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1. 发明专利

TWI464106B 裝置、系統及具有一撓曲之電子裝置、及用於形成一撓曲之方法有权
简体标题：设备、系统及具有一挠曲之电子设备、及用于形成一挠曲之方法
公开(公告)号：TWI464106B
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：TW100141470
申请日：2011-11-14
申请人：數位光學MEMS有限公司 , DIGITALOPTICS CORPORATION MEMS
发明人：古提瑞茲羅曼C , GUTIERREZ, ROMAN C. , 加恩安庫爾 , JAIN, ANKUR
IPC分类号： B81B5/00 , B81B7/02 , G02B7/04
CPC分类号： H02N2/005 , B81B7/0006 , B81B2201/033 , B81B2203/0154 , B81B2207/07

2. 发明专利

TW201204625A 微振動裝置用的結合構造 ANBINDUNGSSTRUKTUR FUER MIKROSCHWINGENEINRICHTUNGEN 审中-公开
简体标题：微振动设备用的结合构造 ANBINDUNGSSTRUKTUR FUER MIKROSCHWINGENEINRICHTUNGEN
公开(公告)号：TW201204625A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：TW100116984
申请日：2011-05-16
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司
发明人：平特史堤方 , 都耶安德亞斯 , 慕裘約克 , 雷斯提恩鄒坦
IPC分类号： B81B , G02B , G01B
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B7/008 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154
摘要：一種微振動裝置(特別是微振動面鏡)用的結合構造，其中該結合構造(1)至少可間接地與一微振動構造(4)及一彈簧元件(3)，以測量微振動構造(4)的扭轉，該結合構造包含：──至少一個(特別是至少二個，且宜三個)腿(2a)(2b)(2c)，設成平行於該微振動構造的旋轉軸(T)，以及至少另一腿(2’)，設成垂直於該旋轉軸(T)。其中該結合構造(1)平行於旋轉軸(T)的延伸距離至少為該結合構造(1)垂直於該旋轉軸(T)的延伸距離的三倍，且至少有一電阻元件(5a)(5b)(5c)(5d)以測量該結合構造(1)的扭轉，其中該結合元件(5a)+(5b)+(5c)+(5d)設在一區域中，在此區域中當結合構造(1)扭轉時機械應力提高。(圖1)
简体摘要：一种微振动设备(特别是微振动面镜)用的结合构造，其中该结合构造(1)至少可间接地与一微振动构造(4)及一弹簧组件(3)，以测量微振动构造(4)的扭转，该结合构造包含：──至少一个(特别是至少二个，且宜三个)腿(2a)(2b)(2c)，设成平行于该微振动构造的旋转轴(T)，以及至少另一腿(2’)，设成垂直于该旋转轴(T)。其中该结合构造(1)平行于旋转轴(T)的延伸距离至少为该结合构造(1)垂直于该旋转轴(T)的延伸距离的三倍，且至少有一电阻组件(5a)(5b)(5c)(5d)以测量该结合构造(1)的扭转，其中该结合组件(5a)+(5b)+(5c)+(5d)设在一区域中，在此区域中当结合构造(1)扭转时机械应力提高。(图1)

3. 发明专利

TWI469254B 具多重電性通道的微機電裝置及其製作方法有权
简体标题：具多重电性信道的微机电设备及其制作方法
公开(公告)号：TWI469254B
公开(公告)日：2015-01-11
申请号：TW100149587
申请日：2011-12-29
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：黃肇達 , HUANG, CHAO TA , 許郁文 , HSU, YU WEN , 郭秦輔 , KUO, CHIN FU
IPC分类号： H01L21/76 , B81B7/02
CPC分类号： B81B7/0006 , B81B2201/0271 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058 , G01R33/0286

4. 发明专利

TW201243287A 雷射測距儀 LASER RANGE FINDER 审中-公开
简体标题：激光测距仪 LASER RANGE FINDER
公开(公告)号：TW201243287A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW100114758
申请日：2011-04-28
申请人：鴻海精密工業股份有限公司
发明人：賴志成
IPC分类号： G01C
CPC分类号： G01C3/08 , B81B7/04 , B81B2201/0292 , B81B2201/047 , B81B2203/0154 , B81B2207/053 , G01S7/4814 , G01S7/4817 , G01S17/42
摘要：一種雷射測距儀，包括：雷射光發射器，用於發射雷射光束；微機電反射鏡陣列，其用於將所述雷射光束反射至待測物體上複數位置；微機電光接收陣列，其用於對應接收被所述待測物體反射之雷射光束；以及處理單元，記錄所述雷射光發射器發出雷射光束的時間t1和所述微機電光接收陣列接收到複數點被待測物體反射的雷射光束的時間t2，並通過下列公式得出複數待測距離，t2-t1=2L/c，c為光速，L為待測距離。
简体摘要：一种激光测距仪，包括：激光光发射器，用于发射激光光束；微机电反射镜数组，其用于将所述激光光束反射至待测物体上复数码置；微机电光接收数组，其用于对应接收被所述待测物体反射之激光光束；以及处理单元，记录所述激光光发射器发出激光光束的时间t1和所述微机电光接收数组接收到复数点被待测物体反射的激光光束的时间t2，并通过下列公式得出复数待测距离，t2-t1=2L/c，c为光速，L为待测距离。

