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1. 发明专利

TWI600891B 微粒偵測技術（一）有权
简体标题：微粒侦测技术（一）
公开(公告)号：TWI600891B
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW104103257
申请日：2010-05-03
申请人：愛克斯崔里斯科技有限公司 , XTRALIS TECHNOLOGIES LIMITED
发明人：那克斯若恩 , KNOX, RON , 波特吉爾卡洛 , BOETTGER, KARL , 阿傑肯麥爾 , AJAY, KEMAL
IPC分类号： G01N15/14 , G01N21/53 , G08B17/10
CPC分类号： G01N21/53 , F21K9/00 , G01N15/0205 , G01N15/10 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/538 , G01N2201/061 , G01N2201/062 , G01N2201/0621 , G01N2201/0627 , G01N2201/0633 , G01N2201/0696

2. 发明专利

TW200422613A 測試表面之劃痕阻力之裝置 DEVICE FOR TESTING THE SCRATCH RESISTANCE OF SURFACES 审中-公开
简体标题：测试表面之划痕阻力之设备 DEVICE FOR TESTING THE SCRATCH RESISTANCE OF SURFACES
公开(公告)号：TW200422613A
公开(公告)日：2004-11-01
申请号：TW092129492
申请日：2003-10-24
申请人：拜耳廠股份有限公司 BAYER AKTIENGESELLSCHAFT
发明人：布安德 BURGEL, ANDREAS , 藍喬治 LAMP, GEORG , 馬羅伯 MALEIKA, ROBERT , 麥南斯 MLECZKO, LESLAW
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N3/567 , G01N15/10 , G01N2015/1006
摘要：一種藉由帶有固體微粒之氣體流以測試樣品表面之劃痕阻力之裝置，其包含：一管，其具有一入口及出口，用以將該氣體流導引至一具有該待測表面的樣品固定架上，一提供該氣體流之裝置，及一計測裝置，其沿該管定位以計測進入該氣體流之該固體微粒，其中一管部在該管出口的區域中被彎角成一角度且該彎角的該管部具有一在該角上的開口，在該開口定位該樣品固定架，以將該氣體流導引至該樣品固定架上。
简体摘要：一种借由带有固体微粒之气体流以测试样品表面之划痕阻力之设备，其包含：一管，其具有一入口及出口，用以将该气体流导引至一具有该待测表面的样品固定架上，一提供该气体流之设备，及一计测设备，其沿该管定位以计测进入该气体流之该固体微粒，其中一管部在该管出口的区域中被弯角成一角度且该弯角的该管部具有一在该角上的开口，在该开口定位该样品固定架，以将该气体流导引至该样品固定架上。

3. 发明专利

TW201544169A 溶液混合裝置與混合方法以及溶液粒子監測系統與監測方法审中-公开
简体标题：溶液混合设备与混合方法以及溶液粒子监测系统与监测方法
公开(公告)号：TW201544169A
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW103138188
申请日：2014-11-04
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：何信佳 , HO, HSIN CHIA , 陳國棟 , CHEN, GUO DUNG , 傅尉恩 , FU, WEI EN , 林彥良 , LIN, YEN LIANG
IPC分类号： B01F3/08 , B01J2/02 , G01N15/10
CPC分类号： G01N15/0266 , B01F3/04056 , B01F3/0861 , B01F5/0609 , B01F11/0071 , B01F15/00019 , B01F15/0238 , B01F2003/0896 , B01F2215/0037 , G01N1/28 , G01N1/38 , G01N15/0205 , G01N15/10 , G01N2015/0038 , G01N2015/1081 , G01N2015/1087
摘要：一種溶液混合裝置包含第一槽體、第二槽體、取樣元件、流量控制元件、混合組件、第一進氣系統、第一排氣系統、第二進氣系統及第二排氣系統。第一槽體具有一第一腔室。第二槽體具有一第二腔室。取樣元件具有一汲取口，汲取口位於第一腔室內。流量控制元件與第一腔室相連通。混合組件連通於第一腔室與第二腔室之間。第一進氣系統與第一排氣系統分別和第一腔室相連通。第二進氣系統與第二排氣系統分別和第二腔室相連通。應用前述溶液混合裝置的溶液粒子監測系統亦被提出，其係進一步整合了氣膠化裝置、粒子尺寸篩選裝置、粒子計數器。
简体摘要：一种溶液混合设备包含第一槽体、第二槽体、采样组件、流量控件、混合组件、第一进气系统、第一排气系统、第二进气系统及第二排气系统。第一槽体具有一第一腔室。第二槽体具有一第二腔室。采样组件具有一汲取口，汲取口位于第一腔室内。流量控件与第一腔室相连通。混合组件连通于第一腔室与第二腔室之间。第一进气系统与第一排气系统分别和第一腔室相连通。第二进气系统与第二排气系统分别和第二腔室相连通。应用前述溶液混合设备的溶液粒子监测系统亦被提出，其系进一步集成了气胶化设备、粒子尺寸筛选设备、粒子计数器。

