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3. 发明专利

TWI230774B 用於高壓超高純度製品的生產與輸送系統 GENERATION AND DELIVERY SYSTEM FOR HIGH PRESSURE ULTRA HIGH PURITY PRODUCT 失效
简体标题：用于高压超高纯度制品的生产与输送系统 GENERATION AND DELIVERY SYSTEM FOR HIGH PRESSURE ULTRA HIGH PURITY PRODUCT
公开(公告)号：TWI230774B
公开(公告)日：2005-04-11
申请号：TW093101799
申请日：2004-01-27
申请人：氣體產品及化學品股份公司 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
发明人：馬拉低米爾.耶利.蓋許太 VLADIMIR YLIY GERSHTEIN , 亞力山大.史瓦茲 ALEXANDER SCHWARZ , 韋恩.湯馬士.麥德蒙 WAYNE THOMAS MCDERMOTT , 約翰.佛蘭得瑞克.塞基 JOHN FREDERICK CIRUCCI , 約翰.克里斯多夫.伊凡科維特 JOHN CHRISTOPHER IVANKOVITS
IPC分类号： F17C
CPC分类号： F17C7/04 , C01B32/50 , F04B15/08 , F04B19/24 , F04D7/00 , F17C6/00 , F17C7/02 , F17C2221/013 , F17C2223/0153 , F17C2223/035 , F17C2223/036
摘要：本發明係關於在無須使用泵的情況下，便得以目標壓力將含有至少一種成分的超高純度流體輸送至使用地點的方法與設備。在一實施例中，氣態或液態形式之含有至少一種成分的高純度饋料係載入容器，並至少部分固化(亦即轉化成固相源)。當饋料轉化成固相源時，可添加補充的饋料，直至該容器至少實質上填充有固相源或漿體。一旦填充好時，便可將固相源或漿體等容加熱，藉此使固相源轉化成高壓製品。在其他的實施例中，用於生產與收集含有至少一種成分之高純度固相源或漿體的設備與方法係揭示於此。
简体摘要：本发明系关于在无须使用泵的情况下，便得以目标压力将含有至少一种成分的超高纯度流体输送至使用地点的方法与设备。在一实施例中，气态或液态形式之含有至少一种成分的高纯度馈料系加载容器，并至少部分固化(亦即转化成固相源)。当馈料转化成固相源时，可添加补充的馈料，直至该容器至少实质上填充有固相源或浆体。一旦填充好时，便可将固相源或浆体等容加热，借此使固相源转化成高压制品。在其他的实施例中，用于生产与收集含有至少一种成分之高纯度固相源或浆体的设备与方法系揭示于此。

4. 发明专利

TW372263B 控制液態,氣體輸送的系統和方法失效
简体标题：控制液态,气体输送的系统和方法
公开(公告)号：TW372263B
公开(公告)日：1999-10-21
申请号：TW086117543
申请日：1997-11-24
申请人：液態空氣.喬治斯.克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：班傑明澤西克 , 瑞查.烏地沙斯 , 王化奇
IPC分类号： F17C
CPC分类号： F17C13/02 , F17C7/04 , F17C13/04 , F17C13/084 , F17C2205/0338 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2227/044 , F17C2250/0694 , F17C2260/023 , F17C2270/0518
摘要：本發明提供一種輸送一液化狀態氣體之新穎系統和方法。該系統包括：(a)連接有一氣體管線之一壓縮液化氣體筒，透過該管線抽出該氣體；(b)一氣體筒室，將該氣體筒容置於其中；以及(c)用以增加大氣與該氣體筒間熱傳速率，而不會使該氣體筒內之液體溫度增加至高於大氣溫度的裝置。該裝備與方法使得來自氣體室之液化氣體於高速率下之輸送可受控制。發現其於半導體處理工具之氣體輸送中有其特別的適用性。
简体摘要：本发明提供一种输送一液化状态气体之新颖系统和方法。该系统包括：(a)连接有一气体管线之一压缩液化气体筒，透过该管线抽出该气体；(b)一气体筒室，将该气体筒容置于其中；以及(c)用以增加大气与该气体筒间热传速率，而不会使该气体筒内之液体温度增加至高于大气温度的设备。该装备与方法使得来自气体室之液化气体于高速率下之输送可受控制。发现其于半导体处理工具之气体输送中有其特别的适用性。

