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1. 发明专利

TW201625933A 用於晶圓檢測之基於透鏡陣列之照明审中-公开
简体标题：用于晶圆检测之基于透镜数组之照明
公开(公告)号：TW201625933A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104134422
申请日：2015-10-20
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：陳啟彪 , CHEN, QIBIAO
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G02B27/0927 , G01N21/4738 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/8822 , G01N2201/0631 , G01N2201/0638 , G02B13/143 , G02B27/0961
摘要：本發明提供經組態以提供用於藉由一晶圓檢測工具執行之晶圓檢測之照明之系統。一系統包含一或多個光瞳透鏡，該一或多個光瞳透鏡經組態以聚焦具有與藉由一光源產生之光之一形狀不同之一形狀之一第一遠場圖案。該系統亦包含定位於該一或多個光瞳透鏡與一孔徑光闌之間的一場透鏡陣列。另外，該系統包含一透鏡群組，該透鏡群組經組態以將藉由該場透鏡陣列產生之一第二遠場圖案聚焦至該透鏡群組之一後焦平面。該透鏡群組之該後焦平面係一晶圓檢測工具之一場平面，在晶圓檢測期間將待檢測之一晶圓放置於該場平面處。
简体摘要：本发明提供经组态以提供用于借由一晶圆检测工具运行之晶圆检测之照明之系统。一系统包含一或多个光瞳透镜，该一或多个光瞳透镜经组态以聚焦具有与借由一光源产生之光之一形状不同之一形状之一第一远场图案。该系统亦包含定位于该一或多个光瞳透镜与一孔径光阑之间的一场透镜数组。另外，该系统包含一透镜群组，该透镜群组经组态以将借由该场透镜数组产生之一第二远场图案聚焦至该透镜群组之一后焦平面。该透镜群组之该后焦平面系一晶圆检测工具之一场平面，在晶圆检测期间将待检测之一晶圆放置于该场平面处。

2. 发明专利

TW201734564A 光束同質化器、照明系統及度量衡系統审中-公开
简体标题：光束同质化器、照明系统及度量衡系统
公开(公告)号：TW201734564A
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW106106032
申请日：2017-02-23
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V. , ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
发明人：俄林斯馬可斯法蘭西斯安東尼奧斯 , EURLINGS, MARKUS FRANCISCUS ANTONIUS , 柯蘭愛曼德尤金尼愛博特 , KOOLEN, ARMAND EUGENE ALBERT , 塔克爾特尼思威廉 , TUKKER, TEUNIS WILLEM , 迪威特僑漢斯馬修司馬力 , DE WIT, JOHANNES MATHEUS MARIE , 史莫諾夫史塔尼拉夫 , SMIRNOV, STANISLAV
IPC分类号： G02B27/10 , G02B5/20 , G01N23/02
CPC分类号： G02B27/0988 , G01B11/272 , G01N21/49 , G01N21/8806 , G01N2201/0631 , G02B6/0008 , G02B26/008 , G02B27/0927 , G02B27/0994 , G03F7/70075 , G03F7/70191 , G03F7/70616 , G03F7/70633
摘要：本發明提供一種用於使一輻射光束同質化之光束同質化器，及一種照明系統以及包含此類光束同質化器之度量衡裝置。該光束同質化器包含：一濾光器系統，其具有一可控制徑向吸收剖面且經組態以輸出一經濾光之光束；及一光學混合元件，其經組態以使該經濾光之光束同質化。該濾光器系統可經組態以徑向地使有角光束剖面同質化，且該光學混合元件可經組態以在方位角上使該有角光束剖面同質化。
简体摘要：本发明提供一种用于使一辐射光束同质化之光束同质化器，及一种照明系统以及包含此类光束同质化器之度量衡设备。该光束同质化器包含：一滤光器系统，其具有一可控制径向吸收剖面且经组态以输出一经滤光之光束；及一光学混合组件，其经组态以使该经滤光之光束同质化。该滤光器系统可经组态以径向地使有角光束剖面同质化，且该光学混合组件可经组态以在方位角上使该有角光束剖面同质化。

3. 发明专利

TW201807509A 用於處理具有同調性輻射光束的器件和方法审中-公开
简体标题：用于处理具有同调性辐射光束的器件和方法
公开(公告)号：TW201807509A
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：TW106125406
申请日：2017-07-28
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：高爾登賽巴斯汀亞努斯安德里亞努斯 , GOORDEN, SEBASTIANUS ADRIANUS , 帕迪尼特許 , PANDEY, NITESH , 阿克布魯特都古 , AKBULUT, DUYGU , 塔克爾特尼思威廉 , TUKKER, TEUNIS WILLEM , 迪威特僑漢斯馬修司馬力 , DE WIT, JOHANNES MATHEUS MARIE
IPC分类号： G03F7/20 , G03F1/82
CPC分类号： G03F7/7015 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/8822 , G01N2201/0631 , G02B6/262 , G02B6/4204 , G02B6/4296 , G03F7/70583 , G03F7/70616
摘要：本發明揭示用於處理具有同調性之一輻射光束的器件和方法。在一個配置中，一光學系統接收具有同調性之一輻射光束。該輻射光束包含遍及一或多個輻射光束空間模式而分佈之分量。一波導支援複數個波導空間模式。該光學系統將屬於一共同輻射光束空間模式且具有不同頻率的該輻射光束之複數個該等分量導向至該波導上，其方式為使得該複數個分量中之每一者耦合至該等波導空間模式之一不同集合，每一集合包含該等波導空間模式中之一或多者。
简体摘要：本发明揭示用于处理具有同调性之一辐射光束的器件和方法。在一个配置中，一光学系统接收具有同调性之一辐射光束。该辐射光束包含遍及一或多个辐射光束空间模式而分布之分量。一波导支持复数个波导空间模式。该光学系统将属于一共同辐射光束空间模式且具有不同频率的该辐射光束之复数个该等分量导向至该波导上，其方式为使得该复数个分量中之每一者耦合至该等波导空间模式之一不同集合，每一集合包含该等波导空间模式中之一或多者。

