专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201713169A 補償電極改變而供應至電漿炬之電力控制审中-公开
简体标题：补偿电极改变而供应至等离子炬之电力控制
公开(公告)号：TW201713169A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105122468
申请日：2016-07-15
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：瑪格尼西蒙 , MAGNI, SIMONE , 柏格那傑洛米 , BOEGNER, JEROME , 盧珉京 , NOH, MINKYEONG , 李鎮玉 , LEE, JINOK , 孫志榮 , SON, JIYOUNG
IPC分类号： H05H1/36 , H05H7/02
CPC分类号： H05H1/36
摘要：本發明揭示一種用於使由經組態以將電力供應至一氣體處理系統中之一電漿炬之一電力供應器輸出之電力維持在一預定電力極限內之方法及裝置及一種氣體處理系統。該方法包括：週期性接收指示由該電力供應器輸出之一當前電力之至少一個輸入信號；回應於指示電力輸出已超出一預定值之該至少一個輸入信號而調整該電力輸出，使得該電力輸出在該預定電力極限內；調整該電力輸出之該步驟包括：輸出一控制信號以改變供應至該電漿炬之一源氣體之一流率，其中該改變將使一源氣體流率維持在預定氣體流量極限內；及在該改變將不使該源氣體流率維持在該等預定氣體流量極限內之情況下，輸出一控制信號以改變由該電力供應單元輸出之一電流或電壓中之一者。
简体摘要：本发明揭示一种用于使由经组态以将电力供应至一气体处理系统中之一等离子炬之一电力供应器输出之电力维持在一预定电力极限内之方法及设备及一种气体处理系统。该方法包括：周期性接收指示由该电力供应器输出之一当前电力之至少一个输入信号；回应于指示电力输出已超出一预定值之该至少一个输入信号而调整该电力输出，使得该电力输出在该预定电力极限内；调整该电力输出之该步骤包括：输出一控制信号以改变供应至该等离子炬之一源气体之一流率，其中该改变将使一源气体流率维持在预定气体流量极限内；及在该改变将不使该源气体流率维持在该等预定气体流量极限内之情况下，输出一控制信号以改变由该电力供应单元输出之一电流或电压中之一者。

2. 发明专利

TW201711081A 供應至在一多製程腔室氣體處理系統中的一電漿炬的氣流及電力之控制审中-公开
简体标题：供应至在一多制程腔室气体处理系统中的一等离子炬的气流及电力之控制
公开(公告)号：TW201711081A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：TW105122478
申请日：2016-07-15
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：瑪格尼西蒙 , MAGNI, SIMONE , 柏格那傑洛米 , BOEGNER, JEROME , 盧珉京 , NOH, MINKYEONG , 李鎮玉 , LEE, JINOK , 孫志榮 , SON, JIYOUNG
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： H05H1/36 , B01D53/323 , B01D2257/2027 , B01D2258/0216
摘要：本發明揭示一種控制由經組態以將電力供應至一氣體處理系統中之一電漿炬之一電力供應器輸出之電力之方法，連同一控制器及該氣體處理系統，該電漿炬經組態以處理從至少兩個加工腔室接收之流出氣體。該方法包括：接收至少一個輸入信號，該至少一個輸入信號包括當前將一流出氣體流供應至該電漿炬之加工腔室之一數目之一指示；及回應於該至少一個輸入信號，藉由輸出一控制信號以控制該電漿源氣體之一流率而控制由該電力供應器輸出之該電力。
简体摘要：本发明揭示一种控制由经组态以将电力供应至一气体处理系统中之一等离子炬之一电力供应器输出之电力之方法，连同一控制器及该气体处理系统，该等离子炬经组态以处理从至少两个加工腔室接收之流出气体。该方法包括：接收至少一个输入信号，该至少一个输入信号包括当前将一流出气体流供应至该等离子炬之加工腔室之一数目之一指示；及回应于该至少一个输入信号，借由输出一控制信号以控制该等离子源气体之一流率而控制由该电力供应器输出之该电力。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式