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1. 发明专利

TW200946811A 具備氣化器的氣體供給裝置审中-公开
简体标题：具备气化器的气体供给设备
公开(公告)号：TW200946811A
公开(公告)日：2009-11-16
申请号：TW098109369
申请日：2009-03-23
申请人：富士金股份有限公司
发明人：長田厚 , 永瀨正明 , 日高敦志 , 平田薰 , 松本篤諮 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： F17C , G05D
CPC分类号： B01J4/02 , B01B1/005 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , B01J2219/00191 , B01J2219/00198 , B01J2219/00213 , B01J2219/00231 , C23C16/4481 , C23C16/4485 , C23C16/45561 , F02D19/023 , F02D19/027 , F02M21/0239 , F02M21/06 , Y02T10/32 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606
摘要： [課題]提供一種氣體供給裝置，可達成具備氣化器的氣體供給裝置的節能化及裝置的小型化，並且不需要嚴格的氣化器側的溫度控制就可穩定且簡單地進行高精度的氣體流量控制。[技術內容]一種具備氣化器的氣體供給裝置，由：液體收容槽筒、及將液體氣化的氣化器、及將氣化氣體的流量調整用的高溫型壓力式流量控制裝置、及將氣化器及高溫型壓力式流量控制裝置及與這些連接的配管路的所期部分加熱用的加熱裝置所構成。
简体摘要： [课题]提供一种气体供给设备，可达成具备气化器的气体供给设备的节能化及设备的小型化，并且不需要严格的气化器侧的温度控制就可稳定且简单地进行高精度的气体流量控制。[技术内容]一种具备气化器的气体供给设备，由：液体收容槽筒、及将液体气化的气化器、及将气化气体的流量调整用的高温型压力式流量控制设备、及将气化器及高温型压力式流量控制设备及与这些连接的配管路的所期部分加热用的加热设备所构成。

2. 发明专利

TW200927639A 具有整體裝置之微流體結構 MICROFLUDIC STRUCTURES WITH INTEGRATED DEVICES 审中-公开
简体标题：具有整体设备之微流体结构 MICROFLUDIC STRUCTURES WITH INTEGRATED DEVICES
公开(公告)号：TW200927639A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：TW096150688
申请日：2007-12-27
申请人：康寧公司 CORNING INCORPORATED
发明人：歐力位羅貝特 OLIVIER LOBET , 加杷保羅就極馬奎 GASPAR PAULO JORGE MARQUES , 羅南坦蓋 RONAN TANGUY
IPC分类号： B81C
CPC分类号： B81B1/00 , B01F5/14 , B01F13/0059 , B01F13/0818 , B01F13/0827 , B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00824 , B01J2219/00831 , B01J2219/0086 , B01J2219/00873 , B01J2219/00889 , B01J2219/00891 , B01J2219/0093 , B01L3/5027 , B01L7/00 , B81B2201/058 , F04C2/18 , Y10T29/49826 , Y10T137/6606 , Y10T137/8593
摘要：一種微流體裝置具有玻璃,玻璃陶瓷或陶瓷結構,該結構包括一個或多個通道界定於其中,以及具有至少一個第一通道可透過至少一個第一端埠進出,其中第一通道包含至少一個置放在其中的固狀物件,該固狀物件包括與玻璃,玻璃陶瓷或陶瓷結構不同熱膨脹係數的材料,該固狀物件是放在第一通道,在室溫下實質上沒有任何來自此通道內表面的壓應力。
简体摘要：一种微流体设备具有玻璃,玻璃陶瓷或陶瓷结构,该结构包括一个或多个信道界定于其中,以及具有至少一个第一信道可透过至少一个第一端端口进出,其中第一信道包含至少一个置放在其中的固状对象,该固状对象包括与玻璃,玻璃陶瓷或陶瓷结构不同热膨胀系数的材料,该固状对象是放在第一信道,在室温下实质上没有任何来自此信道内表面的压应力。

