在输出上侦测到电弧时起动转向设备，并且在第一预定时间中将电流转向。转向设备在第一预定时间的末端、在电流到达零之前释放，其重新导引电流到等离子，并且转向设备在第二预定时间的末端、在电弧事件没消失的时候重新起动。

2. 发明专利

TW201711081A 供應至在一多製程腔室氣體處理系統中的一電漿炬的氣流及電力之控制审中-公开
简体标题：供应至在一多制程腔室气体处理系统中的一等离子炬的气流及电力之控制
公开(公告)号：TW201711081A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：TW105122478
申请日：2016-07-15
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：瑪格尼西蒙 , MAGNI, SIMONE , 柏格那傑洛米 , BOEGNER, JEROME , 盧珉京 , NOH, MINKYEONG , 李鎮玉 , LEE, JINOK , 孫志榮 , SON, JIYOUNG
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： H05H1/36 , B01D53/323 , B01D2257/2027 , B01D2258/0216
摘要：本發明揭示一種控制由經組態以將電力供應至一氣體處理系統中之一電漿炬之一電力供應器輸出之電力之方法，連同一控制器及該氣體處理系統，該電漿炬經組態以處理從至少兩個加工腔室接收之流出氣體。該方法包括：接收至少一個輸入信號，該至少一個輸入信號包括當前將一流出氣體流供應至該電漿炬之加工腔室之一數目之一指示；及回應於該至少一個輸入信號，藉由輸出一控制信號以控制該電漿源氣體之一流率而控制由該電力供應器輸出之該電力。
简体摘要：本发明揭示一种控制由经组态以将电力供应至一气体处理系统中之一等离子炬之一电力供应器输出之电力之方法，连同一控制器及该气体处理系统，该等离子炬经组态以处理从至少两个加工腔室接收之流出气体。该方法包括：接收至少一个输入信号，该至少一个输入信号包括当前将一流出气体流供应至该等离子炬之加工腔室之一数目之一指示；及回应于该至少一个输入信号，借由输出一控制信号以控制该等离子源气体之一流率而控制由该电力供应器输出之该电力。

3. 发明专利

TW200623575A 具有過電壓保護電路之直流對直流轉換器 DC-DC CONVERTER WITH OVER-VOLTAGE PROTECTION CIRCUIT 审中-公开
简体标题：具有过电压保护电路之直流对直流转换器 DC-DC CONVERTER WITH OVER-VOLTAGE PROTECTION CIRCUIT
公开(公告)号：TW200623575A
公开(公告)日：2006-07-01
申请号：TW094128732
申请日：2005-08-23
申请人：先驅能源工業公司 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.
发明人：弗拉迪斯拉弗V 席羅 SHILO, VLADISLAV V. , 米蘭伊利克 ILIC, MILAN , 凱爾元NC 希達巴圖拉 SIDDABATTULA, KALYAN N.C.
IPC分类号： H02H , H02M
CPC分类号： H01J37/32027 , B23K10/006 , H05H1/36
摘要：本發明提出用於點燃電漿的裝置和方法，在電弧產生的情形中，一分路開關被用來將電力從電漿中轉移出去，此分路開關被納入一過電壓保護電路中，當電弧被消滅時，該過電壓保護電路係控制分路開關以作用為增壓開關，以致於儲存的電感能量被使用來增壓點燃電壓，以在若電漿被消除時，用以重新點燃電漿。當電弧被消滅，電感電流減小，且電漿被點燃時，則開關S1被關斷，而電感能量流至電漿，且電源供應器處於其正常運作模式。
简体摘要：本发明提出用于点燃等离子的设备和方法，在电弧产生的情形中，一分路开关被用来将电力从等离子中转移出去，此分路开关被纳入一过电压保护电路中，当电弧被消灭时，该过电压保护电路系控制分路开关以作用为增压开关，以致于存储的电感能量被使用来增压点燃电压，以在若等离子被消除时，用以重新点燃等离子。当电弧被消灭，电感电流减小，且等离子被点燃时，则开关S1被关断，而电感能量流至等离子，且电源供应器处于其正常运作模式。

