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1. 发明专利

TW201140002A 干涉編碼器系統 INTERFEROMETRIC ENCODER SYSTEMS 审中-公开
简体标题：干涉编码器系统 INTERFEROMETRIC ENCODER SYSTEMS
公开(公告)号：TW201140002A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：TW100107548
申请日：2011-03-07
申请人：賽格股份有限公司
发明人：迪克萊思禮L , D E 古魯特彼德J , 史柯洛德麥可
IPC分类号： G01D , G01B
CPC分类号： G01D5/266 , G01D5/38
摘要：一種方法,用來判斷關於沿著編碼器刻度之自由度改變的資訊,包括:沿著不同的路徑傳送第一光束以及第二光束,將第一與第二光束結合而形成輸出光束,其中第一與第二光束來自共同來源,第一與第二光束具有不同的頻率,其中上述第一光束以一非里梭角與上述編碼器刻度接觸,且第一光束對編碼器刻度進行至少一次繞射;根據輸出光束偵測干涉信號,干涉信號包括關於第一光束與第二光束之間的光學路徑差的外插相位;以及根據外插相位判斷關於編碼器刻度之自由度的資訊。
简体摘要：一种方法,用来判断关于沿着编码器刻度之自由度改变的信息,包括:沿着不同的路径发送第一光束以及第二光束,将第一与第二光束结合而形成输出光束,其中第一与第二光束来自共同来源,第一与第二光束具有不同的频率,其中上述第一光束以一非里梭角与上述编码器刻度接触,且第一光束对编码器刻度进行至少一次绕射;根据输出光束侦测干涉信号,干涉信号包括关于第一光束与第二光束之间的光学路径差的外插相位;以及根据外插相位判断关于编码器刻度之自由度的信息。

2. 发明专利

TW201100751A 等路徑干涉儀 EQUAL-PATH INTERFEROMETER 审中-公开
简体标题：等路径干涉仪 EQUAL-PATH INTERFEROMETER
公开(公告)号：TW201100751A
公开(公告)日：2011-01-01
申请号：TW099119849
申请日：2010-06-18
申请人：賽格股份有限公司
发明人： D E 古魯特彼德J , 迪克萊思禮L , 貝根詹姆士F , 克里歐保羅斯克里斯
IPC分类号： G01B
CPC分类号： G01B9/02058 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02059 , G01B9/0209 , G02B21/14
摘要：提供一種使用於干涉儀中的光學總成。光學總成包括第一及第二部分反射表面,沿著光軸被定位且對光軸被定向於不同的非法線角。第二部分反射表面被配置以接收沿著光學路徑透射通過第一部分反射表面的光,將部分的接收光傳送至測試物體以定義干涉儀的測量光且將另一部分的接收光朝向第一部分反射表面反射回去以定義干涉儀的參考光。參考光在第二及第一部分反射表面間行進至少一次來回的路徑。
简体摘要：提供一种使用于干涉仪中的光学总成。光学总成包括第一及第二部分反射表面,沿着光轴被定位且对光轴被定向于不同的非法线角。第二部分反射表面被配置以接收沿着光学路径透射通过第一部分反射表面的光,将部分的接收光发送至测试物体以定义干涉仪的测量光且将另一部分的接收光朝向第一部分反射表面反射回去以定义干涉仪的参考光。参考光在第二及第一部分反射表面间行进至少一次来回的路径。

3. 发明专利

TWI471535B 用來判斷關於沿著編碼器刻度之自由度改變的資訊的方法、編碼器系統、光刻系統、光刻方法有权
简体标题：用来判断关于沿着编码器刻度之自由度改变的信息的方法、编码器系统、光刻系统、光刻方法
公开(公告)号：TWI471535B
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW100107548
申请日：2011-03-07
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：迪克萊思禮L , DECK, LESLIE L. , D E 古魯特彼德J , DE GROOT, PETER J. , 史柯洛德麥可 , SCHROEDER, MICHAEL
IPC分类号： G01D5/347 , G01B9/02
CPC分类号： G01D5/266 , G01D5/38

4. 发明专利

TWI431243B 使用於干涉儀中的光學總成、干涉系統及干涉方法有权
简体标题：使用于干涉仪中的光学总成、干涉系统及干涉方法
公开(公告)号：TWI431243B
公开(公告)日：2014-03-21
申请号：TW099119849
申请日：2010-06-18
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人： D E 古魯特彼德J , DE GROOT, PETER J. , 迪克萊思禮L , DECK, LESLIE L. , 貝根詹姆士F , BIEGEN, JAMES F. , 克里歐保羅斯克里斯 , KOLIOPOULOS, CHRIS
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02058 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02059 , G01B9/0209 , G02B21/14

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