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1. 发明专利

TW201727821A 晶圓狀物件之表面處理設備审中-公开
简体标题：晶圆状对象之表面处理设备
公开(公告)号：TW201727821A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：TW105135193
申请日：2016-10-31
申请人：蘭姆研究股份公司 , LAM RESEARCH AG
发明人：格萊斯勒安得羅斯 , GLEISSNER, ANDREAS , 布魯格麥可 , BRUGGER, MICHAEL , 渥恩斯伯格湯瑪士 , WIRNSBERGER, THOMAS
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68728 , B23B31/16004 , B23B2260/10 , Y10T279/19 , Y10T279/1926
摘要：用於處理晶圓狀物件的轉動式卡盤包含具有一系列夾取插銷的卡盤體，該等夾取插銷可藉由相對於該卡盤體水平且共同地滑動，而自第一位置移動至第二位置，其中在第一位置時，該等夾取插銷係相對地較為收縮至該卡盤體中，而在第二位置時，該等夾取插銷係相對地較為自該卡盤體伸出，且在該第二位置時，該等夾取插銷係定位以支撐預定直徑的晶圓狀物件。
简体摘要：用于处理晶圆状对象的转动式卡盘包含具有一系列夹取插销的卡盘体，该等夹取插销可借由相对于该卡盘体水平且共同地滑动，而自第一位置移动至第二位置，其中在第一位置时，该等夹取插销系相对地较为收缩至该卡盘体中，而在第二位置时，该等夹取插销系相对地较为自该卡盘体伸出，且在该第二位置时，该等夹取插销系定位以支撑预定直径的晶圆状对象。

2. 实用新型

TW500033U 開閉式卡盤失效
简体标题：开闭式卡盘
公开(公告)号：TW500033U
公开(公告)日：2002-08-21
申请号：TW090217723
申请日：2001-10-17
申请人：速睦喜股份有限公司
发明人：政所二朗 , 半根裕志
IPC分类号： B25J
CPC分类号： B25B1/18 , Y10T279/1291 , Y10T279/19 , Y10T279/1946 , Y10T279/1986
摘要：在具有固定在支持體的第1面和其相反側之第2面的卡盤體之第2面，設置將工件卡盤用的一對卡盤構件，和引導此等卡盤構件之導軌，在和該導軌的各卡盤構件重複之位置，將固定在上述支持體用的多數之固定孔設成達到第1面，同時在各卡盤構件，設置將螺絲插入此等固定孔用之作業孔。
简体摘要：在具有固定在支持体的第1面和其相反侧之第2面的卡盘体之第2面，设置将工件卡盘用的一对卡盘构件，和引导此等卡盘构件之导轨，在和该导轨的各卡盘构件重复之位置，将固定在上述支持体用的多数之固定孔设成达到第1面，同时在各卡盘构件，设置将螺丝插入此等固定孔用之作业孔。

3. 发明专利

TW466148B 用於機製軸承殼的方法與裝置失效
简体标题：用于机制轴承壳的方法与设备
公开(公告)号：TW466148B
公开(公告)日：2001-12-01
申请号：TW089113099
申请日：2000-07-25
申请人：科普蘭股份有限公司
发明人：尼可拉斯J 艾爾斯塔特 , 蓋瑞J 狄勒
IPC分类号： B23B
CPC分类号： F01C21/02 , B23B31/12 , B23B31/30 , F04C18/0215 , F16C2360/42 , Y10T82/10 , Y10T279/19 , Y10T279/26
摘要：一種蝸形機，具有一外殼容納第一蝸形構件、第二蝸形構件、一驅動構件和一軸承殼體。軸承殼體可轉動地支撐該驅動構件且附接於該外殼。軸承殼體被設計成當它被定位和夾持於單個位置時它可完全加工。藉由在單一操作中完成軸承殼體的全部加工，可免除多次的安裝調整、多次操作和公差的累積，而生成一高品質組件。
简体摘要：一种蜗形机，具有一外壳容纳第一蜗形构件、第二蜗形构件、一驱动构件和一轴承壳体。轴承壳体可转动地支撑该驱动构件且附接于该外壳。轴承壳体被设计成当它被定位和夹持於单个位置时它可完全加工。借由在单一操作中完成轴承壳体的全部加工，可免除多次的安装调整、多次操作和公差的累积，而生成一高品质组件。

