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1. 发明专利

TW201632877A 氣體感測器的製造方法及相關的氣體感測器审中-公开
简体标题：气体传感器的制造方法及相关的气体传感器
公开(公告)号：TW201632877A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW105107174
申请日：2016-03-09
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：克勞斯安德烈亞斯 , KRAUSS, ANDREAS
IPC分类号： G01N27/12
CPC分类号： G01N27/128 , B05D7/52 , G01N27/12
摘要：一種氣體感測器，具有：基板(7)；構建在該基板(7)之基板正面(16)上的可加熱之膜片(8)；至少三個佈置在該膜片(8)之膜片表面(13)上的電極(1，2，3；11；202；302；101，102，103)；構建在該膜片表面(13)的一區域上的第一塗層(4)，其中該等至少三個電極(1，2，3；11；202；302；101，102，103)中的至少兩個接觸該第一塗層(4)；至少部分地構建在該第一塗層(4)上及該膜片表面(13)的一區域上的第二塗層(5)，其中該等至少三個電極(1，2，3；11；202；302；101，102，103)中的至少兩個接觸該第二塗層(5)，且其中，接觸該第二塗層(5)的該等至少兩個電極中的至少一個不同於接觸該第一塗層(4)的該等至少兩個電極。
简体摘要：一种气体传感器，具有：基板(7)；构建在该基板(7)之基板正面(16)上的可加热之膜片(8)；至少三个布置在该膜片(8)之膜片表面(13)上的电极(1，2，3；11；202；302；101，102，103)；构建在该膜片表面(13)的一区域上的第一涂层(4)，其中该等至少三个电极(1，2，3；11；202；302；101，102，103)中的至少两个接触该第一涂层(4)；至少部分地构建在该第一涂层(4)上及该膜片表面(13)的一区域上的第二涂层(5)，其中该等至少三个电极(1，2，3；11；202；302；101，102，103)中的至少两个接触该第二涂层(5)，且其中，接触该第二涂层(5)的该等至少两个电极中的至少一个不同于接触该第一涂层(4)的该等至少两个电极。

2. 发明专利

TW201250239A 氣體檢測裝置及氣體檢測方法审中-公开
简体标题：气体检测设备及气体检测方法
公开(公告)号：TW201250239A
公开(公告)日：2012-12-16
申请号：TW101103511
申请日：2012-02-03
申请人：富士電機股份有限公司 , 大阪瓦斯股份有限公司
发明人：岡村誠 , 鈴木卓彌 , 前田賢彥 , 大西久男 , 中山敏郎 , 野中篤 , 中島崇
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N27/12
摘要：本發明是在於提供一種維持設置容易小型的構造，且謀求低耗費電力化的同時，可充分地除去結露的水分，藉此防止錯誤檢測，而可成為精度高的氣體檢測之氣體檢測裝置及氣體檢測方法。本發明係氣體檢測裝置及氣體檢測方法，係利用具有藉由與氣體的接觸而電氣特性變化的氣體檢測層(6)及可加熱前述氣體檢測層(6)的加熱器層(4)之感測器元件(1)，在以預定的週期(t1)來間歇性地對加熱器層(4)施加電壓而通電預定的通電時間(t2)，藉此在加熱氣體檢測層(6)的狀態下，根據氣體檢測層(6)的電氣特性來檢測氣體之氣體檢測方法中，檢測氣體檢測層(6)的結露或剩餘水分，當檢測到氣體檢測層(6)的結露或剩餘水分時，使往加熱器層(4)的通電時間(t2’)形成比預定的通電時間(t2)長，或使通電至加熱器層(4)的週期(t1)比預定的週期(t1’)短。
简体摘要：本发明是在于提供一种维持设置容易小型的构造，且谋求低耗费电力化的同时，可充分地除去结露的水分，借此防止错误检测，而可成为精度高的气体检测之气体检测设备及气体检测方法。本发明系气体检测设备及气体检测方法，系利用具有借由与气体的接触而电气特性变化的气体检测层(6)及可加热前述气体检测层(6)的加热器层(4)之传感器组件(1)，在以预定的周期(t1)来间歇性地对加热器层(4)施加电压而通电预定的通电时间(t2)，借此在加热气体检测层(6)的状态下，根据气体检测层(6)的电气特性来检测气体之气体检测方法中，检测气体检测层(6)的结露或剩余水分，当检测到气体检测层(6)的结露或剩余水分时，使往加热器层(4)的通电时间(t2’)形成比预定的通电时间(t2)长，或使通电至加热器层(4)的周期(t1)比预定的周期(t1’)短。

