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3. 发明专利

TWI441998B 含鹵素氣體之供給裝置及含鹵素氣體之供給方法有权
简体标题：含卤素气体之供给设备及含卤素气体之供给方法
公开(公告)号：TWI441998B
公开(公告)日：2014-06-21
申请号：TW100136314
申请日：2011-10-06
申请人：中央硝子股份有限公司 , CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
发明人：八尾章史 , YAO, AKIFUMI , 梅崎智典 , UMEZAKI, TOMONORI , 中原啟太 , NAKAHARA, KEITA , 武田雄太 , TAKEDA, YUTA
IPC分类号： F17C7/00
CPC分类号： F17C7/00 , F16L55/02736 , F17C13/00 , F17C13/002 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/036 , F17C2227/045 , F17C2260/044 , F17C2260/053 , F17C2270/0518

4. 发明专利

TW200507019A 高純度氨氣體之供應機器與供應方法 APPARATUS AND METHOD FOR FEEDING HIGH-PURITY AMMONIA GAS 审中-公开
简体标题：高纯度氨气体之供应机器与供应方法 APPARATUS AND METHOD FOR FEEDING HIGH-PURITY AMMONIA GAS
公开(公告)号：TW200507019A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：TW093112042
申请日：2004-04-29
申请人：昭和電工股份有限公司 SHOWA DENKO KABUSHIKI KAISHA
发明人：田口裕康 TAGUCHI, HIROYASU , 小菅靖浩 KOSUGE, YASUHIRO
IPC分类号： H01L
CPC分类号： F16K25/005 , C09K3/10 , C09K2200/0617 , C09K2200/0655 , C09K2200/0667 , C09K2200/067 , C09K2200/0682 , F16J15/122 , F16J2015/0856 , F16K27/00 , F17C5/06 , F17C7/00 , F17C13/04 , F17C2205/0329 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2221/03 , F17C2221/05 , F17C2250/0443 , F17C2250/0626 , F17C2260/053 , F17C2270/0518
摘要：本發明係提供一種腐蝕後不產生裂化，於氣體供給路系內不形成腐蝕生成物、反應生成物之圓筒閥門、壓力調整器、壓力計、質量流動計、管線閥門、濾器等供應機器適度用於氣體圓筒至製造裝置之氣體流路後，不致使高純度氨氣體之純度出現劣化，可更安全、有效之供應，可製造更高性能之半導體裝置之高純度氨氣體供應系統。本發明高純度氨氣體供應機器之特徵係藉由其密封部及／或連接氣體部未含鹵素之樹脂所構成者。使用此高純度氨氣體供給機器後構成供應高純度氨氣體之氣體流路後，不致劣化其氣體純度，可於半導體裝置製造裝置中供應高純度氨氣體者。無選擇圖。
简体摘要：本发明系提供一种腐蚀后不产生裂化，于气体供给路系内不形成腐蚀生成物、反应生成物之圆筒阀门、压力调整器、压力计、质量流动计、管线阀门、滤器等供应机器适度用于气体圆筒至制造设备之气体流路后，不致使高纯度氨气体之纯度出现劣化，可更安全、有效之供应，可制造更高性能之半导体设备之高纯度氨气体供应系统。本发明高纯度氨气体供应机器之特征系借由其密封部及／或连接气体部未含卤素之树脂所构成者。使用此高纯度氨气体供给机器后构成供应高纯度氨气体之气体流路后，不致劣化其气体纯度，可于半导体设备制造设备中供应高纯度氨气体者。无选择图。