3. 发明专利

TW200422546A 具有加熱器之提動閥 POPPET VALVE WITH HEATER 审中-公开
简体标题：具有加热器之提动阀 POPPET VALVE WITH HEATER
公开(公告)号：TW200422546A
公开(公告)日：2004-11-01
申请号：TW092127200
申请日：2003-10-01
申请人： SMC股份有限公司 SMC CORPORATION
发明人：神育男 KANZAKA, IKUO , 福田守 FUKUDA, MAMORU
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F16K31/122 , F16K49/002 , Y10T137/6525 , Y10T137/6606
摘要：本發明係提供一種具有加熱器之提動閥，係將加熱閥構件之加熱器設置在該閥構件以外的場所，不論開關位置可經常以該加熱器加熱閥構件。該具有加熱器之提動閥，係具備：閥殼10，該閥殼10具有連結主閥口11、12間的流路14中的閥座15；開關該閥座15的閥構件13；及連結該閥構件13與活塞21的活塞桿16，在該閥殼10之內部設置圓筒形發熱構件30，並內設第1加熱器31，藉由自由伸縮的傳熱構件35使該發熱構件30與閥構件13的受熱構件33相互連結，不論其開關位置皆可經上述傳熱構件35經常加熱該閥構件13，且當該閥構件13開放時，構成使上述受熱構件33與發熱構件30接觸進行直接加熱。
简体摘要：本发明系提供一种具有加热器之提动阀，系将加热阀构件之加热器设置在该阀构件以外的场所，不论开关位置可经常以该加热器加热阀构件。该具有加热器之提动阀，系具备：阀壳10，该阀壳10具有链接主阀口11、12间的流路14中的阀座15；开关该阀座15的阀构件13；及链接该阀构件13与活塞21的活塞杆16，在该阀壳10之内部设置圆筒形发热构件30，并内设第1加热器31，借由自由伸缩的传热构件35使该发热构件30与阀构件13的受热构件33相互链接，不论其开关位置皆可经上述传热构件35经常加热该阀构件13，且当该阀构件13开放时，构成使上述受热构件33与发热构件30接触进行直接加热。

4. 发明专利

TW561229B 帶有溶劑吹掃的化學品運送箱有权
简体标题：带有溶剂吹扫的化学品运送箱
公开(公告)号：TW561229B
公开(公告)日：2003-11-11
申请号：TW092100438
申请日：2003-01-09
申请人：氣體產品及化學品股份公司
发明人：查理麥克伯特奇兒 , 馬汀肯斯平坦倪達馬丁尼茲 , 湯瑪斯安得魯斯坦多 , 吉爾維凡哥 , 大衛詹姆士西維
IPC分类号： H01L , F17C , B67D
CPC分类号： F17C13/04 , B67D7/0272 , C23C16/448 , C23C16/45561 , F17C2203/0329 , F17C2203/0643 , F17C2205/0146 , F17C2205/0326 , F17C2205/0329 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2223/047 , F17C2227/0304 , F17C2227/044 , F17C2250/032 , F17C2250/036 , F17C2250/0413 , F17C2250/0417 , F17C2250/0434 , F17C2250/0491 , F17C2250/0495 , F17C2260/013 , F17C2260/015 , F17C2260/016 , F17C2265/017 , F17C2270/0518 , F17C2270/0545 , Y10T137/0419 , Y10T137/0424 , Y10T137/3127 , Y10T137/4259 , Y10T137/6606 , Y10T137/87877 , Y10T137/87893
摘要：本發明是貯存並向半導體製造的加工器具提供低蒸氣壓的製程化學品的裝置，其包括：a)用於貯存低蒸氣壓的製程化學品的散裝容器；b)用於向加工器具輸送製程化學品的操作容器；c)用於由散裝容器向操作容器提供製程化學品的第一歧管；d)含有一定數量的溶劑的溶劑容器；e)用於由操作容器向加工器具提供製程化學品的第二歧管。還涉及使用所述裝置的方法。
简体摘要：本发明是贮存并向半导体制造的加工器具提供低蒸气压的制程化学品的设备，其包括：a)用于贮存低蒸气压的制程化学品的散装容器；b)用于向加工器具输送制程化学品的操作容器；c)用于由散装容器向操作容器提供制程化学品的第一歧管；d)含有一定数量的溶剂的溶剂容器；e)用于由操作容器向加工器具提供制程化学品的第二歧管。还涉及使用所述设备的方法。

