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1. 发明专利

TW201803669A 線材管理系統、線鋸及切割方法审中-公开
简体标题：线材管理系统、线锯及切割方法
公开(公告)号：TW201803669A
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106112513
申请日：2013-12-04
申请人：梅耶博格股份有限公司 , MEYER BURGER AG
发明人：漢根布格史蒂芬 , HUGGENBERGER, STEFAN , 海尼格克里斯多福 , HEINIGER, CHRISTOPH
IPC分类号： B23D57/00
CPC分类号： B23D57/0007 , B23D57/0053 , B28D5/045
摘要：本發明係有關於一種供線鋸所用的線材管理系統，其具有經引導通過一切割區域的一切割線材，該線材管理系統包含一用於供給切割線材至該線鋸之切割區域的線材供給單元及用於自該線鋸之切割區域接收切割線材的一線材接收單元，其中該線材供給單元及該線材接收單元之至少之一者包含：在部分重疊繞組中用於承載該切割線材的至少一可轉動貯存捲軸，用於在繞組中暫時地接收該切割線材的至少一可轉動儲存捲軸，其中該儲存捲軸之該可轉動軸係與該貯存捲軸的轉動軸相一致，一線材引導構件其當線材捲繞在該儲存捲軸上時用於引導該切割線材，以致在該儲存捲軸上的該線材繞組不會彼此部分重疊及/或與在該貯存捲軸上的繞組比較位在該儲存捲軸上的繞組具有一較低的密度。
简体摘要：本发明系有关于一种供线锯所用的线材管理系统，其具有经引导通过一切割区域的一切割线材，该线材管理系统包含一用于供给切割线材至该线锯之切割区域的线材供给单元及用于自该线锯之切割区域接收切割线材的一线材接收单元，其中该线材供给单元及该线材接收单元之至少之一者包含：在部分重叠绕组中用于承载该切割线材的至少一可转动贮存卷轴，用于在绕组中暂时地接收该切割线材的至少一可转动存储卷轴，其中该存储卷轴之该可转动轴系与该贮存卷轴的转动轴相一致，一线材引导构件其当线材卷绕在该存储卷轴上时用于引导该切割线材，以致在该存储卷轴上的该线材绕组不会彼此部分重叠及/或与在该贮存卷轴上的绕组比较位在该存储卷轴上的绕组具有一较低的密度。

2. 发明专利

TW201240758A 線鋸 WIRE SAW 审中-公开
简体标题：线锯 WIRE SAW
公开(公告)号：TW201240758A
公开(公告)日：2012-10-16
申请号：TW101112698
申请日：2012-04-11
申请人：小松NTC股份有限公司
发明人：松田晶寬 , 長井俊樹
IPC分类号： B23D , B26D
CPC分类号： B24B27/0633 , B23D57/0053 , B23D57/0061 , B24B27/0683
摘要：一種線鋸，在一對纏線軸(22A、22B)與加工用輥(23A、23B)之間的線行走路徑上分別具有第1～第6導輥(24A～29A、24B～29B)。第4導輥(27A、27B)之導引溝(31)係具有使線(21)被限制在導引溝(31)之寬度方向上移動的形狀。第5導輥(28A、28B)之導引溝(32)係具有使線(21)被容許在導引溝(32)之寬度方向上移動的形狀。第6導輥(29A、29B)之導引溝(31)係具有使線(21)在導引溝(31)之寬度方向上移動的形狀。第5導輥(28A、28B)在各線行走路徑上係配置於第4導輥(27A、27B)與第6導輥(29A、29B)之間。
简体摘要：一种线锯，在一对缠线轴(22A、22B)与加工用辊(23A、23B)之间的线行走路径上分别具有第1～第6导辊(24A～29A、24B～29B)。第4导辊(27A、27B)之导引沟(31)系具有使线(21)被限制在导引沟(31)之宽度方向上移动的形状。第5导辊(28A、28B)之导引沟(32)系具有使线(21)被容许在导引沟(32)之宽度方向上移动的形状。第6导辊(29A、29B)之导引沟(31)系具有使线(21)在导引沟(31)之宽度方向上移动的形状。第5导辊(28A、28B)在各线行走路径上系配置于第4导辊(27A、27B)与第6导辊(29A、29B)之间。

