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1. 发明专利

TW201440164A 用於檢測在大氣壓力下運送及存放半導體基材的運送載具的微粒污染的檢測站及方法审中-公开
简体标题：用于检测在大气压力下运送及存放半导体基材的运送载具的微粒污染的检测站及方法
公开(公告)号：TW201440164A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：TW102143557
申请日：2013-11-28
申请人：艾迪生真空產品公司 , ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人：索威斯辛蒂 , THOVEX, CINDY , 邦努爾朱利安 , BOUNOUAR, JULIEN , 菲里亞諾 , FAVRE, ARNAUD
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： G01N15/10 , G01N2015/1062 , H01L21/67389
摘要：本發明係關於一種用於檢測一用來在大氣壓力下運送及存放半導體基材的運送載具的微粒污染的檢測站，該運送載具包含一硬質外殼(2)，其包含一孔口及一可拆卸的門(3)以允許該孔口被關閉，該檢測站包含：一環境受控制的艙室(4)，其包含至少一載入埠(8)，其能夠一方面耦合至該硬質外殼(2)及另一方面耦合至該運送載具的該門(3)，用以將該門(3)移入該環境受控制的艙室(4)內並讓該硬質外殼(2)的內部和該環境受控制的艙室(4)的內部相連通；及一檢測模組(5)，其包含一微粒檢測單元(14)及一外殼-檢測界面(16)，其被建構來在該門(3)的位置處耦合至該被耦合至該環境受控制的艙室(4)的硬質外殼(2)，其特徵在於該外殼-檢測界面(16)包含一從該外殼- 檢測界面的基部突伸出的檢測頭，其具有一連接至該微粒檢測單元(14)的第一取樣口(12)、及至少兩個噴注噴嘴(20)，其被建構來將一氣體噴流引導至該被耦合至該環境受控制的艙室(4)的硬質外殼(2)上的至少兩個分開的位置，該等噴注噴嘴(20)的各自的方向係相對於該被耦合的硬質外殼(2)被固定。本發明亦關於一種用來檢測一在大氣壓力下運送並存放半導體基材的運送載具的微粒污染的方法。
简体摘要：本发明系关于一种用于检测一用来在大气压力下运送及存放半导体基材的运送载具的微粒污染的检测站，该运送载具包含一硬质外壳(2)，其包含一孔口及一可拆卸的门(3)以允许该孔口被关闭，该检测站包含：一环境受控制的舱室(4)，其包含至少一加载端口(8)，其能够一方面耦合至该硬质外壳(2)及另一方面耦合至该运送载具的该门(3)，用以将该门(3)移入该环境受控制的舱室(4)内并让该硬质外壳(2)的内部和该环境受控制的舱室(4)的内部相连通；及一检测模块(5)，其包含一微粒检测单元(14)及一外壳-检测界面(16)，其被建构来在该门(3)的位置处耦合至该被耦合至该环境受控制的舱室(4)的硬质外壳(2)，其特征在于该外壳-检测界面(16)包含一从该外壳- 检测界面的基部突伸出的检测头，其具有一连接至该微粒检测单元(14)的第一采样口(12)、及至少两个喷注喷嘴(20)，其被建构来将一气体喷流引导至该被耦合至该环境受控制的舱室(4)的硬质外壳(2)上的至少两个分开的位置，该等喷注喷嘴(20)的各自的方向系相对于该被耦合的硬质外壳(2)被固定。本发明亦关于一种用来检测一在大气压力下运送并存放半导体基材的运送载具的微粒污染的方法。

3. 发明专利

TW558763B 基板清洗裝置及方法有权
简体标题：基板清洗设备及方法
公开(公告)号：TW558763B
公开(公告)日：2003-10-21
申请号：TW091117303
申请日：2002-08-01
申请人：大日本網板製造股份有限公司
发明人：淺野徹
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67051 , B08B1/04 , B08B3/00 , B08B3/02 , B08B2203/0288 , G01N2015/1062 , H01L21/67046 , H01L21/67742
摘要：一種基板清洗裝置，包括索引器、用以清洗基板前表面的前表面清洗單元、用以清洗底背表面的背表面清洗單元、用以檢測附著於基板主微粒分佈的微粒檢測單元、用以將基板做反向的反向單元，及具有一對傳送單元的傳送區。當以前表面清洗單元或背表面清洗單元清洗基板，並以微粒檢測單元進行檢測後，依據基板上的微粒分佈來改變前表面清洗單元或背表面清洗單元的清洗條件。
简体摘要：一种基板清洗设备，包括索引器、用以清洗基板前表面的前表面清洗单元、用以清洗底背表面的背表面清洗单元、用以检测附着于基板主微粒分布的微粒检测单元、用以将基板做反向的反向单元，及具有一对发送单元的发送区。当以前表面清洗单元或背表面清洗单元清洗基板，并以微粒检测单元进行检测后，依据基板上的微粒分布来改变前表面清洗单元或背表面清洗单元的清洗条件。