4. 实用新型

TW418735U 動力操作夾頭失效
简体标题：动力操作夹头
公开(公告)号：TW418735U
公开(公告)日：2001-01-11
申请号：TW087215988
申请日：1997-12-18
申请人：佛卡德特公司
发明人：哈伯特安東尼
IPC分类号： B23B , B23Q
CPC分类号： B23B31/16233 , B23B2250/12 , Y10T279/19 , Y10T279/1973 , Y10T279/1986 , Y10T279/243
摘要：本創作係有關一種動力操作夾頭，包括一夾頭體(l)及可在夾頭體(l)徑向導引部上移動的顎夾(2)，該顎夾至少可被一動力產生器設在夾頭(l)上的驅動件(6)驅動。為可靠地供應夾頭最重要的滑動面潤滑油脂，在夾頭體(l)徑向顎夾導引部(3)中間部份設構成充填潤滑油脂之中空空間的凹陷(ll)。
简体摘要：本创作系有关一种动力操作夹头，包括一夹头体(l)及可在夹头体(l)径向导引部上移动的颚夹(2)，该颚夹至少可被一动力产生器设在夹头(l)上的驱动件(6)驱动。为可靠地供应夹头最重要的滑动面润滑油脂，在夹头体(l)径向颚夹导引部(3)中间部份设构成充填润滑油脂之中空空间的凹陷(ll)。

5. 发明专利

TWI596687B 基板處理裝置有权
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TWI596687B
公开(公告)日：2017-08-21
申请号：TW102114334
申请日：2013-04-23
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：小川貴弘 , OGAWA, TAKAHIRO , 中野央二郎 , NAKANO, HISAJIRO
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/68728 , B23B31/1261 , H01L21/687 , Y10T279/18 , Y10T279/19 , Y10T279/26

6. 发明专利

TWI432282B 包含有用於以可釋開方式將工件定位於托板之夾頭的夾持治具有权
简体标题：包含有用于以可释开方式将工件定位于托板之夹头的夹持治具
公开(公告)号：TWI432282B
公开(公告)日：2014-04-01
申请号：TW097136862
申请日：2008-09-25
申请人：艾洛瓦公司 , EROWA AG
发明人：布諾珊德麥爾 , BRUNO SANDMEIER
IPC分类号： B23Q3/06 , B23Q3/10 , B23B31/107
CPC分类号： B23Q1/0072 , B23Q17/006 , Y10T279/1208 , Y10T279/1274 , Y10T279/1291 , Y10T279/17743 , Y10T279/19 , Y10T279/1986 , Y10T279/21

7. 发明专利

TWI316006B 夾鉗裝置及其底爪與頂爪 CLAMPING DEVICE, BASE JAW AND TOP JAW THEREFORE 失效
简体标题：夹钳设备及其底爪与顶爪 CLAMPING DEVICE, BASE JAW AND TOP JAW THEREFORE
公开(公告)号：TWI316006B
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：TW095113082
申请日：2006-04-12
申请人：佛卡特德國股份有限公司
发明人：西德布蘭德特迪特瑪 , 史托森伯格漢斯
IPC分类号： B23B
CPC分类号： B23B31/16279 , Y10S279/901 , Y10T279/19 , Y10T279/1973 , Y10T279/1986 , Y10T279/1993 , Y10T483/171
摘要：一種夾鉗裝置(2)之底爪(6)與頂爪(12)，其可互相插合，且各具楔形嚙合面(28,30)，該嚙合面限制兩爪(6,12)之插合深度。楔形角的角度至少為85°，但最大為140°，故可防止嚙合面(28,30)夾緊，但可在所有方向將頂爪(12)保持在底爪(6)上。
简体摘要：一种夹钳设备(2)之底爪(6)与顶爪(12)，其可互相插合，且各具楔形啮合面(28,30)，该啮合面限制两爪(6,12)之插合深度。楔形角的角度至少为85°，但最大为140°，故可防止啮合面(28,30)夹紧，但可在所有方向将顶爪(12)保持在底爪(6)上。

8. 发明专利

TW201351541A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW201351541A
公开(公告)日：2013-12-16
申请号：TW102114334
申请日：2013-04-23
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：小川貴弘 , OGAWA, TAKAHIRO , 中野央二郎 , NAKANO, HISAJIRO
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/68728 , B23B31/1261 , H01L21/687 , Y10T279/18 , Y10T279/19 , Y10T279/26
摘要：【課題】本發明可儘量抑制將內周面作為引導基板之外周端面，進行基板定位之引導面的引導部高度，而在由引導部之引導面構成的開口(前口)內確實收納基板。【解決手段】將基板周緣部放置於基板放置部32時引導基板外周端面，進行該基板之定位的夾盤本體之引導部34b的引導面36b具有：第一引導面52a，其係在基板放置部32上放置保持基板時，引導以本身重量下降之基板的外周端面；及第二引導面52b，其係使夾盤爪在向內側關閉之方向轉動，在與基板放置部之間夾持基板周緣部時，引導接觸於該夾盤爪而移動之基板的外周端面。
简体摘要：【课题】本发明可尽量抑制将内周面作为引导基板之外周端面，进行基板定位之引导面的引导部高度，而在由引导部之引导面构成的开口(前口)内确实收纳基板。【解决手段】将基板周缘部放置于基板放置部32时引导基板外周端面，进行该基板之定位的夹盘本体之引导部34b的引导面36b具有：第一引导面52a，其系在基板放置部32上放置保持基板时，引导以本身重量下降之基板的外周端面；及第二引导面52b，其系使夹盘爪在向内侧关闭之方向转动，在与基板放置部之间夹持基板周缘部时，引导接触于该夹盘爪而移动之基板的外周端面。