3. 发明专利

TWI353905B 半導體晶圓之製造方法 MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFERS 有权
简体标题：半导体晶圆之制造方法 MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFERS
公开(公告)号：TWI353905B
公开(公告)日：2011-12-11
申请号：TW095114670
申请日：2006-04-25
申请人：小松NTC股份有限公司 , 迪斯科股份有限公司
发明人：宮田健章 , 原田晴司 , 長澤圭一
IPC分类号： B24B , B28D , H01L
CPC分类号： B28D5/045 , B23D57/0053
摘要：為了藉由執行切割作業以便在切割處理程序中不會在晶圓表面上產生長周期波紋，且藉由在拋光處理期間完全地移除遺留在被切割晶圓表面上之短周期波紋，而省去磨光處理過程或雙圓盤研磨處理過程，提供一種製造方法，包含：一切割處理過程，藉由以每分鐘3至8次之恆定循環往復移動一鋼線鋸的鋼線，以切割半導體晶圓工件；一研磨處理過程，藉由一側接一側地以研磨輪研磨被切割晶圓的二側；以及，一拋光處理過程，藉由其中的研磨粒為固定的固定研磨粒拋光布，及不含研磨粒的磨料，執行在被研磨晶圓之二側上的化學機械拋光。
简体摘要：为了借由运行切割作业以便在切割处理进程中不会在晶圆表面上产生长周期波纹，且借由在抛光处理期间完全地移除遗留在被切割晶圆表面上之短周期波纹，而省去磨光处理过程或双圆盘研磨处理过程，提供一种制造方法，包含：一切割处理过程，借由以每分钟3至8次之恒定循环往复移动一钢线锯的钢线，以切割半导体晶圆工件；一研磨处理过程，借由一侧接一侧地以研磨轮研磨被切割晶圆的二侧；以及，一抛光处理过程，借由其中的研磨粒为固定的固定研磨粒抛光布，及不含研磨粒的磨料，运行在被研磨晶圆之二侧上的化学机械抛光。

4. 发明专利

TW201134571A 絲線處理單元、絲線切割裝置及其操作方法 WIRE HANDLING UNIT, WIRE SAW DEVICE AND METHOD FOR OPERATING SAME 审中-公开
简体标题：丝线处理单元、丝线切割设备及其操作方法 WIRE HANDLING UNIT, WIRE SAW DEVICE AND METHOD FOR OPERATING SAME
公开(公告)号：TW201134571A
公开(公告)日：2011-10-16
申请号：TW099131670
申请日：2010-09-17
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：庫斯堤爾斐布立斯 , 羅姆巴德蒂巴菲勒斯費德瑞克 , 墨凱吉蘭彌 , 若圖恩杜丹尼爾 , 路易克斯路克 , 范迪米爾瑪希斯彼得 , 費列羅羅伯特 , 波列特尼可拉斯
IPC分类号： B21F
CPC分类号： B23D57/0053 , B28D5/0076 , B28D5/045
摘要：一種絲線管理單元具有一主框架部分(110)與一絲線處理部(200)，該絲線處理部包含：一捲筒軸，其適於承載一捲筒(212)，該捲筒(212)提供該絲線(10)朝向該絲線網；一第一滑輪(220)，其適於接收來自該捲筒之該絲線且再引導該絲線，該第一滑輪係可旋轉地裝設到一滑輪承載單元(224)而繞著一第一滑輪軸線(222)旋轉，該滑輪承載單元可沿著一滑輪運動軌道縱向地移動；及一第二滑輪(230)，其適於接收來自該第一滑輪(220)之該絲線且再引導該絲線。該第二滑輪係可旋轉地裝設到該主框架部分(100)而繞著一第二滑輪軸線(232)旋轉。該第一滑輪(220)與該第二滑輪(230)係被安排成使得，在操作期間，該絲線係由該第一滑輪再引導不大於120°之一第一再引導角度，且該絲線係由該第二滑輪再引導不小於60°之一第二再引導角度。
简体摘要：一种丝线管理单元具有一主框架部分(110)与一丝线处理部(200)，该丝线处理部包含：一卷筒轴，其适于承载一卷筒(212)，该卷筒(212)提供该丝线(10)朝向该丝线网；一第一滑轮(220)，其适于接收来自该卷筒之该丝线且再引导该丝线，该第一滑轮系可旋转地装设到一滑轮承载单元(224)而绕着一第一滑轮轴线(222)旋转，该滑轮承载单元可沿着一滑轮运动轨道纵向地移动；及一第二滑轮(230)，其适于接收来自该第一滑轮(220)之该丝线且再引导该丝线。该第二滑轮系可旋转地装设到该主框架部分(100)而绕着一第二滑轮轴线(232)旋转。该第一滑轮(220)与该第二滑轮(230)系被安排成使得，在操作期间，该丝线系由该第一滑轮再引导不大于120°之一第一再引导角度，且该丝线系由该第二滑轮再引导不小于60°之一第二再引导角度。

