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1. 发明专利

TW201946864A 具有傾斜光學窗的微機械裝置的製造方法及對應的微機械裝置审中-公开
简体标题：具有倾斜光学窗的微机械设备的制造方法及对应的微机械设备
公开(公告)号：TW201946864A
公开(公告)日：2019-12-16
申请号：TW108115703
申请日：2019-05-07
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：史都沃班傑明 , STEUER, BENJAMIN , 平特史堤方 , PINTER, STEFAN
IPC分类号： B81C1/00 , B81B3/00 , B81B7/02 , G02B26/08 , G02B5/08
摘要：本發明提供一種具有傾斜光學窗的微機械裝置的製造方法，且係關於一種對應的微機械裝置。該製造方法包含以下步驟：設置具有前側（VS）及背側（RS）之第一基板（S1）；在該第一基板（S1）中形成複數個隔開之通孔（F1，F2），該等通孔在該第一基板（S1）中沿著複數個隔開之列（R1，R2）而配置；沿著該等列（R1，R2）中之每一者形成各別連續斜向凹槽（N1，N2），其界定用於該等傾斜光學窗（G1，G2）之底座；及在該等通孔（F1，F2）上方將該等傾斜光學窗（G1，G2）插入至該等凹槽（N1，N2）中。
简体摘要：本发明提供一种具有倾斜光学窗的微机械设备的制造方法，且系关于一种对应的微机械设备。该制造方法包含以下步骤：设置具有前侧（VS）及背侧（RS）之第一基板（S1）；在该第一基板（S1）中形成复数个隔开之通孔（F1，F2），该等通孔在该第一基板（S1）中沿着复数个隔开之列（R1，R2）而配置；沿着该等列（R1，R2）中之每一者形成各别连续斜向凹槽（N1，N2），其界定用于该等倾斜光学窗（G1，G2）之底座；及在该等通孔（F1，F2）上方将该等倾斜光学窗（G1，G2）插入至该等凹槽（N1，N2）中。

2. 发明专利

TWI606264B 製造微電機械系統用的光學窗孔裝置的方法與用於微電機械系統的光學窗孔裝置有权
简体标题：制造微电机械系统用的光学窗孔设备的方法与用于微电机械系统的光学窗孔设备
公开(公告)号：TWI606264B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：TW102114303
申请日：2013-04-23
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：平特史堤方 , PINTER, STEFAN
IPC分类号： G02B26/00
CPC分类号： B81C1/00134 , B81B3/0018 , B81B2203/0384 , B81C1/00103 , B81C1/00317

3. 发明专利

TW201350903A 製造微電機械系統用的光學窗孔裝置的方法审中-公开
简体标题：制造微电机械系统用的光学窗孔设备的方法
公开(公告)号：TW201350903A
公开(公告)日：2013-12-16
申请号：TW102114303
申请日：2013-04-23
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：平特史堤方 , PINTER, STEFAN
IPC分类号： G02B26/00
CPC分类号： B81C1/00134 , B81B3/0018 , B81B2203/0384 , B81C1/00103 , B81C1/00317
摘要：本發明提供一種製造微電機械系統用的光學窗孔裝置的方法，包括以下步驟：將一由透明材料構成之層鍍覆於一具一凹槽的基板上；對該層實施變形，從而使得該層起皺且該層之變形區域形成一光學窗孔。
简体摘要：本发明提供一种制造微电机械系统用的光学窗孔设备的方法，包括以下步骤：将一由透明材料构成之层镀覆于一具一凹槽的基板上；对该层实施变形，从而使得该层起皱且该层之变形区域形成一光学窗孔。

4. 发明专利

TWI649588B 用於微鏡晶片的安裝體，反射鏡裝置及製造反射鏡裝置的方法有权
简体标题：用于微镜芯片的安装体，反射镜设备及制造反射镜设备的方法
公开(公告)号：TWI649588B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：TW104114380
申请日：2015-05-06
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：霍以克弗李德喬夫 , HEUCK, FRIEDJOF , 夏茲法蘭克 , SCHATZ, FRANK , 羅爾芬法蘭奇斯卡 , ROHLFING, FRANZISKA , 潘特爾丹尼爾 , PANTEL, DANIEL , 平特史堤方 , PINTER, STEFAN , 多塞爾可林 , DOESSEL, KERRIN
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10

