会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 4. 发明专利
    • 裝置
    • 设备
    • TW201541197A
    • 2015-11-01
    • TW104109817
    • 2015-03-26
    • ASML荷蘭公司ASML NETHERLANDS B. V.
    • 凡 德 威克 郎諾VAN DER WILK, RONALD估爾修斯 傑維姆 詹GOORHUIS, GER-WIM JAN
    • G03F7/20H01L21/68
    • G03F7/70925H01L21/67028
    • 一種用於清潔一物件之裝置,該裝置包含:一物件支撐件,其用於支撐該物件;一低壓力腔室,其用於在該物件配置於該物件支撐件上時將該物件之一第一表面曝露至一低壓力;一電極,其經配置成在該物件配置於該物件支撐件上時鄰近於該物件之該第一表面且與該物件之該第一表面分離,該電極與鄰近於該物件之該第一表面的該物件支撐件之一表面進行電連通;及一電力供應器,其經配置以在該電極與該物件之間施加一電壓;藉此在該物件與該電極之間產生一放電。
    • 一种用于清洁一对象之设备,该设备包含:一对象支撑件,其用于支撑该对象;一低压力腔室,其用于在该对象配置于该对象支撑件上时将该对象之一第一表面曝露至一低压力;一电极,其经配置成在该对象配置于该对象支撑件上时邻近于该对象之该第一表面且与该对象之该第一表面分离,该电极与邻近于该对象之该第一表面的该对象支撑件之一表面进行电连通;及一电力供应器,其经配置以在该电极与该对象之间施加一电压;借此在该对象与该电极之间产生一放电。