5. 发明专利

TW201808789A 用於碳離子植入法中之摻雜物組成物之儲存及負壓輸送审中-公开
简体标题：用于碳离子植入法中之掺杂物组成物之存储及负压输送
公开(公告)号：TW201808789A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106137804
申请日：2013-12-23
申请人：普雷瑟科技股份有限公司 , PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
发明人：辛哈夏威尼 , SINHA, ASHWINI K. , 海德曼道格拉斯 , HEIDERMAN, DOUGLAS C. , 布朗勞伊德 , BROWN, LLOYD ANTHONY , 坎普瑟吉 , CAMPEAU, SERGE , 施貴騰 , SHIH, ROBERT , 盧進龍 , LU, DRAGON , 邱文斌 , CHIU, WEN PIN , 高建綱 , KUO, CHIEN KANG
IPC分类号： C01B3/00 , H01L21/265
CPC分类号： H01L21/265 , C01B3/00 , C01B23/00 , C23C14/34 , F17C1/005 , F17C2201/0109 , F17C2201/0114 , F17C2201/035 , F17C2201/058 , F17C2203/0617 , F17C2205/0329 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/035 , F17C2205/0385 , F17C2205/0391 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2225/038 , F17C2260/044 , F17C2270/0518 , F17C2270/0745 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/006 , H01J2237/31701 , Y02E60/321 , Y02E60/324 , Y10T137/2012
摘要：本發明提供一種用於含CO之摻雜物氣體組成物的輸送之供應源。該組成物係包括控制量之諸如氙及氫的稀釋劑氣體混合物，該等氣體各於控制體積比下提供，以確保最佳碳離子植入法性能。該組成物可包裝成由含CO之供應源及稀釋劑混合物供應源所組成的摻雜劑氣體套組。或該組成物可選擇的經預先混合且自單一來源導入，該單一來源可因應所達負壓條件啟動，使摻雜物混合物自該裝置內部體積沿排流通道流入該離子來源設備內。
简体摘要：本发明提供一种用于含CO之掺杂物气体组成物的输送之供应源。该组成物系包括控制量之诸如氙及氢的稀释剂气体混合物，该等气体各于控制体积比下提供，以确保最佳碳离子植入法性能。该组成物可包装成由含CO之供应源及稀释剂混合物供应源所组成的掺杂剂气体套组。或该组成物可选择的经预先混合且自单一来源导入，该单一来源可因应所达负压条件启动，使掺杂物混合物自该设备内部体积沿排流信道流入该离子来源设备内。

6. 发明专利

TW201713892A 多重密封貯氣瓶审中-公开
简体标题：多重密封贮气瓶
公开(公告)号：TW201713892A
公开(公告)日：2017-04-16
申请号：TW105125844
申请日：2016-08-12
申请人：林德股份公司 , LINDE AKTIENGESELLSCHAFT
发明人：諾柏托比斯 , NEUBER, TOBIAS , 史倍瑟沃夫甘 , SPEISER, WOLFGANG
IPC分类号： F17C13/06
CPC分类号： F17C1/00 , F17C2201/058 , F17C2205/032 , F17C2205/0373 , F17C2221/011 , F17C2221/013 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/03 , F17C2221/031 , F17C2260/036 , F17C2270/0736
摘要：本發明揭示一種用於一貯氣瓶之連接配置，該貯氣瓶具有含一側面及包含一氣體出口之一頂面之一瓶頸，該連接配置包括：一刺穿外殼，其用於接納該貯氣瓶之該瓶頸，該刺穿外殼包括一開口、一側壁及一底壁；一刺穿部件，其配置於該刺穿外殼中以用於刺穿該氣體出口；一頸圈，其配置於該貯氣瓶之該瓶頸上，該頸圈具有在該貯氣瓶之該頂面上方延伸且界定一內部空間之一側面；一初級密封元件，其配置於該內部空間中以與該貯氣瓶之該頂面形成一密封；其中該初級密封元件經配置使得一間隔形成於該頸圈與該初級密封元件之間；其中該連接配置之特徵在於：一密封支撐元件配置於該刺穿外殼中，該密封支撐元件沿該刺穿外殼之該開口之方向界定具有一開口之一腔室，使得當將該刺穿部件接納於該頸圈中以刺穿該氣體出口且由該密封支撐元件將該初級密封元件回應於與該刺穿部件形成一密封之一徑向膨脹拘束於此腔室中時，該初級密封元件填充該腔室，其中該初級密封元件及該頸圈未附接至該刺穿部件及該密封支撐元件。
简体摘要：本发明揭示一种用于一贮气瓶之连接配置，该贮气瓶具有含一侧面及包含一气体出口之一顶面之一瓶颈，该连接配置包括：一刺穿外壳，其用于接纳该贮气瓶之该瓶颈，该刺穿外壳包括一开口、一侧壁及一底壁；一刺穿部件，其配置于该刺穿外壳中以用于刺穿该气体出口；一颈圈，其配置于该贮气瓶之该瓶颈上，该颈圈具有在该贮气瓶之该顶面上方延伸且界定一内部空间之一侧面；一初级密封组件，其配置于该内部空间中以与该贮气瓶之该顶面形成一密封；其中该初级密封组件经配置使得一间隔形成于该颈圈与该初级密封组件之间；其中该连接配置之特征在于：一密封支撑组件配置于该刺穿外壳中，该密封支撑组件沿该刺穿外壳之该开口之方向界定具有一开口之一腔室，使得当将该刺穿部件接纳于该颈圈中以刺穿该气体出口且由该密封支撑组件将该初级密封组件回应于与该刺穿部件形成一密封之一径向膨胀拘束于此腔室中时，该初级密封组件填充该腔室，其中该初级密封组件及该颈圈未附接至该刺穿部件及该密封支撑组件。

