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    • 4. 发明专利
    • 夾具之動作檢測裝置
    • 夹具之动作检测设备
    • TW200302765A
    • 2003-08-16
    • TW091137172
    • 2002-12-24
    • 克斯美庫股份有限公司
    • 橫田英明
    • B23Q
    • B23Q17/002B23Q17/006B25B5/061B25B5/062B25B5/064
    • 提供一種可信度高、型體小巧之動作檢測裝置,其解決手段為把夾具桿5可上下移動地插入在殼身3內,在上述殼身3的下端壁3b形成有與其夾具桿5的軸心大致為在同圓心上的檢測孔58。把壓縮空氣供給用入口孔71、72開口在其檢測孔58的圓周面。把檢測具62可上下移動地嵌入在上述檢測孔58。於其檢測具62的外周面,設有封閉上述入口孔71、72之開口部71a、72a的封閉面68,及使上述開口部71a、72a連通外氣的凹處69。把上述夾具桿5的朝下突出部5a於上述檢測具62連結成可往半徑方向進行相對移動。
    • 提供一种可信度高、型体小巧之动作检测设备,其解决手段为把夹具杆5可上下移动地插入在壳身3内,在上述壳身3的下端壁3b形成有与其夹具杆5的轴心大致为在同圆心上的检测孔58。把压缩空气供给用入口孔71、72开口在其检测孔58的圆周面。把检测具62可上下移动地嵌入在上述检测孔58。于其检测具62的外周面,设有封闭上述入口孔71、72之开口部71a、72a的封闭面68,及使上述开口部71a、72a连通外气的凹处69。把上述夹具杆5的朝下突出部5a于上述检测具62链接成可往半径方向进行相对移动。
    • 5. 发明专利
    • 自動化加工裝置中工件偵測用之方法與裝置
    • 自动化加工设备中工件侦测用之方法与设备
    • TW467790B
    • 2001-12-11
    • TW089105350
    • 2000-03-24
    • 印芬龍科技股份有限公司
    • 史坦曼布瑞德漢茲奇歐夫
    • B23QG01VB24B
    • B23Q17/22B23Q17/006B25J9/1694
    • 本發明提供一種方法與裝置以辨識在自動化加工裝置中工件的存在。以前熟知的辨識裝置不能在所有的條件下,在工件的存在與不存在之間作出明確的區別。它因此提供一種裝置,其由一超音波發射器;一超音波接收器與一偵測裝置(控制器)所構成。此偵測,是否一工件是在加工裝置的夾具中被握住,是經由以超音波檢查此夾具,接收此反射的超音波,以及根據所反射的超音波的偵測而實施。此方法是使用於晶圓的拋光機器中特別有利,在那裡此拋光布本身在聲音的反射能力中,明顯地與待拋光的晶圓不同。
      第1a圖
    • 本发明提供一种方法与设备以辨识在自动化加工设备中工件的存在。以前熟知的辨识设备不能在所有的条件下,在工件的存在与不存在之间作出明确的区别。它因此提供一种设备,其由一超音波发射器;一超音波接收器与一侦测设备(控制器)所构成。此侦测,是否一工件是在加工设备的夹具中被握住,是经由以超音波检查此夹具,接收此反射的超音波,以及根据所反射的超音波的侦测而实施。此方法是使用于晶圆的抛光机器中特别有利,在那里此抛光布本身在声音的反射能力中,明显地与待抛光的晶圆不同。 第1a图
    • 8. 发明专利
    • 包含有用於以可釋開方式將工件定位於托板之夾頭的夾持治具 CLAMPING FIXTURE INCLUDING A CHUCK FOR RELEASABLY LOCATING A WORKPIECE PALLET
    • 包含有用于以可释开方式将工件定位于托板之夹头的夹持治具 CLAMPING FIXTURE INCLUDING A CHUCK FOR RELEASABLY LOCATING A WORKPIECE PALLET
    • TW200918231A
    • 2009-05-01
    • TW097136862
    • 2008-09-25
    • 艾洛瓦公司 EROWA AG
    • 布諾 珊德麥爾 BRUNO SANDMEIER
    • B23QB23B
    • B23Q1/0072B23Q17/006Y10T279/1208Y10T279/1274Y10T279/1291Y10T279/17743Y10T279/19Y10T279/1986Y10T279/21
    • 本發明提供一種夾持治具,特徵在於具有一夾頭(1),該夾頭具有一栓鎖機構(2),用以將一工件托板(33)以可釋放開的方式進行定位。栓鎖機構(2)包含多個夾持部件(5),在栓鎖位置中被設計成可與一連接至工件托板的夾栓(30)接合。每一個夾持部件(5)具有一個給進鑽孔(8,8a),在相對的夾持部件(5)被正確栓鎖及/或釋放時,其一端會被關閉。除此之外,或是另一種方式是,每一個夾持部件(5)會搭配一個啓動部件(10),其具有一給進鑽孔(12),在相對的夾持部件(5)被正確栓鎖及/或釋放時,一端會被關閉。夾持部件(5)的給進鑽孔(8,8a,12)及啓動部件(10)分別可經由一共同連接導管連接至一壓縮空氣源。此外,至少含有一個偵測器用以偵測在連接導管中之氣流。藉由此偵測器,可以偵測出栓鎖部件(5)是否正確的被釋放或鎖住。
    • 本发明提供一种夹持治具,特征在于具有一夹头(1),该夹头具有一栓锁机构(2),用以将一工件托板(33)以可释放开的方式进行定位。栓锁机构(2)包含多个夹持部件(5),在栓锁位置中被设计成可与一连接至工件托板的夹栓(30)接合。每一个夹持部件(5)具有一个给进钻孔(8,8a),在相对的夹持部件(5)被正确栓锁及/或释放时,其一端会被关闭。除此之外,或是另一种方式是,每一个夹持部件(5)会搭配一个启动部件(10),其具有一给进钻孔(12),在相对的夹持部件(5)被正确栓锁及/或释放时,一端会被关闭。夹持部件(5)的给进钻孔(8,8a,12)及启动部件(10)分别可经由一共同连接导管连接至一压缩空气源。此外,至少含有一个侦测器用以侦测在连接导管中之气流。借由此侦测器,可以侦测出栓锁部件(5)是否正确的被释放或锁住。