5. 发明专利

TW201235287A 安裝撓曲接觸件 MOUNTING FLEXURE CONTACTS 审中-公开
简体标题：安装挠曲接触件 MOUNTING FLEXURE CONTACTS
公开(公告)号：TW201235287A
公开(公告)日：2012-09-01
申请号：TW100141470
申请日：2011-11-14
申请人：數位光學MEMS有限公司
发明人：古提瑞茲羅曼C , 加恩安庫爾
IPC分类号： B81B , G02B
CPC分类号： H02N2/005 , B81B7/0006 , B81B2201/033 , B81B2203/0154 , B81B2207/07
摘要：一種裝置可包括由一第一半導體材料形成的一撓曲。一第一溝隙可形成於該撓曲中。該第一溝隙可將該第一半導體材料分離成一第一部分及一第二部分。一層氧化物層可形成於該第一溝隙中。該氧化物層可在該第一半導體材料之一頂部部分上延伸。一第二半導體材料可形成於該氧化物層上。該第一溝隙及該氧化物層可協作以將該第一部分及該第二部分彼此電隔離。
简体摘要：一种设备可包括由一第一半导体材料形成的一挠曲。一第一沟隙可形成于该挠曲中。该第一沟隙可将该第一半导体材料分离成一第一部分及一第二部分。一层氧化物层可形成于该第一沟隙中。该氧化物层可在该第一半导体材料之一顶部部分上延伸。一第二半导体材料可形成于该氧化物层上。该第一沟隙及该氧化物层可协作以将该第一部分及该第二部分彼此电隔离。

6. 发明专利

TWI231290B 具有扭力桿之微搖動元件 MICRO-PIVOTAL DEVICE HAVING TORSION BARS 失效
简体标题：具有扭力杆之微摇动组件 MICRO-PIVOTAL DEVICE HAVING TORSION BARS
公开(公告)号：TWI231290B
公开(公告)日：2005-04-21
申请号：TW091118322
申请日：2002-08-14
申请人：富士通股份有限公司 FUJITSU LIMITED
发明人：宓曉宇 MI, XIAOYU , 壺井修 OSAMU TSUBOI , 上田知史 SATOSHI UEDA , 佐一平 IPPEI SAWAKI
IPC分类号： B81B
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058
摘要：微搖動元件，包含有框(113)與搖動構件(111)，該搖動構件(111)係對該框(113)藉由連結部(112)連結。各連結部(112)包含有2根扭力桿(112a)，該各扭力桿(112a)，係藉形成多數孔(112b)，構成為剛性面向框(113)相對的較高，剛性面向搖動構件(111)相對的較低。
简体摘要：微摇动组件，包含有框(113)与摇动构件(111)，该摇动构件(111)系对该框(113)借由链接部(112)链接。各链接部(112)包含有2根扭力杆(112a)，该各扭力杆(112a)，系藉形成多数孔(112b)，构成为刚性面向框(113)相对的较高，刚性面向摇动构件(111)相对的较低。

7. 发明专利

TWI616656B 微機電系統感測器和半導體封裝有权
简体标题：微机电系统传感器和半导体封装
公开(公告)号：TWI616656B
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：TW104136976
申请日：2015-11-10
申请人：村田製作所股份有限公司 , MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：瑞特庫尼斐勒佩卡 , RYTKOENEN, VILLE-PEKKA , 里歐庫瑪堤 , LIUKKU, MATTI
IPC分类号： G01P15/125 , B81B5/00
CPC分类号： B60R21/01 , B60R2021/01286 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81B2203/0154 , B81B2203/0163 , B81B2207/015 , G01P15/125 , G01P15/13 , G01P15/18 , G01P2015/0817