3. 发明专利

TWI354650B 二氧化鈦奈米管及其製造方法與感測器 TITANIUM DIOXIDE NANO-TUBE, ITS MANUFACTURING METHOD AND SENSOR 有权
简体标题：二氧化钛奈米管及其制造方法与传感器 TITANIUM DIOXIDE NANO-TUBE, ITS MANUFACTURING METHOD AND SENSOR
公开(公告)号：TWI354650B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：TW093109844
申请日：2004-04-09
申请人：住友化學工業股份有限公司
发明人：長谷川彰 , 平尾一之
IPC分类号： C01G , H01J
CPC分类号： B82Y30/00 , C01G23/04 , C01G23/053 , C01P2004/13 , C01P2004/54 , C01P2004/62 , G01J1/42 , G01N27/12 , Y10S435/807 , Y10S435/808 , Y10T428/2975
摘要：一種適合使用於光感測器以及氣體感測器的二氧化鈦奈米管及其製造方法。二氧化鈦奈米管的長度在1μm以上，而直徑在0.1μm以下、高寬比在100以上較佳。
简体摘要：一种适合使用于光传感器以及气体传感器的二氧化钛奈米管及其制造方法。二氧化钛奈米管的长度在1μm以上，而直径在0.1μm以下、高宽比在100以上较佳。

4. 发明专利

TWI234842B 化學感測器之製作方法有权
简体标题：化学传感器之制作方法
公开(公告)号：TWI234842B
公开(公告)日：2005-06-21
申请号：TW092124804
申请日：2003-09-09
申请人：財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：柯文旺 , 張文陽 CHANG, WEN YANG , 謝佑聖 HSIEH, YU SHENG , 郭乃豪 KUO, NAI HAO , 李政鴻
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N27/12 , B01J2219/0036 , B01J2219/0043 , B01J2219/00659 , B01J2219/00662 , C40B60/14
摘要：本發明提供一種化學感測器之製作方法，可應用於晶圓級化學感測器製程中，其係於晶圓上之複數個感測器晶片中所需放置感測材料處，製作一圍框，再將溶膠狀之感測材料透過一點膠系統裝置填入該感測器晶片中之圍框內；此外，本發明更提供一新型之晶粒分離流程以用於此晶圓級化學感測器製程中，其係於感測材料置入感測器晶片步驟前，先於晶圓背面黏貼如膠布等膠黏體，並沿著該複數個感測器晶片邊緣先預切出一分割槽，再於晶圓進行鍛燒或燒結步驟後與予分離，其可大大降低切割過程對化學感測材料之破壞。
简体摘要：本发明提供一种化学传感器之制作方法，可应用于晶圆级化学传感器制程中，其系于晶圆上之复数个传感器芯片中所需放置传感材料处，制作一围框，再将溶胶状之传感材料透过一点胶系统设备填入该传感器芯片中之围框内；此外，本发明更提供一新型之晶粒分离流程以用于此晶圆级化学传感器制程中，其系于传感材料置入传感器芯片步骤前，先于晶圆背面黏贴如胶布等胶黏体，并沿着该复数个传感器芯片边缘先预切出一分区，再于晶圆进行锻烧或烧结步骤后与予分离，其可大大降低切割过程对化学传感材料之破坏。

