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热词
    • 1. 发明专利
    • 用於超光譜成像計量之系統及方法
    • 用于超光谱成像计量之系统及方法
    • TW201732271A
    • 2017-09-16
    • TW106103549
    • 2017-02-02
    • 克萊譚克公司KLA-TENCOR CORPORATION
    • 希爾 安卓 VHILL, ANDREW V.
    • G01N21/88G02B27/18
    • G01N21/4795G01J3/00G01N21/4788G01N21/9501G01N21/95623G01N2021/4709G01N2021/4711G01N2021/8461G02B3/0006G02B27/10G02B27/1013G02B27/4205G03F7/70616
    • 本發明揭示一種計量系統,其包含:一照明源,其經組態以產生一照明光束;一或多個照明光學器件,其等經組態以將該照明光束導引至一樣本;一或多個收集光學器件,其等經組態以收集自該樣本發出之照明;一偵測器;及一超光譜成像子系統。該超光譜成像子系統包含:一分散元件,其定位於該組收集光學器件之一光瞳平面處,該分散元件經組態以光譜分散該所收集之照明;一透鏡陣列,其包含一聚焦元件陣列;及一或多個成像光學器件。該一或多個成像光學器件組合該光譜分散之所收集之照明以在該透鏡陣列上形成該光瞳平面之一影像。該透鏡陣列之該等聚焦元件使該所收集之照明以一陣列圖案分佈於該偵測器上。
    • 本发明揭示一种计量系统,其包含:一照明源,其经组态以产生一照明光束;一或多个照明光学器件,其等经组态以将该照明光束导引至一样本;一或多个收集光学器件,其等经组态以收集自该样本发出之照明;一侦测器;及一超光谱成像子系统。该超光谱成像子系统包含:一分散组件,其定位于该组收集光学器件之一光瞳平面处,该分散组件经组态以光谱分散该所收集之照明;一透镜数组,其包含一聚焦组件数组;及一或多个成像光学器件。该一或多个成像光学器件组合该光谱分散之所收集之照明以在该透镜数组上形成该光瞳平面之一影像。该透镜数组之该等聚焦组件使该所收集之照明以一数组图案分布于该侦测器上。
    • 8. 发明专利
    • 光波分離網格與形成光波分離網格的方法
    • 光波分离网格与形成光波分离网格的方法
    • TW201602650A
    • 2016-01-16
    • TW104109544
    • 2015-03-25
    • 應用材料股份有限公司APPLIED MATERIALS, INC.
    • 迪爾丹尼爾李DIEHL, DANIEL LEE曹勇CAO, YONG朱明偉ZHU, MINGWEI陳泰舟CHEN, TAI CHOU PAPO
    • G02B5/28C23C14/06
    • G02B27/1013C23C14/0676G02B5/285
    • 本文提供光波分離網格與形成方法。一些實施例中,光波分離網格包括:第一層,具有ROxNy之分子式,其中該第一層具有第一折射率;以及第二層,該第二層配置於該第一層頂上且有別於該第一層,該第二層具有R’OxNy之分子式,其中該第二層具有與該第一折射率不同的第二折射率,且其中R與R’各為金屬或介電材料之一者。一些實施例中,一種形成光波分離網格的方法包括:透過物理氣相沉積製程在基板頂上沉積具有預定期望折射率的第一層;以及於該第一層頂上沉積第二層,該第二層有別於該第一層,其中該第二層具有與該第一折射率不同的預定第二折射率。
    • 本文提供光波分离网格与形成方法。一些实施例中,光波分离网格包括:第一层,具有ROxNy之分子式,其中该第一层具有第一折射率;以及第二层,该第二层配置于该第一层顶上且有别于该第一层,该第二层具有R’OxNy之分子式,其中该第二层具有与该第一折射率不同的第二折射率,且其中R与R’各为金属或介电材料之一者。一些实施例中,一种形成光波分离网格的方法包括:透过物理气相沉积制程在基板顶上沉积具有预定期望折射率的第一层;以及于该第一层顶上沉积第二层,该第二层有别于该第一层,其中该第二层具有与该第一折射率不同的预定第二折射率。