5. 发明专利

TW342434B 處理氣體供應裝置失效
简体标题：处理气体供应设备
公开(公告)号：TW342434B
公开(公告)日：1998-10-11
申请号：TW085115994
申请日：1996-12-24
申请人：東京電子股份有限公司
发明人：五味久 , 伊藤昌秀 , 池田亨 , 陣內新平
IPC分类号： F17D
CPC分类号： C23C16/4408 , B01J4/00 , C23C16/4407 , C23C16/4481 , C23C16/52 , F17C7/04 , F17C2221/012 , F17C2221/016 , F17C2223/0153 , F17C2227/044 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2250/0636 , F17C2270/0518 , Y02E60/321
摘要：本發明之處理氣體供應裝置，其特徵為具備：連接收容有液狀之有機鋁金屬化合物的供應源，及對處理對象物實行依有機鋁金屬化合物之成膜處理的處理裝置的供應管路，及經供應管路壓送供應源之有機鋁金屬化合物的壓送裝置，及設於供應管路，汽化被壓送之液狀有機鋁金屬化合物的汽化裝置，及連接於供應管路，將被加壓之清洗氣體導入至供應管路的清洗氣體導入裝置，及連接於供應管路，將溶解有機鋁金屬化合物之溶媒導入至供應管路的溶媒導入裝置，及連接於供應管路，吸引排出供應管路內之流體的排出裝置，及具有設於供應管路之多數閥，將閥藉由轉換動作來控制通過供應管路之流體流動的控制裝置。
简体摘要：本发明之处理气体供应设备，其特征为具备：连接收容有液状之有机铝金属化合物的供应源，及对处理对象物实行依有机铝金属化合物之成膜处理的处理设备的供应管路，及经供应管路压送供应源之有机铝金属化合物的压送设备，及设于供应管路，汽化被压送之液状有机铝金属化合物的汽化设备，及连接于供应管路，将被加压之清洗气体导入至供应管路的清洗气体导入设备，及连接于供应管路，将溶解有机铝金属化合物之溶媒导入至供应管路的溶媒导入设备，及连接于供应管路，吸引排出供应管路内之流体的排出设备，及具有设于供应管路之多数阀，将阀借由转换动作来控制通过供应管路之流体流动的控制设备。

6. 发明专利

TW201633251A 液態天然氣的輸配與氣化管理系統审中-公开
简体标题：液态天然气的输配与气化管理系统
公开(公告)号：TW201633251A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104107787
申请日：2015-03-11
申请人：電聯運通股份有限公司
发明人：曾令遠 , 陳澤宗 , 王舜宇 , 朱明復
IPC分类号： G06Q50/28 , F17C9/02
CPC分类号： F17C7/04
摘要：一種液態天然氣的輸配與氣化管理系統，係包括一設置有至少一輸配氣區、氣化處理區及中央管理區的輸配月台，其中，該輸配氣區供至少一列液態天然氣(Liquefied Natural Gas,LNG)運輸列車輸運卸載液態天然氣，該氣化處理區連結該輸配氣區，該氣化處理區內包含至少一燃料電池模組，以透過該燃料電池模組於發電過程中所產生之熱能、水副產物進行熱交換(heat exchange)，讓該來自輸配氣區之液態天然氣氣化(vaporization)，並將氣化之天然氣送入一區域供氣管路或一暫存儲氣區中暫存，以及反饋給該氣化處理區中之燃料電池模組，該中央管理區並接收氣化處理區之燃料電池模組發電電源，並連結及控制該輸配氣區、氣化處理區之液態天然氣輸配氣、氣化處理及氣化天然氣輸出之管理、監視與控制。
简体摘要：一种液态天然气的输配与气化管理系统，系包括一设置有至少一输配气区、气化处理区及中央管理区的输配站台，其中，该输配气区供至少一列液态天然气(Liquefied Natural Gas,LNG)运输列车输运卸载液态天然气，该气化处理区链接该输配气区，该气化处理区内包含至少一燃料电池模块，以透过该燃料电池模块于发电过程中所产生之热能、水副产物进行热交换(heat exchange)，让该来自输配气区之液态天然气气化(vaporization)，并将气化之天然气送入一区域供气管路或一暂存储气区中暂存，以及反馈给该气化处理区中之燃料电池模块，该中央管理区并接收气化处理区之燃料电池模块发电电源，并链接及控制该输配气区、气化处理区之液态天然气输配气、气化处理及气化天然气输出之管理、监视与控制。

8. 发明专利

TW201013087A 供大宗特用氣體供應系統用之能量輸送提高機構 ENHANCED ENERGY DELIVERY MECHANISM FOR BULK SPECIALTY GAS SUPPLY SYSTEMS 审中-公开
简体标题：供大宗特用气体供应系统用之能量输送提高机构 ENHANCED ENERGY DELIVERY MECHANISM FOR BULK SPECIALTY GAS SUPPLY SYSTEMS
公开(公告)号：TW201013087A
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：TW098120113
申请日：2009-06-16
申请人：普雷瑟科技股份有限公司
发明人：薩里吉亞尼迪斯克里斯多 , 小伯格曼湯瑪斯 , 強森麥可 , 馬爾傑瑞 , 加克伐堤斯萊卡爾 , 朱漢 , 伯格斯肯尼斯 , 吉爾蒙德賈斯汀
IPC分类号： F17C , F28F , F16L
CPC分类号： F17C7/04 , F17C2201/0104 , F17C2201/035 , F17C2203/0643 , F17C2203/0646 , F17C2203/0648 , F17C2221/013 , F17C2223/0153 , F17C2223/035 , F17C2227/0302 , F17C2227/0383 , F17C2260/036 , F17C2260/046 , F17C2270/0518
摘要：本發明提供一種用於在高壓下從含有液化流體或二相流體之運輸槽輸送氣相流體的系統。該系統包含：（a）定位於實質水平之位置上的運輸槽；（b）一或多個安置於該運輸槽下部之能量輸送裝置，其中該能量輸送裝置包括加熱元件及安置於其間之導熱性非黏合層以達至間隙，而將實質均勻之能量提供給運輸槽。
简体摘要：本发明提供一种用于在高压下从含有液化流体或二相流体之运输槽输送气相流体的系统。该系统包含：（a）定位于实质水平之位置上的运输槽；（b）一或多个安置于该运输槽下部之能量输送设备，其中该能量输送设备包括加热组件及安置于其间之导热性非黏合层以达至间隙，而将实质均匀之能量提供给运输槽。