4. 发明专利

TW493070B 螢光粒子照像裝置有权
简体标题：萤光粒子照像设备
公开(公告)号：TW493070B
公开(公告)日：2002-07-01
申请号：TW089119039
申请日：2000-09-16
申请人：興和股份有限公司
发明人：藪崎克己 , 新野雅夫 , 松井宏樹 , 石川宗晴 , 廣野泰亮
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N21/6456 , G01N2015/1062 , G01N2021/6463
摘要：本發明係關於提供一種可減低背光之影響，能夠良好地攝影螢光粒子之螢光粒子照像裝置者。
本發明之構造為，設有將用螢光色素染色之螢光粒子集聚在底部而收容之攝影用容器3。在容器內有放進對激勵光之透過率較高的如血小板製劑或稀釋過之紅血球製劑等時，把反射鏡20脫離光路，用激勵光從容器之側面只照射其底部附近。雖然在容器內之溶液中有螢光色素存在，但可防止其成為有害光。對激勵光之透過率較低之高濃度之紅血球製劑，則把反射鏡20插入光路內，從容器之底面側照射其底部。該時，因透過率低的關係，激勵光只能到達底部附近，幾乎不會發生成為背光之螢光。雖然激勵光之透過率相異，但能夠相應地選擇適當的照明的關係，能夠正確地計數螢光粒子之數量者。
简体摘要：本发明系关于提供一种可减低背光之影响，能够良好地摄影萤光粒子之萤光粒子照像设备者。本发明之构造为，设有将用萤光色素染色之萤光粒子集聚在底部而收容之摄影用容器3。在容器内有放进对激励光之透过率较高的如血小板制剂或稀释过之红血球制剂等时，把反射镜20脱离光路，用激励光从容器之侧面只照射其底部附近。虽然在容器内之溶液中有萤光色素存在，但可防止其成为有害光。对激励光之透过率较低之高浓度之红血球制剂，则把反射镜20插入光路内，从容器之底面侧照射其底部。该时，因透过率低的关系，激励光只能到达底部附近，几乎不会发生成为背光之萤光。虽然激励光之透过率相异，但能够相应地选择适当的照明的关系，能够正确地计数萤光粒子之数量者。

5. 发明专利

TW201629486A 微流體感測审中-公开
简体标题：微流体传感
公开(公告)号：TW201629486A
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：TW105100870
申请日：2016-01-13
申请人：惠普研發公司 , HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L. P.
发明人：賽爾斯傑瑞米 , SELLS, JEREMY , 麥克甘尼斯尼可拉斯馬修庫柏 , MCGUINNESS, NICHOLAS MATTHEW COOPER , 多明戈尙朵樂伊莉莎白 , DOMINGUE, CHANTELLE ELIZABETH , 吉里曼尼許 , GIRI, MANISH
IPC分类号： G01N33/487 , H01L21/77
CPC分类号： G01N15/1056 , B01L3/502715 , B01L3/502761 , B01L2200/0647 , B01L2300/0627 , B01L2300/0645 , B01L2300/0681 , B01L2300/0816 , B01L2300/087 , B01L2400/0439 , B01L2400/0442 , G01N15/1031 , G01N2015/1006 , G01N2015/1062
摘要：一種裝置係包含一微流體通道結構，其係被形成在一基板上並且包含一第一通道；以及一流體致動器，其係在該微流體通道結構之內。一在該第一通道之內的感測區域係以單列的模式來接收目標生物的微粒的一流體流動以用於計數，其中該感測區域係具有一和該些目標生物的微粒中之單一個別的生物的微粒的一體積相同數量級的體積。
简体摘要：一种设备系包含一微流体信道结构，其系被形成在一基板上并且包含一第一信道；以及一流体致动器，其系在该微流体信道结构之内。一在该第一信道之内的传感区域系以单列的模式来接收目标生物的微粒的一流体流动以用于计数，其中该传感区域系具有一和该些目标生物的微粒中之单一个别的生物的微粒的一体积相同数量级的体积。