5. 发明专利

TW201130620A 用於操作線鋸裝置之方法 METHOD FOR OPERATING A WIRE SAW DEVICE 审中-公开
简体标题：用于操作线锯设备之方法 METHOD FOR OPERATING A WIRE SAW DEVICE
公开(公告)号：TW201130620A
公开(公告)日：2011-09-16
申请号：TW099131837
申请日：2010-09-20
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：庫斯堤爾斐布立斯 , 費列羅羅伯特 , 墨塔斯菲利普 , 伯聶特弗雷德里克 , 路易克斯路克 , 范迪米爾瑪希斯彼得
IPC分类号： B26D , B23D
CPC分类号： B23D57/0053 , B28D5/045
摘要：本發明描述一種操作一線鋸裝置的方法。該方法包含：一線材使用循環，該線材使用循環包含以下步驟：a)在一第一移動方向上將該線材加速至一第一移動速率，以及移動該線材一段至少50公尺的一第一距離；b)停止該線材的移動；c)在與該第一移動方向相反的一第二移動方向上將該線材加速至一第二移動速率，以及移動該線材一第二距離，其中該第一距離及該第二距離中之一者大於另一距離不超過20％；d)停止該線材的移動。該方法進一步包含重複該完整的線材使用循環直到符合該鋸切製程的目標。
简体摘要：本发明描述一种操作一线锯设备的方法。该方法包含：一线材使用循环，该线材使用循环包含以下步骤：a)在一第一移动方向上将该线材加速至一第一移动速率，以及移动该线材一段至少50公尺的一第一距离；b)停止该线材的移动；c)在与该第一移动方向相反的一第二移动方向上将该线材加速至一第二移动速率，以及移动该线材一第二距离，其中该第一距离及该第二距离中之一者大于另一距离不超过20％；d)停止该线材的移动。该方法进一步包含重复该完整的线材使用循环直到符合该锯切制程的目标。

6. 发明专利

TW200952060A 線鋸裝置及其操作方法 WIRE SAW DEVICE AND METHOD FOR OPERATING SAME 审中-公开
简体标题：线锯设备及其操作方法 WIRE SAW DEVICE AND METHOD FOR OPERATING SAME
公开(公告)号：TW200952060A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：TW098112231
申请日：2009-04-13
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：希尼伯格史提芬 , 奈許菲利普M , 索曼希卓克
IPC分类号： H01L , B26D
CPC分类号： B28D5/045 , B23D57/0023 , B23D57/0038 , B23D57/0053 , B28D5/0064 , B28D5/007 , B28D5/0076 , Y02P70/179 , Y10T83/0448
摘要：提供一用於鋸切半導體材料之線鋸裝置，該線鋸裝置包含：一線導引裝置(110)，其經調適以導引一線以形成至少一線網(200)，以鋸切該半導體材料；及至少一線管理單元(130)，其用於提供一線給該線導引裝置，其中該線導引裝置(110)及該至少一線管理單元(130)經調適以提供該至少一線網，從而提供12m 2 /h或更大的有效切削面積率。
简体摘要：提供一用于锯切半导体材料之线锯设备，该线锯设备包含：一线导引设备(110)，其经调适以导引一线以形成至少一线网(200)，以锯切该半导体材料；及至少一线管理单元(130)，其用于提供一线给该线导引设备，其中该线导引设备(110)及该至少一线管理单元(130)经调适以提供该至少一线网，从而提供12m 2 /h或更大的有效切削面积率。

