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    • 9. 发明专利
    • X射線電子束產生器及其陰極 X-RAY GENERATION DEVICE AND CATHODE THEREOF
    • X射线电子束产生器及其阴极 X-RAY GENERATION DEVICE AND CATHODE THEREOF
    • TW201128678A
    • 2011-08-16
    • TW099119880
    • 2010-06-18
    • 能資國際股份有限公司賈淑瑜
    • 李普仁藍文厚
    • H01J
    • H01J1/304H01J35/065H01J35/14H01J2235/062H01J2235/068
    • 本發明提供一種X射線電子束產生器及其陰極。該X射線電子束產生器包含該陰極、一聚焦裝置、一陽極靶以及一玻璃容器。該陰極包含一容器及一電子束發射體。該容器具有一基座及一側壁,該側壁環繞該基座,且該基座及該側壁界定一凹槽。該電子束發射體包含至少一金屬單元,各該至少一金屬單元被以化學氣相沉積法成長一碳膜層,且各該至少一金屬單元被置放於該凹槽之一底部。該至少一金屬單元與該X射線電子束產生器之一外部金屬單元呈電性連接。該玻璃容器依序置放有該陰極、該聚焦裝置及該陽極靶。各該至少一碳膜層面向該陽極靶。該玻璃容器具有一閥門及一窗口,該閥門用以將該玻璃容器抽成真空,該窗口用以射出一X射線。
    • 本发明提供一种X射线电子束产生器及其阴极。该X射线电子束产生器包含该阴极、一聚焦设备、一阳极靶以及一玻璃容器。该阴极包含一容器及一电子束发射体。该容器具有一基座及一侧壁,该侧壁环绕该基座,且该基座及该侧壁界定一凹槽。该电子束发射体包含至少一金属单元,各该至少一金属单元被以化学气相沉积法成长一碳膜层,且各该至少一金属单元被置放于该凹槽之一底部。该至少一金属单元与该X射线电子束产生器之一外部金属单元呈电性连接。该玻璃容器依序置放有该阴极、该聚焦设备及该阳极靶。各该至少一碳膜层面向该阳极靶。该玻璃容器具有一阀门及一窗口,该阀门用以将该玻璃容器抽成真空,该窗口用以射出一X射线。