4. 发明专利

TW201713169A 補償電極改變而供應至電漿炬之電力控制审中-公开
简体标题：补偿电极改变而供应至等离子炬之电力控制
公开(公告)号：TW201713169A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105122468
申请日：2016-07-15
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：瑪格尼西蒙 , MAGNI, SIMONE , 柏格那傑洛米 , BOEGNER, JEROME , 盧珉京 , NOH, MINKYEONG , 李鎮玉 , LEE, JINOK , 孫志榮 , SON, JIYOUNG
IPC分类号： H05H1/36 , H05H7/02
CPC分类号： H05H1/36
摘要：本發明揭示一種用於使由經組態以將電力供應至一氣體處理系統中之一電漿炬之一電力供應器輸出之電力維持在一預定電力極限內之方法及裝置及一種氣體處理系統。該方法包括：週期性接收指示由該電力供應器輸出之一當前電力之至少一個輸入信號；回應於指示電力輸出已超出一預定值之該至少一個輸入信號而調整該電力輸出，使得該電力輸出在該預定電力極限內；調整該電力輸出之該步驟包括：輸出一控制信號以改變供應至該電漿炬之一源氣體之一流率，其中該改變將使一源氣體流率維持在預定氣體流量極限內；及在該改變將不使該源氣體流率維持在該等預定氣體流量極限內之情況下，輸出一控制信號以改變由該電力供應單元輸出之一電流或電壓中之一者。
简体摘要：本发明揭示一种用于使由经组态以将电力供应至一气体处理系统中之一等离子炬之一电力供应器输出之电力维持在一预定电力极限内之方法及设备及一种气体处理系统。该方法包括：周期性接收指示由该电力供应器输出之一当前电力之至少一个输入信号；回应于指示电力输出已超出一预定值之该至少一个输入信号而调整该电力输出，使得该电力输出在该预定电力极限内；调整该电力输出之该步骤包括：输出一控制信号以改变供应至该等离子炬之一源气体之一流率，其中该改变将使一源气体流率维持在预定气体流量极限内；及在该改变将不使该源气体流率维持在该等预定气体流量极限内之情况下，输出一控制信号以改变由该电力供应单元输出之一电流或电压中之一者。

5. 发明专利

TW201415525A 具有電壓反轉及改良的回復之電弧管理审中-公开
简体标题：具有电压反转及改良的回复之电弧管理
公开(公告)号：TW201415525A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：TW102131235
申请日：2013-08-30
申请人：先驅能源工業公司 , ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.
发明人：威爾德亨德瑞克 , WALDE, HENDRIK , 潘克拉茲喬許華布萊恩 , PANKRATZ, JOSHUA BRIAN , 克莉絲蒂大衛 , CHRISTIE, DAVID , 寇瓦爾布萊恩D , KOWAL, BRIAN D.
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32944 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J2237/0206 , H01J2237/244 , H05H1/24 , H05H1/36 , H05H1/48 , H05H2001/3494
摘要：本發明揭示在電漿處理運作之中用於電弧處置的系統與方法。該方法包含，於一第一電壓極性以一電源提供電流給一電漿負載，以及激發一能量儲存裝置，使得當其被激發之時，該能量儲存裝置施加一相反極性電壓，該相反極性電壓具有一至少與該第一電壓極性一樣大之強度。當一電弧被偵測到之時，以一相反極性電壓自該能量儲存裝置施加電力至該電漿負載，該相反極性電壓具有一相反於該第一電壓極性之極性，且該相反極性電壓至該電漿負載之施加降低提供給該電漿負載之電流之一位準。
简体摘要：本发明揭示在等离子处理运作之中用于电弧处置的系统与方法。该方法包含，于一第一电压极性以一电源提供电流给一等离子负载，以及激发一能量存储设备，使得当其被激发之时，该能量存储设备施加一相反极性电压，该相反极性电压具有一至少与该第一电压极性一样大之强度。当一电弧被侦测到之时，以一相反极性电压自该能量存储设备施加电力至该等离子负载，该相反极性电压具有一相反于该第一电压极性之极性，且该相反极性电压至该等离子负载之施加降低提供给该等离子负载之电流之一位准。

6. 发明专利

TWI523583B 電源裝置有权
简体标题：电源设备
公开(公告)号：TWI523583B
公开(公告)日：2016-02-21
申请号：TW099140403
申请日：2010-11-23
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：松原忍 , MATSUBARA, SHINOBU , 堀下芳邦 , HORISHITA, YOSHIKUNI , 小野敦 , ONO, ATSUSHI
IPC分类号： H05H1/36 , H02H9/04
CPC分类号： H02M1/32 , C23C14/34 , C23C14/564 , H02H9/001 , H05H1/36 , H05H1/46

