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    • 8. 发明专利
    • 倒T型通道電晶體之製造方法 A METHOD OF MAKING AN INVERTED-T CHANNEL TRANSISTOR
    • 倒T型信道晶体管之制造方法 A METHOD OF MAKING AN INVERTED-T CHANNEL TRANSISTOR
    • TW200721324A
    • 2007-06-01
    • TW095138266
    • 2006-10-17
    • 飛思卡爾半導體公司 FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC.
    • 里歐 馬修 MATHEW, LEO羅德R 莫拉 MORA, RODE R.
    • H01L
    • H01L27/1104H01L21/823431H01L27/11H01L29/66795H01L29/785
    • 本發明係揭示一種用以產生一倒T型場效電晶體(10)之方法。該方法包括,於一基板(12)上產生一水平主動區域(14)及一垂直主動區域(16)。該方法尚包括,於該垂直主動區域(16)之一第一側及該垂直主動區域之一第二側上形成一側壁間隔層(22)。該方法尚包括移除該水平主動區域(14)之一部分,其未由該側壁間隔層(22)覆蓋。該方法尚包括移除該側壁間隔層(22)。該方法尚包括,於該水平主動區域(14)之至少一第一部分之上,及該垂直主動區域(16)之至少一第一部分之上,形成一閘極介電層(26)。該方法尚包括於該閘極介電層(26)之上形成一閘極(28)。該方法尚包括,於該水平主動區域之至少一第二部分及該垂直主動區域(16)之至少一第二部分之上,形成一源極區域(30)及一汲極區域(32)。
    • 本发明系揭示一种用以产生一倒T型场效应管(10)之方法。该方法包括,于一基板(12)上产生一水平主动区域(14)及一垂直主动区域(16)。该方法尚包括,于该垂直主动区域(16)之一第一侧及该垂直主动区域之一第二侧上形成一侧壁间隔层(22)。该方法尚包括移除该水平主动区域(14)之一部分,其未由该侧壁间隔层(22)覆盖。该方法尚包括移除该侧壁间隔层(22)。该方法尚包括,于该水平主动区域(14)之至少一第一部分之上,及该垂直主动区域(16)之至少一第一部分之上,形成一闸极介电层(26)。该方法尚包括于该闸极介电层(26)之上形成一闸极(28)。该方法尚包括,于该水平主动区域之至少一第二部分及该垂直主动区域(16)之至少一第二部分之上,形成一源极区域(30)及一汲极区域(32)。