5. 发明专利

TW200301808A 帶有溶劑吹掃的化學品運送箱 Cabinet for chemical delivery with solvent purge 有权
简体标题：带有溶剂吹扫的化学品运送箱 Cabinet for chemical delivery with solvent purge
公开(公告)号：TW200301808A
公开(公告)日：2003-07-16
申请号：TW092100438
申请日：2003-01-09
申请人：氣體產品及化學品股份公司 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
发明人：查理.麥克.伯特奇兒 , 馬汀.肯斯平坦倪達.馬丁尼茲 , 湯瑪斯.安得魯.斯坦多 , 吉爾.維凡哥 , 大衛.詹姆士.西維
IPC分类号： H01L , F17C , B67D
CPC分类号： F17C13/04 , B67D7/0272 , C23C16/448 , C23C16/45561 , F17C2203/0329 , F17C2203/0643 , F17C2205/0146 , F17C2205/0326 , F17C2205/0329 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2223/047 , F17C2227/0304 , F17C2227/044 , F17C2250/032 , F17C2250/036 , F17C2250/0413 , F17C2250/0417 , F17C2250/0434 , F17C2250/0491 , F17C2250/0495 , F17C2260/013 , F17C2260/015 , F17C2260/016 , F17C2265/017 , F17C2270/0518 , F17C2270/0545 , Y10T137/0419 , Y10T137/0424 , Y10T137/3127 , Y10T137/4259 , Y10T137/6606 , Y10T137/87877 , Y10T137/87893
摘要：本發明是貯存並向半導體製造的加工器具提供低蒸氣壓的製程化學品的裝置，其包括：a)用於貯存低蒸氣壓的製程化學品的散裝容器；b)用於向加工器具輸送製程化學品的操作容器；c)用於由散裝容器向操作容器提供製程化學品的第一歧管；d)含有一定數量的溶劑的溶劑容器；e)用於由操作容器向加工器具提供製程化學品的第二歧管。還涉及使用所述裝置的方法。
简体摘要：本发明是贮存并向半导体制造的加工器具提供低蒸气压的制程化学品的设备，其包括：a)用于贮存低蒸气压的制程化学品的散装容器；b)用于向加工器具输送制程化学品的操作容器；c)用于由散装容器向操作容器提供制程化学品的第一歧管；d)含有一定数量的溶剂的溶剂容器；e)用于由操作容器向加工器具提供制程化学品的第二歧管。还涉及使用所述设备的方法。

6. 发明专利

TWI385121B 氟氣體的製造方法失效
简体标题：氟气体的制造方法
公开(公告)号：TWI385121B
公开(公告)日：2013-02-11
申请号：TW094132898
申请日：2005-09-22
申请人：昭和電工股份有限公司 , SHOWA DENKO K. K.
发明人：岡正和 , OKA, MASAKAZU , 福世知行 , 鳥巢純一 , TORISU, JUNICHI
IPC分类号： C01B7/20 , B01J19/24
CPC分类号： B01J7/00 , B01J19/2495 , B01J2219/00085 , C01B7/20 , C23C16/4405 , Y10T137/0329 , Y10T137/6525 , Y10T137/6606 , Y10T137/87652

7. 发明专利

TW201209312A 真空用閥 VACUUM VALVE 审中-公开
简体标题：真空用阀 VACUUM VALVE
公开(公告)号：TW201209312A
公开(公告)日：2012-03-01
申请号：TW100117222
申请日：2011-05-17
申请人： SMC股份有限公司
发明人：石垣恆雄 , 小川浩司 , 下田洋己
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/3165 , F16K49/002 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606
摘要：在連結於閥體的軸之內部的加熱器孔內收容插裝式加熱器，將該插裝式加熱器之前端的發熱部配置於上述軸與閥體之連結部的位置，在該連結部中，在上述閥體與軸之相互地相抵接的面的相對之位置形成導通於上述加熱器孔的受熱溝與加壓部，在上述受熱溝形成與上述插裝式加熱器的發熱部之半徑具有相等半徑的圓弧狀溝部分，在將上述發熱部配置於上述受熱溝與加壓部之間的狀態，藉由以螺栓相互地固定上述閥體與軸，使該發熱部被加壓於上述加壓部而以面接觸被密接於上述受熱溝之圓弧狀的溝部分之內周。
简体摘要：在链接于阀体的轴之内部的加热器孔内收容插装式加热器，将该插装式加热器之前端的发热部配置于上述轴与阀体之链接部的位置，在该链接部中，在上述阀体与轴之相互地相抵接的面的相对之位置形成导通于上述加热器孔的受热沟与加压部，在上述受热沟形成与上述插装式加热器的发热部之半径具有相等半径的圆弧状沟部分，在将上述发热部配置于上述受热沟与加压部之间的状态，借由以螺栓相互地固定上述阀体与轴，使该发热部被加压于上述加压部而以面接触被密接于上述受热沟之圆弧状的沟部分之内周。

8. 发明专利

TWI277146B 真空絕熱閥失效
简体标题：真空绝热阀
公开(公告)号：TWI277146B
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：TW093140304
申请日：2004-12-23
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 皆見幸男 MINAMI, YUKIO , 坪田憲士 TSUBOTA, KENJI , 篠原努 SHINOHARA, TSUTOMU , 山路道雄 , 池田信一 , 森本明弘 , 川田幸司 KAWADA, KOJI , 成相敏朗 NARIAI, TOSHIRO
IPC分类号： H01L
CPC分类号： F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
摘要： [發明課題]
本發明係提供一種能夠在高溫狀態下使用於氣體的供給系統或排氣系統，並且藉由優良的絕熱性大幅地使其小型、簡化的真空絕熱閥。
[課題解決手段]
於具備有閥本體和引動器的閥；及收納該閥用的真空絕熱箱所形成的真空絕熱閥中，上述真空絕熱箱(S)是由上面為開放且在側面配備著筒狀真空絕熱配管接受部(J)的角形下部真空外套(S5)；及對該下部真空外套(S5)是從上方嵌合成氣密其下面為開放的角形上部真空外套(S4)所形成。
简体摘要： [发明课题] 本发明系提供一种能够在高温状态下使用于气体的供给系统或排气系统，并且借由优良的绝热性大幅地使其小型、简化的真空绝热阀。 [课题解决手段] 于具备有阀本体和引动器的阀；及收纳该阀用的真空绝热箱所形成的真空绝热阀中，上述真空绝热箱(S)是由上面为开放且在侧面配备着筒状真空绝热配管接受部(J)的角形下部真空外套(S5)；及对该下部真空外套(S5)是从上方嵌合成气密其下面为开放的角形上部真空外套(S4)所形成。