6. 发明专利

TWI288822B 電漿處理裝置之表面異物檢測裝置及檢測方法 DEVICE AND METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATERIAL ON THE SURFACE OF PLASMA PROCESSING APPARATUS 失效
简体标题：等离子处理设备之表面异物检测设备及检测方法 DEVICE AND METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATERIAL ON THE SURFACE OF PLASMA PROCESSING APPARATUS
公开(公告)号：TWI288822B
公开(公告)日：2007-10-21
申请号：TW094129738
申请日：2005-08-30
申请人：日立全球先端科技股份有限公司 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
发明人：山本秀之 YAMAMOTO, HIDEYUKI , 榎並弘充 ENAMI, HIROMICHI , 古瀨宗雄 FURUSE, MUNEO
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/24 , G01N2015/1062 , H01L21/02057
摘要：提供可以正確地將包含於測定對象表面的異物予以吸引抽出而加以測定之電漿處理裝置之表面異物檢測技術。
檢測裝置係包含：具備有將特定壓力的氣體斷續吹向測定對象物表面之氣體吹出口、及吸引從該氣體吹出口所吹出的氣體而被放出的異物之氣體吸引口之測定單元；及具備從氣體吸引口連續吸引一定量的氣體之吸引泵，並將包含於以該吸引泵所吸引之氣體的異物之數目加以計數之微粒計數器；及對氣體吹出口斷續供給特定壓力的氣體之壓力調整單元。
简体摘要：提供可以正确地将包含于测定对象表面的异物予以吸引抽出而加以测定之等离子处理设备之表面异物检测技术。检测设备系包含：具备有将特定压力的气体断续吹向测定对象物表面之气体吹出口、及吸引从该气体吹出口所吹出的气体而被放出的异物之气体吸引口之测定单元；及具备从气体吸引口连续吸引一定量的气体之吸引泵，并将包含于以该吸引泵所吸引之气体的异物之数目加以计数之微粒计数器；及对气体吹出口断续供给特定压力的气体之压力调整单元。

7. 发明专利

TW200706849A 電漿處理裝置之表面異物檢測裝置及檢測方法 DEVICE AND METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATERIAL ON THE SURFACE OF PLASMA PROCESSING APPARATUS 失效
简体标题：等离子处理设备之表面异物检测设备及检测方法 DEVICE AND METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATERIAL ON THE SURFACE OF PLASMA PROCESSING APPARATUS
公开(公告)号：TW200706849A
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：TW094129738
申请日：2005-08-30
申请人：日立全球先端科技股份有限公司 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
发明人：山本秀之 YAMAMOTO, HIDEYUKI , 榎並弘充 ENAMI, HIROMICHI , 古瀨宗雄 FURUSE, MUNEO
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/24 , G01N2015/1062 , H01L21/02057
摘要：提供可以正確地將包含於測定對象表面的異物予以吸引抽出而加以測定之電漿處理裝置之表面異物檢測技術。檢測裝置係包含:具備有將特定壓力的氣體斷續吹向測定對象物表面之氣體吹出口、及吸引從該氣體吹出口所吹出的氣體而被放出的異物之氣體吸引口之測定子;及具備從氣體吸引口連續吸引一定量的氣體之吸引泵,並將包含於以該吸引泵所吸引之氣體的異物之數目加以計數之微粒計數器;及對氣體吹出口斷續供給特定壓力的氣體之壓力調整單元。
简体摘要：提供可以正确地将包含于测定对象表面的异物予以吸引抽出而加以测定之等离子处理设备之表面异物检测技术。检测设备系包含:具备有将特定压力的气体断续吹向测定对象物表面之气体吹出口、及吸引从该气体吹出口所吹出的气体而被放出的异物之气体吸引口之测定子;及具备从气体吸引口连续吸引一定量的气体之吸引泵,并将包含于以该吸引泵所吸引之气体的异物之数目加以计数之微粒计数器;及对气体吹出口断续供给特定压力的气体之压力调整单元。

8. 发明专利

TW200700712A 超純水中之微粒子數量測定方法、微粒子數量測定用過濾裝置、其製造方法及使用於該裝置之中空絲膜單元审中-公开
简体标题：超纯水中之微粒子数量测定方法、微粒子数量测定用过滤设备、其制造方法及使用于该设备之中空丝膜单元
公开(公告)号：TW200700712A
公开(公告)日：2007-01-01
申请号：TW095103183
申请日：2006-01-26
申请人：野村微科學股份有限公司 NOMURA MICRO SCIENCE CO., LTD. , 旭化成化學股份有限公司 ASAHI KASEI CHEMICALS CORPORATION
发明人：遠藤睦子 ENDOU, MUTSUKO , 草野徹 KUSANO, TOORU , 赤平一成 AKAHIRA, KAZUNARI , 伊藤隆 ITO, TAKASHI
IPC分类号： G01N , B01D , C02F
CPC分类号： G01N15/0272 , B01D61/18 , B01D63/024 , B01D2313/06 , G01N1/2035 , G01N33/18 , G01N2015/1062 , Y10T29/49007
摘要：本發明之超純水中之微粒子數量測定方法,係包含:以至少於內表面具備有能夠捕捉超純水中之微粒子的表皮層的中空絲膜將超純水予以內壓過濾之步驟、使上述中空絲膜的內表面露出之步驟、以及測量上述露出後之內表面的微粒子數量之步驟為特徵。
简体摘要：本发明之超纯水中之微粒子数量测定方法,系包含:以至少于内表面具备有能够捕捉超纯水中之微粒子的表皮层的中空丝膜将超纯水予以内压过滤之步骤、使上述中空丝膜的内表面露出之步骤、以及测量上述露出后之内表面的微粒子数量之步骤为特征。