7. 发明专利

TW201219306A 氟氣體設備 FLUORINE GAS PLANT 审中-公开
简体标题：氟气体设备 FLUORINE GAS PLANT
公开(公告)号：TW201219306A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：TW100130909
申请日：2011-08-29
申请人：首威公司
发明人：全浩振 , 迪安那歐利維羅 , 普里狄肯特彼德 , 摩瑞里菲立普
IPC分类号： C01B
CPC分类号： C01B7/20 , F17C13/084 , F17C2201/0104 , F17C2203/0607 , F17C2203/0643 , F17C2203/0648 , F17C2205/0107 , F17C2205/013 , F17C2205/0142 , F17C2205/0157 , F17C2205/0323 , F17C2221/01 , F17C2221/014 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/033 , F17C2223/035 , F17C2227/0157 , F17C2260/044 , F17C2265/025 , F17C2270/0518
摘要：一種氟氣體設備包括一氟產生單元(1)，該氟氣體設備包括幾個另外的過程步驟，像原材料的供應、F2-純化-階段以及廢氣減少-系統，該氟產生單元被連接到一氟供應管線(2)上，該氟供應管線具有一氟使用點(3)，以及連接到所述供應管線上的一永久性氟儲存單元(4)，其中所述氟儲存單元包括多個空心體。
简体摘要：一种氟气体设备包括一氟产生单元(1)，该氟气体设备包括几个另外的过程步骤，像原材料的供应、F2-纯化-阶段以及废气减少-系统，该氟产生单元被连接到一氟供应管线(2)上，该氟供应管线具有一氟使用点(3)，以及连接到所述供应管在线的一永久性氟存储单元(4)，其中所述氟存储单元包括多个空心体。

8. 发明专利

TWI346603B 瓦斯釘槍用之瓦斯罐及用於該瓦斯罐之內袋接頭結構失效
简体标题：瓦斯钉枪用之瓦斯罐及用于该瓦斯罐之内袋接头结构
公开(公告)号：TWI346603B
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：TW097150330
申请日：2008-12-23
申请人：碩賢企業有限公司
发明人：何玉釧
IPC分类号： B25C , F17C
CPC分类号： F17C1/00 , F17C13/04 , F17C2201/0119 , F17C2201/018 , F17C2201/058 , F17C2203/0617 , F17C2203/0636 , F17C2203/0646 , F17C2205/0305 , F17C2205/0323 , F17C2205/0352 , F17C2205/0382 , F17C2205/0394 , F17C2209/22 , F17C2209/221 , F17C2209/234 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/035 , F17C2250/0636 , F17C2260/01 , F17C2270/0545
摘要：一種瓦斯釘槍用之瓦斯罐及用於該瓦斯罐之內袋接頭結構，該瓦斯罐包含內置一內袋之筒體，該內袋內裝瓦斯氣體，一蓋體遮蔽筒體之一開放端口，一接頭連結該內袋與該蓋體，且包含一管座與一套管，該管座與內袋結合，且具有一穿孔及於底面設有一拘束面，該套管穿設於穿孔中，且可於一未組裝位置與一組裝位置之間轉動，套管末端設有一貼合面，該套管位於該未組裝位置時可相對該管座分離，該套管位於該組裝位置時，其貼合面與該管座之拘束面接觸，且不可相對該管座分離，一氣嘴組設於蓋體上，用以將內袋中的瓦斯氣體經由該接頭引至外部。
简体摘要：一种瓦斯钉枪用之瓦斯罐及用于该瓦斯罐之内袋接头结构，该瓦斯罐包含内置一内袋之筒体，该内袋内装瓦斯气体，一盖体屏蔽筒体之一开放端口，一接头链接该内袋与该盖体，且包含一管座与一套管，该管座与内袋结合，且具有一穿孔及于底面设有一拘束面，该套管穿设于穿孔中，且可于一未组装位置与一组装位置之间转动，套管末端设有一贴合面，该套管位于该未组装位置时可相对该管座分离，该套管位于该组装位置时，其贴合面与该管座之拘束面接触，且不可相对该管座分离，一气嘴组设于盖体上，用以将内袋中的瓦斯气体经由该接头引至外部。