5. 发明专利

TW374251B 半導體化學感測裝置及形成供半導體化學感測裝置用之熱偶之方法失效
简体标题：半导体化学传感设备及形成供半导体化学传感设备用之热偶之方法
公开(公告)号：TW374251B
公开(公告)日：1999-11-11
申请号：TW085114909
申请日：1996-12-03
申请人：摩托勞拉半導體公司
发明人：利歐那利斯古則斯 , 亞歷山大落然多 , 艾曼紐曲德
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N27/12
摘要：包含供檢知特定化學物質之感測層(4)與供加熱感測層之加熱器之一半導體化學感測裝置(2)，其係由存在於半導體化學感測裝置(2)中之一導電層(8)之一加熱器部份(6)所形成。半導體化學感測裝置(2)另外包含供檢測感測層(4)溫度之熱電偶(12)，熱電偶包含一P/N連接(14)形成為鄰接於導電層(8)之加熱器區域(6)之一部份以使通過P/N連接(14)所形成之訊號代表感測層(4)之溫度。
简体摘要：包含供检知特定化学物质之传感层(4)与供加热传感层之加热器之一半导体化学传感设备(2)，其系由存在于半导体化学传感设备(2)中之一导电层(8)之一加热器部份(6)所形成。半导体化学传感设备(2)另外包含供检测传感层(4)温度之热电偶(12)，热电偶包含一P/N连接(14)形成为邻接于导电层(8)之加热器区域(6)之一部份以使通过P/N连接(14)所形成之信号代表传感层(4)之温度。

7. 发明专利

TW201643419A 半導體式氣體感測器、及具備該感測器之氣體檢測裝置审中-公开
简体标题：半导体式气体传感器、及具备该传感器之气体检测设备
公开(公告)号：TW201643419A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105113307
申请日：2016-04-28
申请人：日本寫真印刷股份有限公司 , NISSHA PRINTING CO., LTD
发明人：松本晉一 , MATSUMOTO, SHINICHI , 島袋宗春 , SHIMABUKURO, MUNEHARU , 栗林晴美 , KURIBAYASHI, HARUMI , 福地健一 , FUKUCHI, KENICHI , 田村隆司 , TAMURA, RYUJI
IPC分类号： G01N27/12 , G01N33/00
CPC分类号： G01N27/12
摘要：本發明的問題在於提供一種半導體式氣體感測器及具備該感測器之氣體檢測裝置，該半導體式氣體感測器，其即便將氣體感測體的尺寸縮小且將加熱器兼用電極的尺寸縮小，也能夠抑制中心電極接觸到加熱器兼用電極的情況。為了解決此問題，本發明的半導體式氣體感測器1，具備：中心電極3；加熱器兼用電極2，其在自中心電極3離開的狀態下，捲繞在中心電極3的周圍而形成線圈狀；及，氣體感測體4，其覆蓋加熱器兼用電極2和中心電極3。加熱器兼用電極2的構成，是外徑φ在140μm以下，且中心軸方向的長度L相對於外徑φ的比率在1以下。
简体摘要：本发明的问题在于提供一种半导体式气体传感器及具备该传感器之气体检测设备，该半导体式气体传感器，其即便将气体传感体的尺寸缩小且将加热器兼用电极的尺寸缩小，也能够抑制中心电极接触到加热器兼用电极的情况。为了解决此问题，本发明的半导体式气体传感器1，具备：中心电极3；加热器兼用电极2，其在自中心电极3离开的状态下，卷绕在中心电极3的周围而形成线圈状；及，气体传感体4，其覆盖加热器兼用电极2和中心电极3。加热器兼用电极2的构成，是外径φ在140μm以下，且中心轴方向的长度L相对于外径φ的比率在1以下。