9. 发明专利

TW200413874A 簇團化流體的流量控制方法及使用於此方法的簇團化流體用的流量控制裝置审中-公开
简体标题：簇团化流体的流量控制方法及使用于此方法的簇团化流体用的流量控制设备
公开(公告)号：TW200413874A
公开(公告)日：2004-08-01
申请号：TW093101251
申请日：2004-01-16
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 杉山一彥 SUGIYAMA, KAZUHIKO , 水澤兼悦 MIZUSAWA, KENETU , 高橋榮治 TAKAHASHI, EIJI , 宇野富雄 UNO, TOMIO , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 IKEDA, NOBUKAZU , 永瀨正明 NAGASE, MASAAKI
IPC分类号： G05D , G01F
CPC分类号： H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
摘要：本發明是使用壓力式流量控制裝置，於3～300SCCM程度的流量範圍，以高精度地流量控制供給至真空室等的HF氣體等之簇團化流體。具體而言，針對在將孔隙上游側的壓力P1與孔隙下游側的壓力P2之比P2／P1保持於氣體的臨界壓力以下的狀態，將通過孔隙的氣體的流量Q作為Q＝KP1(其中K為定數)來進行運算之使用流量控制裝置的簇團化流體的流量控制方法，藉由將前述壓力式流量控制裝置加溫至40℃以上的溫度、或在簇團化流體加上稀釋氣體作成分壓以下，來使分子的締結解離，然後使作成單分子狀態的簇團化流體通過前述孔隙來加以流通。
简体摘要：本发明是使用压力式流量控制设备，于3～300SCCM程度的流量范围，以高精度地流量控制供给至真空室等的HF气体等之簇团化流体。具体而言，针对在将孔隙上游侧的压力P1与孔隙下游侧的压力P2之比P2／P1保持于气体的临界压力以下的状态，将通过孔隙的气体的流量Q作为Q＝KP1(其中K为定数)来进行运算之使用流量控制设备的簇团化流体的流量控制方法，借由将前述压力式流量控制设备加温至40℃以上的温度、或在簇团化流体加上稀释气体作成分压以下，来使分子的缔结解离，然后使作成单分子状态的簇团化流体通过前述孔隙来加以流通。

10. 发明专利

TW531618B 流體控制裝置有权
简体标题：流体控制设备
公开(公告)号：TW531618B
公开(公告)日：2003-05-11
申请号：TW091108866
申请日：2002-04-29
申请人： CKD股份有限公司 , 富士金股份有限公司
发明人：星丈治 , 岡部庸之 , 五島憲一 , 小林英雄 , 長屋曉典 , 山路道雄 , 吉川和博 , 川野祐司
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F24H9/1863 , F16K27/003 , F16K49/002 , F24H1/121 , Y10T137/6606 , Y10T137/87885
摘要：使帶狀加熱器11配設於線路A、B之兩側，同時，於該線路 A、B內，在相鄰流體控制機器間中之多處上設置收容帶狀加熱器支撐用夾子(13)之間隙，帶狀加熱器11係為，藉由自其兩側夾持之夾子13而被支撐在線路A、B上。附有加熱器之線路A、B係安裝至裝設有可裝卸於基質構件1之線路支撐構件10。於線路支撐構件10上，係設有朝長邊方向延伸之加熱器插入孔 14，且於該孔 14中插入放熱射線加熱器12。
简体摘要：使带状加热器11配设于线路A、B之两侧，同时，于该线路 A、B内，在相邻流体控制机器间中之多处上设置收容带状加热器支撑用夹子(13)之间隙，带状加热器11系为，借由自其两侧夹持之夹子13而被支撑在线路A、B上。附有加热器之线路A、B系安装至装设有可装卸于基质构件1之线路支撑构件10。于线路支撑构件10上，系设有朝长边方向延伸之加热器插入孔 14，且于该孔 14中插入放热射线加热器12。

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