5. 发明专利

TW201811662A 用於具有傾斜的光學窗的微機械裝置的製造方法以及相對應的微機械裝置审中-公开
简体标题：用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法以及相对应的微机械设备
公开(公告)号：TW201811662A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106130315
申请日：2017-09-05
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：史都沃班傑明 , STEUER, BENJAMIN , 平特史堤方 , PINTER, STEFAN
IPC分类号： B81C1/00 , B81B1/00 , B81B7/02
CPC分类号： B81C1/00626 , B81B7/0058 , B81B2201/042 , B81C2201/0116 , G02B26/0833 , G02B27/0006
摘要：本發明提供一種用於具有一傾斜的光學窗的一微機械裝置的製造方法，以及一相對應的微機械裝置。該製造方法包含以下步驟：提供具有一前側(V1)及一後側(R1)的一第一基板(W1)，該第一基板(W1)具有一切口(L11；L11'；L11"；L11'''；L11''''；K1；K2)；在該前側(V1)上施加一第二基板(W2)，其中該第二基板(W2)為熱可變形的且在該切口(L11；L11'；L11"；L11'''；L11''''；K1；K2)上方具有一第一通孔(L21)，該第一通孔(L21)與該切口(L11；L11'；L11"；L11'''；L11''''；K1；K2)相比具有一較小的側向延伸；在該第一通孔(L21)上方或下方的該第二基板(W2)上形成一摺疊區(K；K')，該摺疊區(K；K')係配置在相對於該第一基板(W1)的一第一位置中；使該第二基板(W2)經受熱變形，其中使該摺疊區(K；K')到達該切口(L11)內的一第二位置中，該第二位置相對於該第一位置為傾斜的且可選擇地降低至該切口(L11；L11'；L11"；L11'''；L11''''； K1；K2)中；自該第二基板(W2)移除該摺疊區(K；K')；及在傾斜的該第二位置中將光學窗(FE)附接至該第一通孔(L21)上方或下方的該第二基板(W2)上。
简体摘要：本发明提供一种用于具有一倾斜的光学窗的一微机械设备的制造方法，以及一相对应的微机械设备。该制造方法包含以下步骤：提供具有一前侧(V1)及一后侧(R1)的一第一基板(W1)，该第一基板(W1)具有一切口(L11；L11'；L11"；L11'''；L11''''；K1；K2)；在该前侧(V1)上施加一第二基板(W2)，其中该第二基板(W2)为热可变形的且在该切口(L11；L11'；L11"；L11'''；L11''''；K1；K2)上方具有一第一通孔(L21)，该第一通孔(L21)与该切口(L11；L11'；L11"；L11'''；L11''''；K1；K2)相比具有一较小的侧向延伸；在该第一通孔(L21)上方或下方的该第二基板(W2)上形成一折叠区(K；K')，该折叠区(K；K')系配置在相对于该第一基板(W1)的一第一位置中；使该第二基板(W2)经受热变形，其中使该折叠区(K；K')到达该切口(L11)内的一第二位置中，该第二位置相对于该第一位置为倾斜的且可选择地降低至该切口(L11；L11'；L11"；L11'''；L11''''； K1；K2)中；自该第二基板(W2)移除该折叠区(K；K')；及在倾斜的该第二位置中将光学窗(FE)附接至该第一通孔(L21)上方或下方的该第二基板(W2)上。

6. 发明专利

TW201543074A 用於微鏡晶片的安裝體，反射鏡裝置及製造反射鏡裝置的方法审中-公开
简体标题：用于微镜芯片的安装体，反射镜设备及制造反射镜设备的方法
公开(公告)号：TW201543074A
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：TW104114380
申请日：2015-05-06
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：霍以克弗李德喬夫 , HEUCK, FRIEDJOF , 夏茲法蘭克 , SCHATZ, FRANK , 羅爾芬法蘭奇斯卡 , ROHLFING, FRANZISKA , 潘特爾丹尼爾 , PANTEL, DANIEL , 平特史堤方 , PINTER, STEFAN , 多塞爾可林 , DOESSEL, KERRIN
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B7/0067 , B81B2201/042 , G02B7/1821 , G02B26/101 , G02B27/0006
摘要：本發明係有關於一種用於微鏡晶片(12a，12b)的安裝體(10，40)，該安裝體部分包圍空心內腔(18)，其中該安裝體(10，40)在兩個彼此背向之側面(10a，10b)上至少各包括一部分外壁(20，22)，其針對一設定光譜而採用透明之構建方案，且其中該安裝體(10，40)以某種方式具有至少一用來安裝第一微鏡晶片(12a)的第一外孔(24a)，及用來安裝第二微鏡晶片(12b)的第二外孔(24b)，使得穿過該第一部分外壁(20)之光束(26)可被該第一微鏡晶片(12a)偏轉至該第二微鏡晶片(12b)，並可被該第二微鏡晶片(12b)偏轉並穿過該第二部分外壁(22)。本發明亦有關於一種反射鏡裝置。本發明亦有關於一種製造反射鏡裝置的方法。
简体摘要：本发明系有关于一种用于微镜芯片(12a，12b)的安装体(10，40)，该安装体部分包围空心内腔(18)，其中该安装体(10，40)在两个彼此背向之侧面(10a，10b)上至少各包括一部分外壁(20，22)，其针对一设置光谱而采用透明之构建方案，且其中该安装体(10，40)以某种方式具有至少一用来安装第一微镜芯片(12a)的第一外孔(24a)，及用来安装第二微镜芯片(12b)的第二外孔(24b)，使得穿过该第一部分外壁(20)之光束(26)可被该第一微镜芯片(12a)偏转至该第二微镜芯片(12b)，并可被该第二微镜芯片(12b)偏转并穿过该第二部分外壁(22)。本发明亦有关于一种反射镜设备。本发明亦有关于一种制造反射镜设备的方法。

