基本信息:
- 专利标题： 電漿處理裝置、電漿處理方法及高頻產生器
- 专利标题（中）：等离子处理设备、等离子处理方法及高频产生器
- 申请号：TW103104193 申请日：2014-02-10
- 公开(公告)号：TWI604494B 公开(公告)日：2017-11-01
- 发明人： 金子和史 , KANEKO, KAZUSHI , 松本直樹 , MATSUMOTO, NAOKI , 小山紘司 , KOYAMA, KOJI , 船崎一憲 , FUNAZAKI, KAZUNORI , 加藤秀生 , KATO, HIDEO , 石橋清隆 , ISHIBASHI, KIYOTAKA
- 申请人： 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
- 专利权人： 東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED
- 当前专利权人： 東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED
- 代理人： 林秋琴; 陳彥希
- 优先权： 2013-024145 20130212
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32 ; H05H1/46
公开/授权文献:
- TW201501169A 電漿處理裝置、電漿處理方法及高頻產生器 公开/授权日：2015-01-01