8. 发明专利

TWI582038B 微振動裝置用的結合構造有权
简体标题：微振动设备用的结合构造
公开(公告)号：TWI582038B
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：TW100116984
申请日：2011-05-16
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：平特史堤方 , PINTER, STEFAN , 都耶安德亞斯 , DUELL, ANDREAS , 慕裘約克 , MUCHOW, JOERG , 雷斯提恩鄒坦 , LESTYAN, ZOLTAN
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , G02B26/08 , G01B7/16
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B7/008 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154

9. 发明专利

TW201625953A 微機電系統感測器和半導體封裝审中-公开
简体标题：微机电系统传感器和半导体封装
公开(公告)号：TW201625953A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104136976
申请日：2015-11-10
申请人：村田製作所股份有限公司 , MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：瑞特庫尼斐勒佩卡 , RYTKOENEN, VILLE-PEKKA , 里歐庫瑪堤 , LIUKKU, MATTI
IPC分类号： G01P15/125 , B81B5/00
CPC分类号： B60R21/01 , B60R2021/01286 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81B2203/0154 , B81B2203/0163 , B81B2207/015 , G01P15/125 , G01P15/13 , G01P15/18 , G01P2015/0817
摘要：本發明之MEMS感測器具有可移動構件及固定構件，用於量測在旋轉模式中於垂直於彈簧軸之平面內方向上的加速度。該等構件包括元件框架(1)、基板(7)、校驗質量塊(2)、連接至該校驗質量塊(2)及連接至該基板(7)之彈簧(5)，以及梳狀電極(9a、9b)。該MEMS感測器之主要特徵為該等構件之佈置，該佈置產生針對量測一範圍內之加速度的固有靈敏度，該範圍涵蓋縱向加速度及橫向加速度。該等構件之一或多者相較於該元件框架(1)係傾斜的。本發明之半導體封裝(12)包含至少一個MEMS感測器。
简体摘要：本发明之MEMS传感器具有可移动构件及固定构件，用于量测在旋转模式中于垂直于弹簧轴之平面内方向上的加速度。该等构件包括组件框架(1)、基板(7)、校验质量块(2)、连接至该校验质量块(2)及连接至该基板(7)之弹簧(5)，以及梳状电极(9a、9b)。该MEMS传感器之主要特征为该等构件之布置，该布置产生针对量测一范围内之加速度的固有灵敏度，该范围涵盖纵向加速度及横向加速度。该等构件之一或多者相较于该组件框架(1)系倾斜的。本发明之半导体封装(12)包含至少一个MEMS传感器。

10. 发明专利

TW201327722A 具多重電性通道的微機電裝置及其製作方法审中-公开
简体标题：具多重电性信道的微机电设备及其制作方法
公开(公告)号：TW201327722A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW100149587
申请日：2011-12-29
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：黃肇達 , HUANG, CHAO TA , 許郁文 , HSU, YU WEN , 郭秦輔 , KUO, CHIN FU
IPC分类号： H01L21/76 , B81B7/02
CPC分类号： B81B7/0006 , B81B2201/0271 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058 , G01R33/0286
摘要：一種具多重電性通道的微機電裝置，包括支撐座與質量塊。支撐座的絕緣層將其分成上、下導電層。隔絕溝槽設置於支撐座的下導電層且貫穿至絕緣層，將下導電層分成電性絕緣的內、外導電部。導電通孔設置於支撐座且貫穿絕緣層，並連接上導電層及外導電部。質量塊的絕緣層將其分成上、下導電層。隔絕溝槽設置於質量塊的下導電層且貫穿至絕緣層，並將下導電層分成電性絕緣的兩個導電部。質量塊的兩個導電部分別電性連接兩個支撐座的內導電部。導電通孔貫穿絕緣層且連接質量塊的上導電層及二個導電部之一。上述的微機電裝置的製作方法也被提出。
简体摘要：一种具多重电性信道的微机电设备，包括支撑座与质量块。支撑座的绝缘层将其分成上、下导电层。隔绝沟槽设置于支撑座的下导电层且贯穿至绝缘层，将下导电层分成电性绝缘的内、外导电部。导电通孔设置于支撑座且贯穿绝缘层，并连接上导电层及外导电部。质量块的绝缘层将其分成上、下导电层。隔绝沟槽设置于质量块的下导电层且贯穿至绝缘层，并将下导电层分成电性绝缘的两个导电部。质量块的两个导电部分别电性连接两个支撑座的内导电部。导电通孔贯穿绝缘层且连接质量块的上导电层及二个导电部之一。上述的微机电设备的制作方法也被提出。

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