9. 发明专利

TW200401891A 血液樣品之分析方法及裝置 METHOD AND DEVICE FOR ANALYSING A BLOOD SAMPLE 审中-公开
简体标题：血液样品之分析方法及设备 METHOD AND DEVICE FOR ANALYSING A BLOOD SAMPLE
公开(公告)号：TW200401891A
公开(公告)日：2004-02-01
申请号：TW092116635
申请日：2003-06-19
申请人： ABX公司 ABX
发明人：羅傑烈康堤 LE COMTE, ROGER
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/38 , G01N1/18 , G01N15/1404 , G01N2001/1025 , G01N2001/382 , G01N2001/383 , G01N2015/0069 , G01N2015/0073 , G01N2015/008 , G01N2015/0084 , G01N2015/1062 , G01N2015/1409
摘要：本發明係有關一種供分析血液樣品用之方法及裝置。在一較佳具體例中，該裝置包含稀釋裝置(10)，其係設計用以接納欲分析的樣品；注射器總成(12)，其包含複數個注射器(26、38、46、52、60)，且係設計用以準備、注射及計量該來自於稀釋總成之欲分析樣品；分配總成(14)，其係連結至注射器總成(12)，及其係設計用以讓該樣品及至少另一種流體於導管循環；以及測量總成(16)，其係連結至分配總成，及其係設計用以分析注入的樣品。經由將該裝置分解成為複數個總成，可更容易組裝與維持裝置。
简体摘要：本发明系有关一种供分析血液样品用之方法及设备。在一较佳具体例中，该设备包含稀释设备(10)，其系设计用以接纳欲分析的样品；注射器总成(12)，其包含复数个注射器(26、38、46、52、60)，且系设计用以准备、注射及计量该来自于稀释总成之欲分析样品；分配总成(14)，其系链接至注射器总成(12)，及其系设计用以让该样品及至少另一种流体于导管循环；以及测量总成(16)，其系链接至分配总成，及其系设计用以分析注入的样品。经由将该设备分解成为复数个总成，可更容易组装与维持设备。

10. 发明专利

TW201809649A 用於流體移動控制的微流體設備审中-公开
简体标题：用于流体移动控制的微流体设备
公开(公告)号：TW201809649A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106124779
申请日：2017-07-24
申请人：惠普研發公司 , HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L. P.
发明人：多明戈尚朵樂 , DOMINGUE, CHANTELLE , 伍德弗德陶德 , WOODFORD, TOD , 吉里曼尼許 , GIRI, MANISH , 史密斯馬修大衛 , SMITH, MATTHEW DAVID , 柯里甘恩三世喬治H , CORRIGAN III, GEORGE H. , 扎瓦瑞伊馬薩伍德 , ZAVAREHI, MASOUD , 余約書亞M , YU, JOSHUA M.
IPC分类号： G01N27/07 , G01N35/00 , B81B5/00
CPC分类号： B81B1/00 , B01L3/502761 , B01L3/5085 , B01L2200/0652 , B01L2300/0645 , B01L2300/0864 , B01L2400/043 , B01L2400/0439 , B01L2400/0442 , G01N15/1031 , G01N15/1056 , G01N33/48 , G01N2015/0046 , G01N2015/1006 , G01N2015/1062 , G01N2015/1081
摘要：根據一個示例，微流體設備可以包括流體槽和門廳，其通過具有比門廳寬度相對較小的通道與流體槽流體連通。微流體設備還可以包括電感測器，用於測量通過該通道從流體槽到門廳之流體中感興趣之粒子所引起的電場變化；致動器，用於將壓力施加到包含在門廳的流體；以及控制器，用於接收來自電感測器的經測量電場變化、從經接收電場變化中確定感興趣之粒子的電識別標誌並且控制致動器以基於經確定感興趣之粒子的電識別標誌來控制感興趣之粒子的移動。
简体摘要：根据一个示例，微流体设备可以包括流体槽和门厅，其通过具有比门厅宽度相对较小的信道与流体槽流体连通。微流体设备还可以包括电传感器，用于测量通过该信道从流体槽到门厅之流体中感兴趣之粒子所引起的电场变化；致动器，用于将压力施加到包含在门厅的流体；以及控制器，用于接收来自电传感器的经测量电场变化、从经接收电场变化中确定感兴趣之粒子的电识别标志并且控制致动器以基于经确定感兴趣之粒子的电识别标志来控制感兴趣之粒子的移动。

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