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    • 3. 发明专利
    • MOS型可變電容元件 MOS-TYPE VARIABLE CAPACITANCE ELEMENT
    • MOS型可变电容组件 MOS-TYPE VARIABLE CAPACITANCE ELEMENT
    • TW200418194A
    • 2004-09-16
    • TW092104410
    • 2003-03-03
    • 富士通股份有限公司 FUJITSU LIMITED
    • 小川隆興 TAKAOKI OGAWA富田和廣 KAZUHIRO TOMITA青木考樹 KOJU AOKI
    • H01L
    • H01L29/0684H01L27/0808H01L29/42312H01L29/93H01L29/94
    • 本發明係在p型半導體基板(2)中形成n井(3)。在p型半導體基板(2)及n井(3)上形成閘絕緣膜(4),再於閘絕緣膜(4)上形成閘電極(6)。在p型半導體基板(2)、n井(3)及跨過二者的區域之表面上形成有和閘絕緣膜(4)鄰接且選擇性地擴散有高濃度的n型雜質之源極層(8)。另,和該源極層(8)隔開地形成有選擇性地擴散了高濃度之p型雜質的接觸層(11)。透過在源極層(8)與閘電極(6)之間施加端子間電壓VT的方式,可以相對於端子間電壓VT在廣範圍內獲得線形性優良的電容特性。本發明可以提供一種MOS型可變電容元件,其不僅可以相對於端子間電壓VT在廣範圍內獲得線形性良好的特性,改善VCO電路等之性能,而且造構造簡單,又不需額外增加遮罩及步驟即可以製造。
    • 本发明系在p型半导体基板(2)中形成n井(3)。在p型半导体基板(2)及n井(3)上形成闸绝缘膜(4),再于闸绝缘膜(4)上形成闸电极(6)。在p型半导体基板(2)、n井(3)及跨过二者的区域之表面上形成有和闸绝缘膜(4)邻接且选择性地扩散有高浓度的n型杂质之源极层(8)。另,和该源极层(8)隔开地形成有选择性地扩散了高浓度之p型杂质的接触层(11)。透过在源极层(8)与闸电极(6)之间施加端子间电压VT的方式,可以相对于端子间电压VT在广范围内获得线形性优良的电容特性。本发明可以提供一种MOS型可变电容组件,其不仅可以相对于端子间电压VT在广范围内获得线形性良好的特性,改善VCO电路等之性能,而且造构造简单,又不需额外增加遮罩及步骤即可以制造。