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1. 发明专利

TW201723715A 具儲熱元件的微機電溫度控制系統审中-公开
简体标题：具储热组件的微机电温度控制系统
公开(公告)号：TW201723715A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW104143996
申请日：2015-12-28
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：許郁文 , HSU, YU-WEN , 蘇中源 , SU, CHUNG-YUAN , 黃肇達 , HUANG, CHAO-TA
IPC分类号： G05D23/19 , G01N33/00
CPC分类号： H05B1/023 , G01N27/12 , G05D23/24 , H05B3/265 , H05B2203/003
摘要：一種微機電溫度控制系統，其包括微機電裝置。微機電裝置包括加熱器及儲熱元件。儲熱元件的比熱大於加熱器的比熱，因而能減少加熱器加熱時間與加熱頻率，以降低電能消耗。微機電溫度控制系統可應用於需要控制工作溫度的微機電感測器，例如氣體感測器。
简体摘要：一种微机电温度控制系统，其包括微机电设备。微机电设备包括加热器及储热组件。储热组件的比热大于加热器的比热，因而能减少加热器加热时间与加热频率，以降低电能消耗。微机电温度控制系统可应用于需要控制工作温度的微机电传感器，例如气体传感器。

2. 发明专利

TW201630465A 工件固持加熱設備、加熱工件方法及環形加熱器組合件审中-公开
简体标题：工件固持加热设备、加热工件方法及环形加热器组合件
公开(公告)号：TW201630465A
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：TW104139046
申请日：2015-11-25
申请人：瓦里安半導體設備公司 , VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人：恩爾拉史蒂芬 M‧ , ANELLA, STEVEN M. , 斯庫拉麼爾麥可 A‧ , SCHRAMEYER, MICHAEL A.
IPC分类号： H05B3/22 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/324 , H01L21/67109 , H01L21/67248 , H01L21/683 , H01L21/68735 , H05B3/0047 , H05B3/265 , H05B2203/014
摘要：揭示一種用於在處理期間改善工件溫度均勻性的設備和方法。設備包含沿著平臺的外周安置的環形加熱器組合件。環形加熱器組合件包含安置於其中或其上的加熱元件，其中這些加熱元件產生用以加溫工件的外邊緣的熱量。在一些實施例中，環形加熱器組合件伸出工件的邊緣並且可以暴露於離子束中。
简体摘要：揭示一种用于在处理期间改善工件温度均匀性的设备和方法。设备包含沿着平台的外周安置的环形加热器组合件。环形加热器组合件包含安置于其中或其上的加热组件，其中这些加热组件产生用以加温工件的外边缘的热量。在一些实施例中，环形加热器组合件伸出工件的边缘并且可以暴露于离子束中。

3. 发明专利

TWI540675B 溫度測定用板狀體及具備該溫度測定用板狀體之溫度測定裝置有权
简体标题：温度测定用板状体及具备该温度测定用板状体之温度测定设备
公开(公告)号：TWI540675B
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW101130389
申请日：2012-08-22
申请人：住友大阪水泥股份有限公司 , SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
发明人：小土反井守 , KOSAKAI, MAMORU , 石村和典 , ISHIMURA, KAZUNORI , 渡邊剛志 , WATANABE, TAKESHI , 河野仁 , KOUNO, HITOSHI , 早原龍二 , HAYAHARA, RYUUJI
IPC分类号： H01L21/76 , G01K1/02 , G01K1/14
CPC分类号： G01K13/00 , H01L21/67248 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H05B1/0233 , H05B3/265 , H05B2203/002 , H01L2924/00

4. 实用新型

TWM500349U 加熱裝置有权
简体标题：加热设备
公开(公告)号：TWM500349U
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW103207351
申请日：2014-04-28
申请人：愛思強歐洲公司 , AIXTRON SE
发明人：布汀皮埃爾阿爾諾 , BODIN, PIERRE-ARNAUD , 歐本馬克愛德芬 , OPPEN, MARK EDLEF , 愛倫基思 , ALLEN, KEITH , 席爾瓦休果 , SILVA, HUGO
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/46 , H05B3/00
CPC分类号： C23C16/4586 , C23C16/46 , H05B3/12 , H05B3/265 , H05B2203/002 , H05B2203/014 , H05B2203/016 , H05B2203/022 , H05B2203/037

5. 发明专利

TWI462629B 陶瓷加熱器及固定一熱電偶至該陶瓷加熱器的方法有权
简体标题：陶瓷加热器及固定一热电偶至该陶瓷加热器的方法
公开(公告)号：TWI462629B
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：TW096114601
申请日：2007-04-25
申请人：瓦特洛威電子製造公司 , WATLOW ELECTRIC MANUFACTURING COMPANY
发明人：林宏吉 , LIN, HONGY , 史密斯傑森E. , SMITH, JASON E. , 巴洛克丹尼爾J. , BLOCK, DANIEL J.
IPC分类号： H05B3/26
CPC分类号： H05B3/143 , H05B3/265

6. 发明专利

TWI425529B 經減少週期時間之製造厚膜電阻裝置的方法有权
简体标题：经减少周期时间之制造厚膜电阻设备的方法
公开(公告)号：TWI425529B
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW097127131
申请日：2008-07-17
申请人：瓦特洛威電子製造公司 , WATLOW ELECTRIC MANUFACTURING COMPANY
发明人：帕瑞維特安吉 , PRIVETT, ANGIE , 伯魯摩羅傑 , BRUMMELL, ROGER , 弗比斯賴瑞 , FORBIS, LARRY
IPC分类号： H01B5/14
CPC分类号： B32B37/10 , H01C17/06 , H05B3/262 , H05B3/265 , H05B3/46 , H05B2203/003 , H05B2203/013 , H05B2203/017