4. 发明专利

TW201215873A 微粒偵測技術 PARTICLE DETECTION 审中-公开
简体标题：微粒侦测技术 PARTICLE DETECTION
公开(公告)号：TW201215873A
公开(公告)日：2012-04-16
申请号：TW099114049
申请日：2010-05-03
申请人：愛克斯崔里斯科技有限公司
发明人：那克斯若恩 , 波特吉爾卡洛 , 阿傑肯麥爾
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N21/53 , F21K9/00 , G01N15/0205 , G01N15/10 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/538 , G01N2201/061 , G01N2201/062 , G01N2201/0621 , G01N2201/0627 , G01N2201/0633 , G01N2201/0696
摘要：一種微粒偵測系統包括：適用於以至少二波長照明接受監視的體積之至少一個光源；具有一視野之一接收器，其係適用於來自於至少一個光源的光已經通過接受監視的體積後接收該光，且係適用於產生指示於該接收器之視野內部各區所接收的光強度；與該接收器結合之一處理器，其係適用於處理由該接收器所產生之信號來相關聯該接收器之視野內部於相對應區所接收的至少二波長光，及產生指示所接收的至少二波長光之相對位準的一輸出信號。
简体摘要：一种微粒侦测系统包括：适用于以至少二波长照明接受监视的体积之至少一个光源；具有一视野之一接收器，其系适用于来自于至少一个光源的光已经通过接受监视的体积后接收该光，且系适用于产生指示于该接收器之视野内部各区所接收的光强度；与该接收器结合之一处理器，其系适用于处理由该接收器所产生之信号来相关联该接收器之视野内部于相对应区所接收的至少二波长光，及产生指示所接收的至少二波长光之相对位准的一输出信号。

5. 发明专利

TWI614829B 用於檢測在大氣壓力下運送及存放半導體基材的運送載具的微粒污染的檢測站及方法有权
简体标题：用于检测在大气压力下运送及存放半导体基材的运送载具的微粒污染的检测站及方法
公开(公告)号：TWI614829B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW102143557
申请日：2013-11-28
申请人：艾迪生真空產品公司 , ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人：索威斯辛蒂 , THOVEX, CINDY , 邦努爾朱利安 , BOUNOUAR, JULIEN , 菲里亞諾 , FAVRE, ARNAUD
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： G01N15/10 , G01N2015/1062 , H01L21/67389

6. 发明专利

TWI549745B 溶液混合裝置與混合方法以及溶液粒子監測系統與監測方法有权
简体标题：溶液混合设备与混合方法以及溶液粒子监测系统与监测方法
公开(公告)号：TWI549745B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：TW103138188
申请日：2014-11-04
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：何信佳 , HO, HSIN CHIA , 陳國棟 , CHEN, GUO DUNG , 傅尉恩 , FU, WEI EN , 林彥良 , LIN, YEN LIANG
IPC分类号： B01F3/08 , B01J2/02 , G01N15/10
CPC分类号： G01N15/0266 , B01F3/04056 , B01F3/0861 , B01F5/0609 , B01F11/0071 , B01F15/00019 , B01F15/0238 , B01F2003/0896 , B01F2215/0037 , G01N1/28 , G01N1/38 , G01N15/0205 , G01N15/10 , G01N2015/0038 , G01N2015/1081 , G01N2015/1087