8. 发明专利

TWI557527B 具儲熱元件的微機電溫度控制系統有权
简体标题：具储热组件的微机电温度控制系统
公开(公告)号：TWI557527B
公开(公告)日：2016-11-11
申请号：TW104143996
申请日：2015-12-28
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：許郁文 , HSU, YU-WEN , 蘇中源 , SU, CHUNG-YUAN , 黃肇達 , HUANG, CHAO-TA
IPC分类号： G05D23/19 , G01N33/00
CPC分类号： H05B1/023 , G01N27/12 , G05D23/24 , H05B3/265 , H05B2203/003

9. 发明专利

TW201531700A 微流體感測裝置审中-公开
简体标题：微流体传感设备
公开(公告)号：TW201531700A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW103144949
申请日：2014-12-23
申请人：惠普發展公司有限責任合夥企業 , HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L. P.
发明人：蒙古尼斯尼可拉斯M C , MCGUINNESS, NICHOLAS MATTHEW COOPER , 瓦蘭西亞米林達M , VALENCIA, MELINDA M. , 吉利曼尼許 , GIRI, MANISH , 多明尼克香黛爾E , DOMINGUE, CHANTELLE ELIZABETH , 塞爾斯傑瑞米 , SELLS, JEREMY , 史密斯馬修D , SMITH, MATTHEW DAVID
IPC分类号： G01N27/02 , G01N15/00
CPC分类号： G01N27/06 , B01L3/502715 , B01L2200/10 , B01L2300/0645 , G01N15/0266 , G01N15/1031 , G01N15/12 , G01N15/1484 , G01N27/12 , G01N2015/1006 , G01N2015/1493
摘要：一種微流體感測裝置包含有一通道和在該通道內的一阻抗感測器。該阻抗感測器包含有在該通道內的一本地接地和一電極。該本地接地和該電極將形成沿著該通道被延伸的一電場區域。
简体摘要：一种微流体传感设备包含有一信道和在该信道内的一阻抗传感器。该阻抗传感器包含有在该信道内的一本地接地和一电极。该本地接地和该电极将形成沿着该信道被延伸的一电场区域。

10. 发明专利

TW200511474A 化學感測器之製作方法审中-公开
简体标题：化学传感器之制作方法
公开(公告)号：TW200511474A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：TW092124804
申请日：2003-09-09
申请人：財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：柯文旺 , 張文陽 CHANG, WEN YANG , 謝佑聖 HSIEH, YU SHENG , 郭乃豪 KUO, NAI HAO , 李政鴻
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N27/12 , B01J2219/0036 , B01J2219/0043 , B01J2219/00659 , B01J2219/00662 , C40B60/14
摘要：本發明提供一種化學感測器之製作方法，可應用於晶圓級化學感測器製程中，其係於晶圓上之複數個感測器晶片中所需放置感測材料處，製作一圍框，再將溶膠狀之感測材料透過一點膠系統裝置填入該感測器晶片中之圍框內；此外，本發明更提供一新型之晶粒分離流程以用於此晶圓級化學感測器製程中，其係於感測材料置入感測器晶片步驟前，先於晶圓背面黏貼如膠布等膠黏體，並沿著該複數個感測器晶片邊緣先預切出一分割槽，再於晶圓進行鍛燒或燒結步驟後與予分離，其可大大降低切割過程對化學感測材料之破壞。
简体摘要：本发明提供一种化学传感器之制作方法，可应用于晶圆级化学传感器制程中，其系于晶圆上之复数个传感器芯片中所需放置传感材料处，制作一围框，再将溶胶状之传感材料透过一点胶系统设备填入该传感器芯片中之围框内；此外，本发明更提供一新型之晶粒分离流程以用于此晶圆级化学传感器制程中，其系于传感材料置入传感器芯片步骤前，先于晶圆背面黏贴如胶布等胶黏体，并沿着该复数个传感器芯片边缘先预切出一分区，再于晶圆进行锻烧或烧结步骤后与予分离，其可大大降低切割过程对化学传感材料之破坏。

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