9. 发明专利

TW200918231A 包含有用於以可釋開方式將工件定位於托板之夾頭的夾持治具 CLAMPING FIXTURE INCLUDING A CHUCK FOR RELEASABLY LOCATING A WORKPIECE PALLET 审中-公开
简体标题：包含有用于以可释开方式将工件定位于托板之夹头的夹持治具 CLAMPING FIXTURE INCLUDING A CHUCK FOR RELEASABLY LOCATING A WORKPIECE PALLET
公开(公告)号：TW200918231A
公开(公告)日：2009-05-01
申请号：TW097136862
申请日：2008-09-25
申请人：艾洛瓦公司 EROWA AG
发明人：布諾珊德麥爾 BRUNO SANDMEIER
IPC分类号： B23Q , B23B
CPC分类号： B23Q1/0072 , B23Q17/006 , Y10T279/1208 , Y10T279/1274 , Y10T279/1291 , Y10T279/17743 , Y10T279/19 , Y10T279/1986 , Y10T279/21
摘要：本發明提供一種夾持治具,特徵在於具有一夾頭(1),該夾頭具有一栓鎖機構(2),用以將一工件托板(33)以可釋放開的方式進行定位。栓鎖機構(2)包含多個夾持部件(5),在栓鎖位置中被設計成可與一連接至工件托板的夾栓(30)接合。每一個夾持部件(5)具有一個給進鑽孔(8,8a),在相對的夾持部件(5)被正確栓鎖及/或釋放時,其一端會被關閉。除此之外,或是另一種方式是,每一個夾持部件(5)會搭配一個啓動部件(10),其具有一給進鑽孔(12),在相對的夾持部件(5)被正確栓鎖及/或釋放時,一端會被關閉。夾持部件(5)的給進鑽孔(8,8a,12)及啓動部件(10)分別可經由一共同連接導管連接至一壓縮空氣源。此外,至少含有一個偵測器用以偵測在連接導管中之氣流。藉由此偵測器,可以偵測出栓鎖部件(5)是否正確的被釋放或鎖住。
简体摘要：本发明提供一种夹持治具,特征在于具有一夹头(1),该夹头具有一栓锁机构(2),用以将一工件托板(33)以可释放开的方式进行定位。栓锁机构(2)包含多个夹持部件(5),在栓锁位置中被设计成可与一连接至工件托板的夹栓(30)接合。每一个夹持部件(5)具有一个给进钻孔(8,8a),在相对的夹持部件(5)被正确栓锁及/或释放时,其一端会被关闭。除此之外,或是另一种方式是,每一个夹持部件(5)会搭配一个启动部件(10),其具有一给进钻孔(12),在相对的夹持部件(5)被正确栓锁及/或释放时,一端会被关闭。夹持部件(5)的给进钻孔(8,8a,12)及启动部件(10)分别可经由一共同连接导管连接至一压缩空气源。此外,至少含有一个侦测器用以侦测在连接导管中之气流。借由此侦测器,可以侦测出栓锁部件(5)是否正确的被释放或锁住。

10. 发明专利

TW200702085A 夾鉗裝置及其底爪與頂爪 CLAMPING DEVICE, BASE JAW AND TOP JAW THEREFORE 失效
简体标题：夹钳设备及其底爪与顶爪 CLAMPING DEVICE, BASE JAW AND TOP JAW THEREFORE
公开(公告)号：TW200702085A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW095113082
申请日：2006-04-12
申请人：佛卡特德國股份有限公司 FORKARDT DEUTSCHLAND GMBH
发明人：西德布蘭德特迪特瑪 HILDEBRANDT, DIETMAR , 史托森伯格漢斯 STOLZENBERG, HANS
IPC分类号： B23B
CPC分类号： B23B31/16279 , Y10S279/901 , Y10T279/19 , Y10T279/1973 , Y10T279/1986 , Y10T279/1993 , Y10T483/171
摘要：一種夾鉗裝置(2)之底爪(6)與頂爪(12),其可互相插合,且各具楔形嚙合面(28,30),該嚙合面限制兩爪(6,12)之插合深度。楔形角的角度至少為85�,但最大為140�,故可防止嚙合面(28,30)夾緊,但可在所有方向將頂爪(12)保持在底爪(6)上。
简体摘要：一种夹钳设备(2)之底爪(6)与顶爪(12),其可互相插合,且各具楔形啮合面(28,30),该啮合面限制两爪(6,12)之插合深度。楔形角的角度至少为85�,但最大为140�,故可防止啮合面(28,30)夹紧,但可在所有方向将顶爪(12)保持在底爪(6)上。

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