7. 发明专利

TW201831395A 微機械部件，微機械部件的製造方法及用於激發可調部件圍繞旋轉軸線運動的方法审中-公开
简体标题：微机械部件，微机械部件的制造方法及用于激发可调部件围绕旋转轴线运动的方法
公开(公告)号：TW201831395A
公开(公告)日：2018-09-01
申请号：TW107100791
申请日：2018-01-09
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：擴普曼菲利浦 , KAUPMANN, PHILIP , 平特史堤方 , PINTER, STEFAN , 葛魯札克漢爾姆 , GRUTZECK, HELMUT , 法蘭茲猶根 , FRANZ, JOCHEN , 慕裘約克 , MUCHOW, JOERG
IPC分类号： B81B7/02 , G02B26/08 , B81C1/00 , B81B3/00
摘要：本發明係關於一種微機械部件，其具有一支撐件(10)、至少經由至少一個彈簧(14a、14b、14c)連接至該支撐件(10)之一可調部件(12)，及一致動器裝置(18)，其中該可調部件(12)圍繞一第一旋轉軸線(20)的一第一振盪運動(Φ1)，及同時已在該第一振盪運動(Φ1)中設定的該可調部件(12)圍繞一第二旋轉軸線(22)之一第二振盪運動(Φ2)可藉助於該致動器裝置(18)而激發，且其中該可調部件(12)至少藉助於該至少一個彈簧(14a、14b、14c)而可調整地配置於該支撐件(10)上，以此方式使得該可調部件(12)可藉助於一淨轉矩(M2)圍繞垂直於該第一旋轉軸線(20)且垂直於該第二旋轉軸線(22)定向的一旋轉軸線(24)而調整。本發明亦係關於一種微機械部件之製造方法。本發明另外係關於一種用於激發一可調部件(12)圍繞一旋轉軸線(24)之一運動的方法。
简体摘要：本发明系关于一种微机械部件，其具有一支撑件(10)、至少经由至少一个弹簧(14a、14b、14c)连接至该支撑件(10)之一可调部件(12)，及一致动器设备(18)，其中该可调部件(12)围绕一第一旋转轴线(20)的一第一振荡运动(Φ1)，及同时已在该第一振荡运动(Φ1)中设置的该可调部件(12)围绕一第二旋转轴线(22)之一第二振荡运动(Φ2)可借助于该致动器设备(18)而激发，且其中该可调部件(12)至少借助于该至少一个弹簧(14a、14b、14c)而可调整地配置于该支撑件(10)上，以此方式使得该可调部件(12)可借助于一净转矩(M2)围绕垂直于该第一旋转轴线(20)且垂直于该第二旋转轴线(22)定向的一旋转轴线(24)而调整。本发明亦系关于一种微机械部件之制造方法。本发明另外系关于一种用于激发一可调部件(12)围绕一旋转轴线(24)之一运动的方法。

8. 发明专利

TWI582038B 微振動裝置用的結合構造有权
简体标题：微振动设备用的结合构造
公开(公告)号：TWI582038B
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：TW100116984
申请日：2011-05-16
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：平特史堤方 , PINTER, STEFAN , 都耶安德亞斯 , DUELL, ANDREAS , 慕裘約克 , MUCHOW, JOERG , 雷斯提恩鄒坦 , LESTYAN, ZOLTAN
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , G02B26/08 , G01B7/16
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B7/008 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154

9. 发明专利

TWI534068B 製造構件的方法與製造構件裝置的方法，以及構件和構件裝置失效
简体标题：制造构件的方法与制造构件设备的方法，以及构件和构件设备
公开(公告)号：TWI534068B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW098124030
申请日：2009-07-16
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：克拉莫托斯頓 , KRAMER, TORSTEN , 平特史堤方 , PINTER, STEFAN , 班策爾胡伯特 , BENZEL, HUBERT , 艾靈馬提亞斯 , ILLING, MATTHIAS , 哈格弗里德爾 , HAAG, FRIEDER , 阿姆布魯斯特西蒙 , ARMBRUSTER, SIMON
IPC分类号： B81C1/00 , B81C3/00 , B81B3/00 , B81B7/02 , H01L21/764
CPC分类号： B81C99/008 , B81B7/0006 , B81B2207/093

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