7. 发明专利

TWI503530B 微粒偵測技術有权
简体标题：微粒侦测技术
公开(公告)号：TWI503530B
公开(公告)日：2015-10-11
申请号：TW099114049
申请日：2010-05-03
申请人：愛克斯崔里斯科技有限公司 , XTRALIS TECHNOLOGIES LIMITED
发明人：那克斯若恩 , KNOX, RON , 波特吉爾卡洛 , BOETTGER, KARL , 阿傑肯麥爾 , AJAY, KEMAL
IPC分类号： G01N15/14
CPC分类号： G01N21/53 , F21K9/00 , G01N15/0205 , G01N15/10 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/538 , G01N2201/061 , G01N2201/062 , G01N2201/0621 , G01N2201/0627 , G01N2201/0633 , G01N2201/0696

8. 发明专利

TW201538952A 多通道偵測器审中-公开
简体标题：多信道侦测器
公开(公告)号：TW201538952A
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：TW104106990
申请日：2015-03-05
申请人：愛克斯崔里斯環球公司 , XTRALIS GLOBAL
发明人：威廉森艾爾斯達J , WILLIAMSON, ALASDAIR JAMES
IPC分类号： G01N15/00 , G01N27/26 , G01N35/10
CPC分类号： G01N33/0022 , G01N15/10 , G01N33/0031
摘要：在本發明之一實施例中係揭露一種多通道粒子且/或氣體偵測器，其包含一個固持在一個外罩構造中的偵測器元件陣列，該外罩構造係構建成對於各個偵測器元件提供一個入口以及一個出口，其中各個入口、偵測器元件以及出口形成一個專用的偵測器通道，該偵測器通道操作上與一採樣管相連通。
简体摘要：在本发明之一实施例中系揭露一种多信道粒子且/或气体侦测器，其包含一个固持在一个外罩构造中的侦测器组件数组，该外罩构造系构建成对于各个侦测器组件提供一个入口以及一个出口，其中各个入口、侦测器组件以及出口形成一个专用的侦测器信道，该侦测器信道操作上与一采样管相连通。

9. 发明专利

TW201522936A 微粒偵測技術（一）审中-公开
简体标题：微粒侦测技术（一）
公开(公告)号：TW201522936A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：TW104103257
申请日：2010-05-03
申请人：愛克斯崔里斯科技有限公司 , XTRALIS TECHNOLOGIES LIMITED
发明人：那克斯若恩 , KNOX, RON , 波特吉爾卡洛 , BOETTGER, KARL , 阿傑肯麥爾 , AJAY, KEMAL
IPC分类号： G01N15/14 , G01N21/53 , G08B17/10
CPC分类号： G01N21/53 , F21K9/00 , G01N15/0205 , G01N15/10 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/538 , G01N2201/061 , G01N2201/062 , G01N2201/0621 , G01N2201/0627 , G01N2201/0633 , G01N2201/0696
摘要：一種微粒偵測系統包括：適用於以至少二波長照明接受監視的體積之至少一個光源；具有一視野之一接收器，其係適用於來自於至少一個光源的光已經通過接受監視的體積後接收該光，且係適用於產生指示於該接收器之視野內部各區所接收的光強度；與該接收器結合之一處理器，其係適用於處理由該接收器所產生之信號來相關聯該接收器之視野內部於相對應區所接收的至少二波長光，及產生指示所接收的至少二波長光之相對位準的一輸出信號。
简体摘要：一种微粒侦测系统包括：适用于以至少二波长照明接受监视的体积之至少一个光源；具有一视野之一接收器，其系适用于来自于至少一个光源的光已经通过接受监视的体积后接收该光，且系适用于产生指示于该接收器之视野内部各区所接收的光强度；与该接收器结合之一处理器，其系适用于处理由该接收器所产生之信号来相关联该接收器之视野内部于相对应区所接收的至少二波长光，及产生指示所接收的至少二波长光之相对位准的一输出信号。

