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1. 发明专利

TW467790B 自動化加工裝置中工件偵測用之方法與裝置有权
简体标题：自动化加工设备中工件侦测用之方法与设备
公开(公告)号：TW467790B
公开(公告)日：2001-12-11
申请号：TW089105350
申请日：2000-03-24
申请人：印芬龍科技股份有限公司
发明人：史坦曼布瑞德 , 漢茲奇歐夫
IPC分类号： B23Q , G01V , B24B
CPC分类号： B23Q17/22 , B23Q17/006 , B25J9/1694
摘要：本發明提供一種方法與裝置以辨識在自動化加工裝置中工件的存在。以前熟知的辨識裝置不能在所有的條件下,在工件的存在與不存在之間作出明確的區別。它因此提供一種裝置,其由一超音波發射器;一超音波接收器與一偵測裝置(控制器)所構成。此偵測,是否一工件是在加工裝置的夾具中被握住,是經由以超音波檢查此夾具,接收此反射的超音波,以及根據所反射的超音波的偵測而實施。此方法是使用於晶圓的拋光機器中特別有利,在那裡此拋光布本身在聲音的反射能力中,明顯地與待拋光的晶圓不同。
第1a圖
简体摘要：本发明提供一种方法与设备以辨识在自动化加工设备中工件的存在。以前熟知的辨识设备不能在所有的条件下,在工件的存在与不存在之间作出明确的区别。它因此提供一种设备,其由一超音波发射器;一超音波接收器与一侦测设备(控制器)所构成。此侦测,是否一工件是在加工设备的夹具中被握住,是经由以超音波检查此夹具,接收此反射的超音波,以及根据所反射的超音波的侦测而实施。此方法是使用于晶圆的抛光机器中特别有利,在那里此抛光布本身在声音的反射能力中,明显地与待抛光的晶圆不同。第1a图

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