7. 发明专利

TW201509121A Ｄ級放大器审中-公开
简体标题：Ｄ级放大器
公开(公告)号：TW201509121A
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW103105206
申请日：2014-02-18
申请人：京三製作所股份有限公司 , KYOSAN ELECTRIC MFG. CO., LTD.
发明人：譲原男 , YUZURIHARA, ITSUO , 相川諭 , AIKAWA, SATOSHI , 大間亮介 , OHMA, RYOSUKE
IPC分类号： H03F3/217 , H03F1/30 , H05H1/46
CPC分类号： H03F1/086 , H01J37/32174 , H03F1/308 , H03F1/523 , H03F3/193 , H03F3/211 , H03F3/217 , H03F3/2171 , H03F3/2173 , H03F3/3061 , H03F2200/33 , H03F2200/351 , H03F2200/451 , H03F2200/459 , H03F2203/21106 , H03F2203/21112 , H05H1/36
摘要：在D級放大器中抑制在高頻RF領域的振動現象，且減低突波電壓。在D級放大電路的電源側連接振動吸收電路，藉由D級放大電路、及相連接的振動吸收電路，等效構成振動電路，將振動吸收電路所具備的電阻形成為振動電路的衰減電阻，藉此進行振動現象的抑制及突波電壓的減低。振動吸收電路係由電阻與電感的RL並聯電路所構成。振動吸收電路及D級放大電路係構成振動電路，振動吸收電路的電阻係在高頻RF領域中構成振動電路的衰減電阻。
简体摘要：在D级放大器中抑制在高频RF领域的振动现象，且减低突波电压。在D级放大电路的电源侧连接振动吸收电路，借由D级放大电路、及相连接的振动吸收电路，等效构成振动电路，将振动吸收电路所具备的电阻形成为振动电路的衰减电阻，借此进行振动现象的抑制及突波电压的减低。振动吸收电路系由电阻与电感的RL并联电路所构成。振动吸收电路及D级放大电路系构成振动电路，振动吸收电路的电阻系在高频RF领域中构成振动电路的衰减电阻。

8. 发明专利

TW200621408A 用於電漿裝置之電源 POWER SOURCE FOR PLASMA DEVICE 失效
简体标题：用于等离子设备之电源 POWER SOURCE FOR PLASMA DEVICE
公开(公告)号：TW200621408A
公开(公告)日：2006-07-01
申请号：TW094116358
申请日：2005-05-19
申请人：林肯環球公司 LINCOLN GLOBAL, INC.
发明人：喬治D 布萊肯其普 BLANKENSHIP, GEORGE D. , 羅柏特L 道奇 DODGE, ROBERT L. , 托迪E 寇肯 KOOKEN, TODD E. , 利分陸 LUO, LIFENG
IPC分类号： B23K
CPC分类号： H01F38/00 , H01F27/28 , H01F29/02 , H01F30/04 , H01F38/085 , H01F2038/006 , H05H1/36
摘要：本發明揭示一種電漿裝置，其包括一電源，該電源藉一位在該電源與一串聯電路間之矩陣變壓器來建立一交流電(AC)輸出信號，該串聯電路包含一第一導線及一第二導線。該矩陣變壓器包括至少兩個模組，其中一第一主要部分由一端相連的第一及第二管形成，一第二主要部分由一端相連的第三及第四管形成，該等第三及第四管分別安裝於該等第一及第二管內並與其電絕緣，此處該等同心管界定大致穿過該模組而平行延伸的通道。透過各模組之該等延伸通道纏燒一次要繞組。具有一自該電源至該矩陣變壓器之一第一串聯電路，其用於透過該等模組的該等第一主要區段傳遞該AC輸出信號之第一極性；一自該電源至該矩陣變壓器之第二串聯電路，其用於透過該等第二主要區段傳遞該輸出信號之第二極性；一用於該等模組的該等次要繞組之各繞組的整流器以及一連接該等整流器與該等第一及第二導線串聯之第三串聯電路，藉此一高於大約500伏特之電壓可橫跨該等導線。
简体摘要：本发明揭示一种等离子设备，其包括一电源，该电源藉一位在该电源与一串联电路间之矩阵变压器来创建一交流电(AC)输出信号，该串联电路包含一第一导线及一第二导线。该矩阵变压器包括至少两个模块，其中一第一主要部分由一端相连的第一及第二管形成，一第二主要部分由一端相连的第三及第四管形成，该等第三及第四管分别安装于该等第一及第二管内并与其电绝缘，此处该等同心管界定大致穿过该模块而平行延伸的信道。透过各模块之该等延伸信道缠烧一次要绕组。具有一自该电源至该矩阵变压器之一第一串联电路，其用于透过该等模块的该等第一主要区段传递该AC输出信号之第一极性；一自该电源至该矩阵变压器之第二串联电路，其用于透过该等第二主要区段传递该输出信号之第二极性；一用于该等模块的该等次要绕组之各绕组的整流器以及一连接该等整流器与该等第一及第二导线串联之第三串联电路，借此一高于大约500伏特之电压可横跨该等导线。

