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    • 5. 发明专利
    • 微流體驅動裝置及其製法
    • 微流体驱动设备及其制法
    • TWI269776B
    • 2007-01-01
    • TW094102500
    • 2005-01-27
    • 國立成功大學 NATIONAL CHENG KUNG UNIVERSITY
    • 李國賓 LEE, GWO BIN王志豪
    • B81BH01LG03F
    • F16K99/0001F16K99/0015F16K99/0057F16K2099/008
    • 一種微流體驅動裝置配合一可調整脈衝頻率之脈衝式氣壓源以驅動微流體流動,包含:一水平之下基板、一形成於該下基板頂面之流體通道、一蓋覆於該流體通道上之驅動膜、一蓋覆於驅動膜上方之上基板,及一呈連續圓弧彎曲狀地形成於該上基板之底面的氣體通道。該流體通道具有一供微流體流入之一進流孔,及一供微流體流出之出流孔。該氣體通道與流體通道間形成複數間隔之交會處,氣體通道具有一連接至所述脈衝式氣壓源的氣體進出孔。藉此,所述脈衝氣壓源注入氣體通道內,並依序壓迫該等交會處處之驅動膜向下壓抵流體通道內之微流體往出流孔方向流動。
    • 一种微流体驱动设备配合一可调整脉冲频率之脉冲式气压源以驱动微流体流动,包含:一水平之下基板、一形成于该下基板顶面之流体信道、一盖覆于该流体信道上之驱动膜、一盖覆于驱动膜上方之上基板,及一呈连续圆弧弯曲状地形成于该上基板之底面的气体信道。该流体信道具有一供微流体流入之一进流孔,及一供微流体流出之出流孔。该气体信道与流体信道间形成复数间隔之交会处,气体信道具有一连接至所述脉冲式气压源的气体进出孔。借此,所述脉冲气压源注入气体信道内,并依序压迫该等交会处处之驱动膜向下压抵流体信道内之微流体往出流孔方向流动。