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    • 6. 发明专利
    • 使用矽化物連接區域之接面場效電晶體及製造方法 JUNCTION FIELD EFFECT TRANSISTOR USING SILICIDE CONNECTION REGIONS AND METHOD OF FABRICATION
    • 使用硅化物连接区域之接面场效应管及制造方法 JUNCTION FIELD EFFECT TRANSISTOR USING SILICIDE CONNECTION REGIONS AND METHOD OF FABRICATION
    • TW201007853A
    • 2010-02-16
    • TW098124070
    • 2009-07-16
    • DSM解析公司
    • 卡普爾 阿休克K弗拉 麥德赫克B
    • H01L
    • H01L29/8086H01L29/458H01L29/66901
    • 一種接面場效電晶體係包含有一半導體基材,以及一形成於該基材中之井孔區域。一係為第一導體類型之源極區域係被形成於該井孔區域中。一係為該第一導體類型之汲極區域係被形成於該井孔區域中,並且係與該源極區域分離。一係為該第一導體類型之通道區域係位於該源極區域和該汲極區域之間,並且係被形成於該井孔區域中。一係為該第二導體類型之閘極區域係被形成於該井孔區域中。該電晶體進一步包括有第一、第二、和第三連接區域。該第一連接區域係與該源極區域形成歐姆接觸,並且係由矽化物所形成。該第二連接區域係與該汲極區域形成歐姆接觸,並且係由矽化物所形成。該第三連接區域係與該閘極區域形成歐姆接觸。
    • 一种接面场效应管系包含有一半导体基材,以及一形成于该基材中之井孔区域。一系为第一导体类型之源极区域系被形成于该井孔区域中。一系为该第一导体类型之汲极区域系被形成于该井孔区域中,并且系与该源极区域分离。一系为该第一导体类型之信道区域系位于该源极区域和该汲极区域之间,并且系被形成于该井孔区域中。一系为该第二导体类型之闸极区域系被形成于该井孔区域中。该晶体管进一步包括有第一、第二、和第三连接区域。该第一连接区域系与该源极区域形成欧姆接触,并且系由硅化物所形成。该第二连接区域系与该汲极区域形成欧姆接触,并且系由硅化物所形成。该第三连接区域系与该闸极区域形成欧姆接触。