9. 发明专利

TW434038B 吸附-脫附裝置及供應流體反應劑之方法失效
简体标题：吸附-脱附设备及供应流体反应剂之方法
公开(公告)号：TW434038B
公开(公告)日：2001-05-16
申请号：TW086115282
申请日：1997-10-15
申请人：尖端科技材料公司
发明人：格倫.M.湯姆 , W.卡爾.奧德蘭 , 詹姆斯.V.麥克馬納斯
IPC分类号： B01D
CPC分类号： F17C7/04 , B01D53/0407 , B01D2253/102 , B01D2253/304 , B01D2259/4525 , F17C11/00 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391
摘要：一種供貯存與配送可吸附氣體之吸附-脫附裝置，其中一種載有有待選擇性配送的吸著物氣體的物理吸附介質係藉差壓脫附及/或熱脫附而由吸附材料脫附吸著物氣體而輸送。吸附材料較佳包括一種材料其特徵為，對胂於40托耳(Torr)及於650托耳測量之吸附工作量為每升吸附材料床至少100克胂，例如，具有圖l曲線A之吸附等溫線特徵的吸附材料。
简体摘要：一种供贮存与配送可吸附气体之吸附-脱附设备，其中一种载有有待选择性配送的吸着物气体的物理吸附介质系藉差压脱附及/或热脱附而由吸附材料脱附吸着物气体而输送。吸附材料较佳包括一种材料其特征为，对胂于40托耳(Torr)及于650托耳测量之吸附工作量为每升吸附材料床至少100克胂，例如，具有图l曲线A之吸附等温线特征的吸附材料。

10. 发明专利

TW392050B 輸送蒸氣相產物至其使用點的系統和方法有权
简体标题：输送蒸气相产物至其使用点的系统和方法
公开(公告)号：TW392050B
公开(公告)日：2000-06-01
申请号：TW088105425
申请日：1999-04-06
申请人：液態空氣喬治斯克勞帝方法研究開發股份有限公司
发明人：喬瑟夫E.帕加尼西 , 班哲明J.傑西克 , 理查伍迪查斯 , 王化奇 , 橫木和男 , 富田真司
IPC分类号： F17D
CPC分类号： C01B17/453 , C01B7/01 , C01B7/093 , C01B7/191 , C01B7/24 , C01B21/22 , C01C1/003 , C01C1/006 , F17C7/04 , F25J3/08 , F25J2200/02 , F25J2200/04 , F25J2200/74 , F25J2215/80 , F25J2280/02 , F25J2290/60 , F25J2290/62 , Y10S62/924
摘要：本發明提供一種輸送蒸氣相產物至使用點的系統和方法，及一種新穎的化學品現場分配系統和方法。該種輸送蒸氣相產物至其使用點的系統包括一儲存瓶，所含有之液態化學品係在其本身蒸氣壓以下，一連接的管柱，其用於接收由儲存瓶流出之液化態化學品，其中該化學品經分餾成為已污染液體重餾份和已純化蒸氣輕餾份，及一個連接至該管柱的導管，其用於由之移除已純化蒸氣輕餾份。該系統係連接至使用點，由之導入已純化蒸氣餾份。本發明特別地應用係在半導體製造時將電子特種氣體輸送至一或多種半導體加工工具。
简体摘要：本发明提供一种输送蒸气相产物至使用点的系统和方法，及一种新颖的化学品现场分配系统和方法。该种输送蒸气相产物至其使用点的系统包括一存储瓶，所含有之液态化学品系在其本身蒸气压以下，一连接的管柱，其用于接收由存储瓶流出之液化态化学品，其中该化学品经分馏成为已污染液体重馏份和已纯化蒸气轻馏份，及一个连接至该管柱的导管，其用于由之移除已纯化蒸气轻馏份。该系统系连接至使用点，由之导入已纯化蒸气馏份。本发明特别地应用系在半导体制造时将电子特种气体输送至一或多种半导体加工工具。

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