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    • 9. 发明专利
    • 薄膜太陽電池用刻劃裝置
    • 薄膜太阳电池用刻划设备
    • TW201126745A
    • 2011-08-01
    • TW100101911
    • 2011-01-19
    • 三星鑽石工業股份有限公司
    • 曾山正信
    • H01L
    • H01L21/67092B28D5/0023B28D5/0088H01L31/188H01L31/1884Y02E10/50Y10T83/0304Y10T83/0348
    • 提供使在低荷重之微妙之調整為可能,漂亮地切削太陽電池基板之薄膜,可消除不規則之薄膜之剝離之產生以形成直線且漂亮之刻劃線之刻劃裝置。沿積體型太陽電池基板W之刻劃預定線將安裝於刻劃頭1之槽加工工具4之刃前緣按壓於太陽電池基板W之表面,同時使槽加工工具4對太陽電池基板W相對移動以於形成於太陽電池基板W之表面之薄膜形成槽之刻劃裝置,其特徵在於:由可上下移動地安裝於刻劃頭1且保持槽加工工具4之工具保持具5、將工具保持具5往太陽電池基板W之表面加壓之氣壓缸6、將工具保持具5往上方加壓之彈簧7構成。
    • 提供使在低荷重之微妙之调整为可能,漂亮地切削太阳电池基板之薄膜,可消除不守则之薄膜之剥离之产生以形成直线且漂亮之刻划线之刻划设备。沿积体型太阳电池基板W之刻划预定线将安装于刻划头1之槽加工工具4之刃前缘按压于太阳电池基板W之表面,同时使槽加工工具4对太阳电池基板W相对移动以于形成于太阳电池基板W之表面之薄膜形成槽之刻划设备,其特征在于:由可上下移动地安装于刻划头1且保持槽加工工具4之工具保持具5、将工具保持具5往太阳电池基板W之表面加压之气压缸6、将工具保持具5往上方加压之弹簧7构成。