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    • 3. 发明专利
    • 阻斷閥與原料容器用阻斷閥
    • 阻断阀与原料容器用阻断阀
    • TW201641858A
    • 2016-12-01
    • TW105101230
    • 2016-01-15
    • 開滋SCT股份有限公司KITZ SCT CORPORATION
    • 小山剛記KOYAMA, GOKI
    • F16K11/22F16K27/00F16K49/00
    • F16K11/22F16K1/36F16K7/16F16K27/003F16K27/0236F16K41/00F16K49/00
    • 本發明提供一種阻斷閥及原料容器用阻斷閥,其具有在內部不存在液體材料或洗淨液等之滯留部的構造,並且可在短時間內進行沖洗處理,且適於高純度的液體材料之使用。 阻斷閥(10),係連結與阻斷體(11)之供應路徑(14)連通的主流路(18)之一方和對前述阻斷體(11)配設成傾斜狀態的第1隔膜閥(12)之第1極小埠部(21),且連結前述主流路(18)之另一方和第2隔膜閥(13)之第2極小埠部(22),以供應埠部(15)來與前述第2隔膜閥(13)之埠口(25)連通,並且以連通路(19)來連結前述第1隔膜閥(12)之接合埠部(23)和垂直方向的連接管路(16),該連通路(19),係設成傾斜狀的傾斜流路。
    • 本发明提供一种阻断阀及原料容器用阻断阀,其具有在内部不存在液体材料或洗净液等之滞留部的构造,并且可在短时间内进行冲洗处理,且适于高纯度的液体材料之使用。 阻断阀(10),系链接与阻断体(11)之供应路径(14)连通的主流路(18)之一方和对前述阻断体(11)配设成倾斜状态的第1隔膜阀(12)之第1极小端口部(21),且链接前述主流路(18)之另一方和第2隔膜阀(13)之第2极小端口部(22),以供应端口部(15)来与前述第2隔膜阀(13)之端口口(25)连通,并且以连通路(19)来链接前述第1隔膜阀(12)之接合端口部(23)和垂直方向的连接管路(16),该连通路(19),系设成倾斜状的倾斜流路。
    • 9. 发明专利
    • 流體控制閥
    • 流体控制阀
    • TW201502403A
    • 2015-01-16
    • TW103102582
    • 2014-01-24
    • MKS公司MKS INSTRUMENTS, INC.
    • 盧卡斯 保羅LUCAS, PAUL D.席爾 戈登HILL, GORDON皮薩拉 傑羅斯洛PISERA, JAROSLAW W.
    • F16K3/32C23C16/455
    • F16K49/00F16K1/2261F16K3/10F16K49/007Y10T137/0419Y10T137/6416
    • 一閥組裝件,包含:一閥本體包含一可讓一第一氣體傳送通過該閥組裝件的通道;一閥流量控制元件,相對於該閥本體,在一開啟位置以及一關閉位置之間係可移動,其中在開啟位置係以一最大流量流通過流通過該通道,其中在關閉位置係以一最小流量流通過該通道,該閥流量控制元件係成形俾使提供一可讓該第一氣體流通過在該閥本體以及該閥流量控制元件之間的控制間隙,且該控制間隙的尺寸依據該閥流量控制元件相對於該閥本體的位置而變化;以及一氣體注射器配置,當該閥組裝件被使用於控制該第一氣體流通過該通道的流量時,該氣體注射器配置係用於選擇地注射一第二氣體進入該控制間隙。當該閥流量控制元件係在或接近於其關閉位置時,該第二氣體的注射助於將沉積在閥控制元件上的冷凝物最小化,也降低閥的關閉流導(closed conductance ofthe valve)。
    • 一阀组装件,包含:一阀本体包含一可让一第一气体发送通过该阀组装件的信道;一阀流量控件,相对于该阀本体,在一打开位置以及一关闭位置之间系可移动,其中在打开位置系以一最大流量流通过流通过该信道,其中在关闭位置系以一最小流量流通过该信道,该阀流量控件系成形俾使提供一可让该第一气体流通过在该阀本体以及该阀流量控件之间的控制间隙,且该控制间隙的尺寸依据该阀流量控件相对于该阀本体的位置而变化;以及一气体注射器配置,当该阀组装件被使用于控制该第一气体流通过该信道的流量时,该气体注射器配置系用于选择地注射一第二气体进入该控制间隙。当该阀流量控件系在或接近于其关闭位置时,该第二气体的注射助于将沉积在阀控件上的冷凝物最小化,也降低阀的关闭流导(closed conductance ofthe valve)。