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2. 发明专利

TW470821B 磁浮軸承控制裝置及渦輪分子泵浦裝置失效
简体标题：磁浮轴承控制设备及涡轮分子泵浦设备
公开(公告)号：TW470821B
公开(公告)日：2002-01-01
申请号：TW087119954
申请日：1998-12-02
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：平明子 , 千野宏之 , 中澤敏治 , 宮本松太郎
IPC分类号： F16C , F04B
CPC分类号： F16C32/0446 , F04D19/048 , F16C2360/45
摘要：本發明提供一種即使連接於磁浮軸承與控制器的電纜線的長度有所變化，亦能夠穩定地控制被浮上體於目標位置的磁浮軸承控制裝置及渦輪分子泵浦裝置之技術創新，係具備：支撐被浮上體浮起的電磁鐵;檢出被浮上體的浮起位置的感測器上Z1與Z2;及為依據感測器的信號而支撐被浮上體浮起於預定位置，而中介電纜線供應感測信號及激磁電流於感測器及電磁鐵的控制器等所構成，其特徵在該控制器為具備有: 供應交流信號於感測器Z1、Z2的信號源11；和經由差動驅動而中介電纜線C供應該信號源11的信號於配置在電磁鐵近傍的兩個串列連接式感測元件Z1、Z2兩端的感測驅動電路12;並藉由平衡配置電纜線而消除因電纜線之長度所生的靜電容量。此外，本發明亦關於渦輪和控制器作威一體的渦輪分子泵浦裝置。
简体摘要：本发明提供一种即使连接于磁浮轴承与控制器的电缆线的长度有所变化，亦能够稳定地控制被浮上体于目标位置的磁浮轴承控制设备及涡轮分子泵浦设备之技术创新，系具备：支撑被浮上体浮起的电磁铁;检出被浮上体的浮起位置的传感器上Z1与Z2;及为依据传感器的信号而支撑被浮上体浮起于预定位置，而中介电缆线供应传感信号及激磁电流于传感器及电磁铁的控制器等所构成，其特征在该控制器为具备有: 供应交流信号于传感器Z1、Z2的信号源11；和经由差动驱动而中介电缆线C供应该信号源11的信号于配置在电磁铁近傍的两个串行连接式传感组件Z1、Z2两端的传感驱动电路12;并借由平衡配置电缆线而消除因电缆线之长度所生的静电容量。此外，本发明亦关于涡轮和控制器作威一体的涡轮分子泵浦设备。

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