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    • 9. 发明专利
    • 處理氣體供應裝置
    • 处理气体供应设备
    • TW342434B
    • 1998-10-11
    • TW085115994
    • 1996-12-24
    • 東京電子股份有限公司
    • 五味久伊藤昌秀池田亨陣內新平
    • F17D
    • C23C16/4408B01J4/00C23C16/4407C23C16/4481C23C16/52F17C7/04F17C2221/012F17C2221/016F17C2223/0153F17C2227/044F17C2250/032F17C2250/043F17C2250/0636F17C2270/0518Y02E60/321
    • 本發明之處理氣體供應裝置,其特徵為具備:連接收容有液狀之有機鋁金屬化合物的供應源,及對處理對象物實行依有機鋁金屬化合物之成膜處理的處理裝置的供應管路,及經供應管路壓送供應源之有機鋁金屬化合物的壓送裝置,及設於供應管路,汽化被壓送之液狀有機鋁金屬化合物的汽化裝置,及連接於供應管路,將被加壓之清洗氣體導入至供應管路的清洗氣體導入裝置,及連接於供應管路,將溶解有機鋁金屬化合物之溶媒導入至供應管路的溶媒導入裝置,及連接於供應管路,吸引排出供應管路內之流體的排出裝置,及具有設於供應管路之多數閥,將閥藉由轉換動作來控制通過供應管路之流體流動的控制裝置。
    • 本发明之处理气体供应设备,其特征为具备:连接收容有液状之有机铝金属化合物的供应源,及对处理对象物实行依有机铝金属化合物之成膜处理的处理设备的供应管路,及经供应管路压送供应源之有机铝金属化合物的压送设备,及设于供应管路,汽化被压送之液状有机铝金属化合物的汽化设备,及连接于供应管路,将被加压之清洗气体导入至供应管路的清洗气体导入设备,及连接于供应管路,将溶解有机铝金属化合物之溶媒导入至供应管路的溶媒导入设备,及连接于供应管路,吸引排出供应管路内之流体的排出设备,及具有设于供应管路之多数阀,将阀借由转换动作来控制通过供应管路之流体流动的控制设备。