4. 发明专利

TW201640096A 用於評估寶石的光學性質之設備與方法审中-公开
简体标题：用于评估宝石的光学性质之设备与方法
公开(公告)号：TW201640096A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：TW105110138
申请日：2016-03-30
申请人：美國寶石學院公司 , GEMOLOGICAL INSTITUTE OF AMERICA, INC.
发明人：高橋啟司 , TAKAHASHI, HIROSHI
IPC分类号： G01N21/87
CPC分类号： G01N21/87 , G01N21/255 , G01N21/88 , G01N33/381 , G01N2201/061 , G01N2201/0631 , G01N2201/0634 , G01N2201/0638 , G01N2201/065
摘要：本文提供一種用於評估一寶石之一色彩特性之設備。該設備包括：一不透光平台，用於支撐一待評估樣本寶石；一近似日光光源，用以提供均勻照明至該寶石；一影像捕獲組件；及一遠心透鏡，其經定位以將該經照明寶石之一影像提供至該影像捕獲組件。亦提供基於使用此一設備所收集之影像之色彩分析的方法。
简体摘要：本文提供一种用于评估一宝石之一色彩特性之设备。该设备包括：一不透光平台，用于支撑一待评估样本宝石；一近似日光光源，用以提供均匀照明至该宝石；一影像捕获组件；及一远心透镜，其经定位以将该经照明宝石之一影像提供至该影像捕获组件。亦提供基于使用此一设备所收集之影像之色彩分析的方法。

5. 发明专利

TWI247115B 生物晶片檢測系統 A BIOCHIP DETECTION SYSTEM 失效
简体标题：生物芯片检测系统 A BIOCHIP DETECTION SYSTEM
公开(公告)号：TWI247115B
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：TW092133245
申请日：2003-11-26
申请人：財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：林雁容 LIN, YAN RUNG , 陶德和 TAO, TEH HO , 周儒修 CHOW, ZU SHO , 劉定坤 LIU, DING KUN
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N21/6428 , G01N21/6456 , G01N2021/6419 , G01N2021/6441 , G01N2201/0631
摘要：本發明之生物晶片檢測系統包含一可產生一光束之寬頻譜光源、一可承載一待測樣品之載台、一設置於該寬頻譜光源與該待測樣品間之光束整合器、一用以調整該光束之截面積之透鏡組、一設置於該光束之光路上之第一濾波片組、一用以偵測該持測樣品產生之螢光之偵測器以及一設置於該螢光之光路上之第二濾波片組。該光束整合器可為一光導管元件、一透鏡陣列元件或一全像擴散元件，用以均勻化該光束之強度分佈及將該光束之截面變換成一矩形。
简体摘要：本发明之生物芯片检测系统包含一可产生一光束之宽带谱光源、一可承载一待测样品之载台、一设置于该宽带谱光源与该待测样品间之光束集成器、一用以调整该光束之截面积之透镜组、一设置于该光束之光路上之第一滤波片组、一用以侦测该持测样品产生之萤光之侦测器以及一设置于该萤光之光路上之第二滤波片组。该光束集成器可为一光导管组件、一透镜数组组件或一全像扩散组件，用以均匀化该光束之强度分布及将该光束之截面变换成一矩形。

6. 发明专利

TW200517655A 生物晶片檢測系統 A BIOCHIP DETECTION SYSTEM 失效
简体标题：生物芯片检测系统 A BIOCHIP DETECTION SYSTEM
公开(公告)号：TW200517655A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：TW092133245
申请日：2003-11-26
申请人：財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：林雁容 LIN, YAN RUNG , 陶德和 TAO, TEH HO , 周儒修 CHOW, ZU SHO , 劉定坤 LIU, DING KUN
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N21/6428 , G01N21/6456 , G01N2021/6419 , G01N2021/6441 , G01N2201/0631
摘要：本發明之生物晶片檢測系統包含一可產生一光束之寬頻譜光源、一可承載一待測樣品之載台、一設置於該寬頻譜光源與該待測樣品間之光束整合器、一用以調整該光束之截面積之透鏡組、一設置於該光束之光路上之第一濾波片組、一用以偵測該待測樣品產生之螢光之偵測器以及一設置於該螢光之光路上之第二濾波片組。該光束整合器可為一光導管元件、一透鏡陣列元件或一全像擴散元件，用以均勻化該光束之強度分佈及將該光束之截面變換成一矩形。
简体摘要：本发明之生物芯片检测系统包含一可产生一光束之宽带谱光源、一可承载一待测样品之载台、一设置于该宽带谱光源与该待测样品间之光束集成器、一用以调整该光束之截面积之透镜组、一设置于该光束之光路上之第一滤波片组、一用以侦测该待测样品产生之萤光之侦测器以及一设置于该萤光之光路上之第二滤波片组。该光束集成器可为一光导管组件、一透镜数组组件或一全像扩散组件，用以均匀化该光束之强度分布及将该光束之截面变换成一矩形。

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