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    • 6. 发明专利
    • 用於射頻電漿產生器之比率計自調演算法
    • 用于射频等离子产生器之比率计自调算法
    • TW418593B
    • 2001-01-11
    • TW088101049
    • 1999-01-25
    • 伊恩艾技術公司
    • 約瑟夫.維爾堡
    • H05H
    • H05H1/46H03L5/02H05H2001/4682
    • 一種RF電漿系統,其使用頻率調整,在一頻率範圍內改變 RF產生器(14)之頻率,以匹配電漿室(18)之阻抗。前向功率及反射功率之大小由雙向感測器獲得。獲得一頻率下之反射功率對前向功率之比值,接著改變頻率。調整演算法比較一新頻率下反射功率對前向功率之比值以及先前所獲得之比值。如果新的比值較小,再次於同方向上調整頻率,如果較大,則在另一方向調整頻率。重複這些步驟,直到反射功率對施加功率之比值到達一最小值。調整演算法可以硬體或軟體實施。
    • 一种RF等离子系统,其使用频率调整,在一频率范围内改变 RF产生器(14)之频率,以匹配等离子室(18)之阻抗。前向功率及反射功率之大小由双向传感器获得。获得一频率下之反射功率对前向功率之比值,接着改变频率。调整算法比较一新频率下反射功率对前向功率之比值以及先前所获得之比值。如果新的比值较小,再次于同方向上调整频率,如果较大,则在另一方向调整频率。重复这些步骤,直到反射功率对施加功率之比值到达一最小值。调整算法可以硬件或软件实施。
    • 9. 发明专利
    • 參數控制方法以及使用其之積體電路
    • 参数控制方法以及使用其之集成电路
    • TW201620235A
    • 2016-06-01
    • TW103141328
    • 2014-11-27
    • 力鉅電子股份有限公司NOVELTEK SEMICONDUCTOR CORP
    • 陳佐民CHEN, TSO MIN涂榮杰TU, RONG JIE
    • H02M1/08H02M3/335
    • H03L5/02G01R27/02G01R31/041G01R31/2843
    • 本發明關於一種參數控制方法以及使用其之積體電路。此參數控制方法包括下列步驟:提供第一組至第N組阻抗組與第一個到第N個第一設定的對應關係,其中,每一組阻抗組包括K個子阻抗;提供第一個至第K個子阻抗與第一個到第K個第二設定的對應關係;檢測一設定接腳所耦接之阻抗值;根據設定接腳所檢測到的阻抗值與上述第一組至第N組阻抗組進行比對,找出所對應的一特定阻抗組,選擇一特定第一設定;根據設定接腳所檢測到的阻抗值與上述特定阻抗組的第一至第K子阻抗進行比對,找出所對應的一特定子阻抗,選擇一特定第二設定;以及根據特定第一設定與特定第二設定,運作積體電路。
    • 本发明关于一种参数控制方法以及使用其之集成电路。此参数控制方法包括下列步骤:提供第一组至第N组阻抗组与第一个到第N个第一设置的对应关系,其中,每一组阻抗组包括K个子阻抗;提供第一个至第K个子阻抗与第一个到第K个第二设置的对应关系;检测一设置接脚所耦接之阻抗值;根据设置接脚所检测到的阻抗值与上述第一组至第N组阻抗组进行比对,找出所对应的一特定阻抗组,选择一特定第一设置;根据设置接脚所检测到的阻抗值与上述特定阻抗组的第一至第K子阻抗进行比对,找出所对应的一特定子阻抗,选择一特定第二设置;以及根据特定第一设置与特定第二设置,运作集成电路。