9. 发明专利

TW312890B 電漿產生器之觸發增强電路失效
简体标题：等离子产生器之触发增强电路
公开(公告)号：TW312890B
公开(公告)日：1997-08-11
申请号：TW085105727
申请日：1996-05-15
申请人：雅美公司伊恩艾分公司
发明人：杰夫.謝樂司
IPC分类号： H05H
CPC分类号： H01J37/32009 , H05H1/36
摘要：一種直流電源之觸發增強電路，其得為一開關半橋式電源，在高阻抗時產生高壓給電漿室或濺射室內以激發電漿，該觸發增強電路(38)具有多個作為全波整流器或峰值檢測器之二極體電橋(44，46，48，50）。電源(28)之變壓器副邊繞組以隔離電容器(52，54，56，68)與各二極體電橋的交流輸入端相連接。二極體電橋(44，46，48，50)之直流端(+，-)是串聯在一起，而組合、積存之電壓被外加跨於電漿室的輸入端。各二極體電橋亦有與正、負的直流端相連接之儲存電容器(68，70，72，74)。變壓器副邊繞組波形之正、負的電壓峰值，被儲存在儲存電容器內。當電壓夠高足以激發電漿放電時，出現組合之直流輸出給電漿室。一旦電漿出現，儲存電容器(52，54，56，58與60，62，64，66)之阻抗可防止觸發電路產生高觸發電壓。
简体摘要：一种直流电源之触发增强电路，其得为一开关半桥式电源，在高阻抗时产生高压给等离子室或溅射室内以激发等离子，该触发增强电路(38)具有多个作为全波整流器或峰值检测器之二极管电桥(44，46，48，50）。电源(28)之变压器副边绕组以隔离电容器(52，54，56，68)与各二极管电桥的交流输入端相连接。二极管电桥(44，46，48，50)之直流端(+，-)是串联在一起，而组合、积存之电压被外加跨于等离子室的输入端。各二极管电桥亦有与正、负的直流端相连接之存储电容器(68，70，72，74)。变压器副边绕组波形之正、负的电压峰值，被存储在存储电容器内。当电压够高足以激发等离子放电时，出现组合之直流输出给等离子室。一旦等离子出现，存储电容器(52，54，56，58与60，62，64，66)之阻抗可防止触发电路产生高触发电压。

10. 发明专利

TW210970B 保護電漿氣炬之噴嘴之系統、方法與電路失效
简体标题：保护等离子气炬之喷嘴之系统、方法与电路
公开(公告)号：TW210970B
公开(公告)日：1993-08-11
申请号：TW081102861
申请日：1992-04-13
申请人：林肯電氣公司
发明人：愛德華.艾.恩狄
IPC分类号： B23K , H01T
CPC分类号： B23K10/006 , H05H1/36 , H05H2001/3494
摘要：本發明係關於用於保護電漿噴嘴之系統，方法與電路，該電漿噴嘴係在噴嘴內含電極及一電源以在電極及噴嘴之間創造一電弧以建立電漿由噴嘴發射至一工作件，該系統方法及電路在噴嘴接觸或拖住工作件並在電源係高電流作業摸式轉移到低電流作業模式時可及時檢測。
简体摘要：本发明系关于用于保护等离子喷嘴之系统，方法与电路，该等离子喷嘴系在喷嘴内含电极及一电源以在电极及喷嘴之间创造一电弧以创建等离子由喷嘴发射至一工作件，该系统方法及电路在喷嘴接触或拖住工作件并在电源系高电流作业摸式转移到低电流作业模式时可及时检测。

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