10. 发明专利

TW201440164A 用於檢測在大氣壓力下運送及存放半導體基材的運送載具的微粒污染的檢測站及方法审中-公开
简体标题：用于检测在大气压力下运送及存放半导体基材的运送载具的微粒污染的检测站及方法
公开(公告)号：TW201440164A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：TW102143557
申请日：2013-11-28
申请人：艾迪生真空產品公司 , ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人：索威斯辛蒂 , THOVEX, CINDY , 邦努爾朱利安 , BOUNOUAR, JULIEN , 菲里亞諾 , FAVRE, ARNAUD
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： G01N15/10 , G01N2015/1062 , H01L21/67389
摘要：本發明係關於一種用於檢測一用來在大氣壓力下運送及存放半導體基材的運送載具的微粒污染的檢測站，該運送載具包含一硬質外殼(2)，其包含一孔口及一可拆卸的門(3)以允許該孔口被關閉，該檢測站包含：一環境受控制的艙室(4)，其包含至少一載入埠(8)，其能夠一方面耦合至該硬質外殼(2)及另一方面耦合至該運送載具的該門(3)，用以將該門(3)移入該環境受控制的艙室(4)內並讓該硬質外殼(2)的內部和該環境受控制的艙室(4)的內部相連通；及一檢測模組(5)，其包含一微粒檢測單元(14)及一外殼-檢測界面(16)，其被建構來在該門(3)的位置處耦合至該被耦合至該環境受控制的艙室(4)的硬質外殼(2)，其特徵在於該外殼-檢測界面(16)包含一從該外殼- 檢測界面的基部突伸出的檢測頭，其具有一連接至該微粒檢測單元(14)的第一取樣口(12)、及至少兩個噴注噴嘴(20)，其被建構來將一氣體噴流引導至該被耦合至該環境受控制的艙室(4)的硬質外殼(2)上的至少兩個分開的位置，該等噴注噴嘴(20)的各自的方向係相對於該被耦合的硬質外殼(2)被固定。本發明亦關於一種用來檢測一在大氣壓力下運送並存放半導體基材的運送載具的微粒污染的方法。
简体摘要：本发明系关于一种用于检测一用来在大气压力下运送及存放半导体基材的运送载具的微粒污染的检测站，该运送载具包含一硬质外壳(2)，其包含一孔口及一可拆卸的门(3)以允许该孔口被关闭，该检测站包含：一环境受控制的舱室(4)，其包含至少一加载端口(8)，其能够一方面耦合至该硬质外壳(2)及另一方面耦合至该运送载具的该门(3)，用以将该门(3)移入该环境受控制的舱室(4)内并让该硬质外壳(2)的内部和该环境受控制的舱室(4)的内部相连通；及一检测模块(5)，其包含一微粒检测单元(14)及一外壳-检测界面(16)，其被建构来在该门(3)的位置处耦合至该被耦合至该环境受控制的舱室(4)的硬质外壳(2)，其特征在于该外壳-检测界面(16)包含一从该外壳- 检测界面的基部突伸出的检测头，其具有一连接至该微粒检测单元(14)的第一采样口(12)、及至少两个喷注喷嘴(20)，其被建构来将一气体喷流引导至该被耦合至该环境受控制的舱室(4)的硬质外壳(2)上的至少两个分开的位置，该等喷注喷嘴(20)的各自的方向系相对于该被耦合的硬质外壳(2)被固定。本发明亦关于一种用来检测一在大气压力下运送并存放半导体基材的运送载具的微粒污染的方法。

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