7. 发明专利

TW201320812A 陶瓷加熱器审中-公开
简体标题：陶瓷加热器
公开(公告)号：TW201320812A
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：TW101121248
申请日：2012-06-14
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：串橋卓馬 , KUSHIHASHI, TAKUMA , 木村昇 , KIMURA, NOBORU , 小棚伸彥 , KODANA, NOBUHIKO , 關勝來 , SEKI, MASAKI
IPC分类号： H05B3/74 , H01L21/205
CPC分类号： H05B3/143 , H05B3/145 , H05B3/265 , H05B2203/013 , Y10T29/49083
摘要：提供一種適宜在還原性氣體環境中使用的陶瓷加熱器。該陶瓷加熱器為在包括絕緣性陶瓷部件的基材上，依次設有在兩端具有端子部的包括導電性部件的加熱器圖案以及包括絕緣性陶瓷部件的覆蓋層，所述端子部沒有包括所述絕緣性陶瓷部件的覆蓋層，連接到電源的導線接續到該端子部。所述加熱器的端子部以導電性保護膜覆蓋，該加熱器的端子部和所述導線是經由包括具有延展性的導電性材料的墊圈被固著接續。
简体摘要：提供一种适宜在还原性气体环境中使用的陶瓷加热器。该陶瓷加热器为在包括绝缘性陶瓷部件的基材上，依次设有在两端具有端子部的包括导电性部件的加热器图案以及包括绝缘性陶瓷部件的覆盖层，所述端子部没有包括所述绝缘性陶瓷部件的覆盖层，连接到电源的导线接续到该端子部。所述加热器的端子部以导电性保护膜覆盖，该加热器的端子部和所述导线是经由包括具有延展性的导电性材料的垫圈被固着接续。

8. 发明专利

TW200826726A 超合金微型加熱器及其製作方法 SUPERALLOY MICRO-HEATING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME 审中-公开
简体标题：超合金微型加热器及其制作方法 SUPERALLOY MICRO-HEATING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
公开(公告)号：TW200826726A
公开(公告)日：2008-06-16
申请号：TW095146267
申请日：2006-12-11
申请人：探微科技股份有限公司 TOUCH MICRO-SYSTEM TECHNOLOGY INC.
发明人：康育輔 KANG, YU FU
IPC分类号： H05B , H01L
CPC分类号： H05B3/265 , C23C14/185
摘要：一種超合金微型加熱器,其包含一基底、一絕緣層設於該基底之一正面、一圖案化之加熱電阻設於以及一接觸電極設於該加熱電阻之上,其中該加熱電阻係由超合金材料構成,具有耐腐蝕、高電阻、升溫快以及耐高溫等優點,可大幅提昇該超合金微型加熱器的可靠性及重覆性。
简体摘要：一种超合金微型加热器,其包含一基底、一绝缘层设于该基底之一正面、一图案化之加热电阻设于以及一接触电极设于该加热电阻之上,其中该加热电阻系由超合金材料构成,具有耐腐蚀、高电阻、升温快以及耐高温等优点,可大幅提升该超合金微型加热器的可靠性及重复性。

9. 实用新型

TW529884U 恆溫裝置失效
简体标题：恒温设备
公开(公告)号：TW529884U
公开(公告)日：2003-04-21
申请号：TW089221939
申请日：2000-12-18
申请人：曹正尚
发明人：曹正尚
IPC分类号： H05B
CPC分类号： H05B3/265 , A47J37/08 , H05B3/12 , H05B3/141 , H05B2203/013 , H05B2203/017 , H05B2203/02
摘要：本創作係提供一種恆溫裝置，包含有一基材，係由玻璃材質或陶瓷材質或其他絕緣材質所製成；一電熱薄膜，係以多項材料混合，藉真空磁控濺射或氣相沉積技術，將其均勻佈設於該基材之一側面；二電極，置設於該電熱薄膜之二端；於通上電源後，該電熱薄膜將產生熱敏電阻效應，能自動將溫度維持於一預定之溫度狀態，其節約能源及確保使用安全之功效。
简体摘要：本创作系提供一种恒温设备，包含有一基材，系由玻璃材质或陶瓷材质或其他绝缘材质所制成；一电热薄膜，系以多项材料混合，藉真空磁控溅射或气相沉积技术，将其均匀布设于该基材之一侧面；二电极，置设于该电热薄膜之二端；于通上电源后，该电热薄膜将产生热敏电阻效应，能自动将温度维持于一预定之温度状态，其节约能源及确保使用安全之功效。

10. 发明专利

TW459251B 加熱裝置及其製造方法失效
简体标题：加热设备及其制造方法
公开(公告)号：TW459251B
公开(公告)日：2001-10-11
申请号：TW086103733
申请日：1997-03-25
申请人：羅沐股份有限公司
发明人：佐古照久
IPC分类号： G03G , H05B , H01B
CPC分类号： H05B3/265 , G03G15/2064 , H05B3/283
摘要：一加熱裝置包括一由耐熱絕緣材料製成的基片，一耐熱器形成在該基片上，及一保護玻璃塗佈形成在該基片上以覆蓋該耐熱器。該保護玻璃塗佈是由一玻璃材料形成包含，如一添加劑，具有一平均0.5~2.0μm顆粒尺寸的3～40wt%氧化鋁粉。
简体摘要：一加热设备包括一由耐热绝缘材料制成的基片，一耐热器形成在该基片上，及一保护玻璃涂布形成在该基片上以覆盖该耐热器。该保护玻璃涂布是由一玻璃材料形成包含，如一添加剂，具有一平均0.5~2.0μm颗粒尺寸的3～40wt%氧化铝粉。

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