9. 发明专利

TW201028363A 用於氣體輸送之容器束（ｂｕｎｄｌｅ）拖車 BUNDLE TRAILER FOR GAS DELIVERY 审中-公开
简体标题：用于气体输送之容器束（ｂｕｎｄｌｅ）拖车 BUNDLE TRAILER FOR GAS DELIVERY
公开(公告)号：TW201028363A
公开(公告)日：2010-08-01
申请号：TW098132324
申请日：2009-09-24
申请人：首威氟化物有限公司
发明人：匹特羅夫麥克 , 朴陸煥 , 趙佑鎮
IPC分类号： B67D
CPC分类号： F17C13/083 , F17C13/084 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2201/035 , F17C2201/054 , F17C2201/056 , F17C2205/0107 , F17C2205/0111 , F17C2205/013 , F17C2205/0138 , F17C2205/0142 , F17C2205/0146 , F17C2205/0157 , F17C2205/0326 , F17C2221/01 , F17C2221/03 , F17C2250/0447 , F17C2260/01 , F17C2265/04 , F17C2265/063 , F17C2270/0171 , Y10T137/474 , Y10T137/4874 , Y10T137/6855
摘要：在此披露了用於多個容器之容器束拖車，該容器束拖車包括（i）一支撐框架，在該支撐框架上定位有多個容器束；（ii）多個容器束，每容器束包括：一集容器束框架、包含一化學品之多個容器、以及至少一個容器束閥門，該容器束閥門用於控制在該等容器中的化學品之輸送；（iii）至少一個拖車閥門；以及（iv）用於固定該容器束的至少一個夾具。該容器束拖車能夠以良好的靈活性、高安全性以及低成本輸送高純度的吸濕的、腐蝕性之化學品，如元素氟以及其混合物。
简体摘要：在此披露了用于多个容器之容器束拖车，该容器束拖车包括（i）一支撑框架，在该支撑框架上定位有多个容器束；（ii）多个容器束，每容器束包括：一集容器束框架、包含一化学品之多个容器、以及至少一个容器束阀门，该容器束阀门用于控制在该等容器中的化学品之输送；（iii）至少一个拖车阀门；以及（iv）用于固定该容器束的至少一个夹具。该容器束拖车能够以良好的灵活性、高安全性以及低成本输送高纯度的吸湿的、腐蚀性之化学品，如元素氟以及其混合物。

10. 发明专利

TW201024050A 瓦斯釘槍用之瓦斯罐及用於該瓦斯罐之內袋接頭結構失效
简体标题：瓦斯钉枪用之瓦斯罐及用于该瓦斯罐之内袋接头结构
公开(公告)号：TW201024050A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：TW097150330
申请日：2008-12-23
申请人：碩賢企業有限公司
发明人：何玉釧
IPC分类号： B25D
CPC分类号： F17C1/00 , F17C13/04 , F17C2201/0119 , F17C2201/018 , F17C2201/058 , F17C2203/0617 , F17C2203/0636 , F17C2203/0646 , F17C2205/0305 , F17C2205/0323 , F17C2205/0352 , F17C2205/0382 , F17C2205/0394 , F17C2209/22 , F17C2209/221 , F17C2209/234 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/035 , F17C2250/0636 , F17C2260/01 , F17C2270/0545
摘要：一種瓦斯釘槍用之瓦斯罐及用於該瓦斯罐之內袋接頭結構，該瓦斯罐包含內置一內袋之筒體，該內袋內裝瓦斯氣體，一蓋體遮蔽筒體之一開放端口，一接頭連結該內袋與該蓋體，且包含一管座與一套管，該管座與內袋結合，且具有一穿孔及於底面設有一拘束面，該套管穿設於穿孔中，且可於一未組裝位置與一組裝位置之間轉動，套管末端設有一貼合面，該套管位於該未組裝位置時可相對該管座分離，該套管位於該組裝位置時，其貼合面與該管座之拘束面接觸，且不可相對該管座分離，一氣嘴組設於蓋體上，用以將內袋中的瓦斯氣體經由該接頭引至外部。
简体摘要：一种瓦斯钉枪用之瓦斯罐及用于该瓦斯罐之内袋接头结构，该瓦斯罐包含内置一内袋之筒体，该内袋内装瓦斯气体，一盖体屏蔽筒体之一开放端口，一接头链接该内袋与该盖体，且包含一管座与一套管，该管座与内袋结合，且具有一穿孔及于底面设有一拘束面，该套管穿设于穿孔中，且可于一未组装位置与一组装位置之间转动，套管末端设有一贴合面，该套管位于该未组装位置时可相对该管座分离，该套管位于该组装位置时，其贴合面与该管座之拘束面接触，且不可相对该管座分离，一气嘴组设于盖体上，用以将内袋中的瓦斯气体经由该接头引至外部。

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