7. 发明专利

TW200841988A 用於線鋸的線導輥 DRAHTFUHRUNGSROLLE FUR DRAHTSAGE 审中-公开
简体标题：用于线锯的线导辊 DRAHTFUHRUNGSROLLE FUR DRAHTSAGE
公开(公告)号：TW200841988A
公开(公告)日：2008-11-01
申请号：TW097114821
申请日：2008-04-23
申请人：世創電子材料公司 SILTRONIC AG
发明人：安東胡博 HUBER, ANTON , 英傑爾伯特奧爾 AUER, ENGELBERT , 曼福列得秀恩哈佛 SCHONHOFER,MANFRED , 赫穆特西侯佛 SEEHOFER, HELMUT , 彼得魏斯納 WIESNER, PETER
IPC分类号： B24B , B28D
CPC分类号： B23D57/0053 , B24B27/0633 , Y10T83/696
摘要：本發明係關於一線導輥,其係供一由一圓柱形工件同時切割多個晶圓之線鋸使用。該線導輥具有一厚度至少2毫米且至多7.5毫米的塗層,該塗層係由蕭氏A硬度至少60且至多99的材料組成,且該線導輥更包含多個導引鋸線的溝槽,各該溝槽具有一曲率半徑R為該鋸線直徑D的0.25倍至l.6倍的彎曲溝槽底部以及一孔徑角為60度至130度。此外,本發明更關於一使用一線鋸由圓柱形工件同時切割多個晶圓的方法,其中係使用該線導輥。
简体摘要：本发明系关于一线导辊,其系供一由一圆柱形工件同时切割多个晶圆之线锯使用。该线导辊具有一厚度至少2毫米且至多7.5毫米的涂层,该涂层系由萧氏A硬度至少60且至多99的材料组成,且该线导辊更包含多个导引锯线的沟槽,各该沟槽具有一曲率半径R为该锯线直径D的0.25倍至l.6倍的弯曲沟槽底部以及一孔径角为60度至130度。此外,本发明更关于一使用一线锯由圆柱形工件同时切割多个晶圆的方法,其中系使用该线导辊。

8. 发明专利

TWI583468B 線材管理系統、線鋸及切割方法有权
简体标题：线材管理系统、线锯及切割方法
公开(公告)号：TWI583468B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW102144396
申请日：2013-12-04
申请人：梅耶博格(瑞士)股份有限公司 , MEYER BURGER (SWITZERLAND) AG
发明人：漢根布格史蒂芬 , HUGGENBERGER, STEFAN , 海尼格克里斯多福 , HEINIGER, CHRISTOPH
IPC分类号： B23D57/00
CPC分类号： B23D57/0007 , B23D57/0053 , B28D5/045

9. 发明专利

TW201711816A 切割工作件的方法审中-公开
公开(公告)号：TW201711816A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105118871
申请日：2016-06-16
申请人：梅耶博格股份有限公司 , MEYER BURGER AG
发明人：柏洋費南多 , BOYON, FERNANDO , 艾舒巴契羅傑 , AESCHBACHER, ROGER , 法蘭奇喬治 , FRECH, GREGOR
IPC分类号： B26D1/553 , B23D61/18
CPC分类号： B23D57/0053 , B23D57/0023 , B23D63/00 , B28D5/045
摘要：本發明關於一種在線鋸(1)上切割工作件(30)的方法，該線鋸包括一切割線(3)，較佳地係以多圈繞行至少二線導引滾筒(14)，藉以形成一線網來切割該工作件(30)。
简体摘要：本发明关于一种在线锯(1)上切割工作件(30)的方法，该线锯包括一切割线(3)，较佳地系以多圈绕行至少二线导引滚筒(14)，借以形成一线网来切割该工作件(30)。

10. 发明专利

TWI556928B 切割塊狀材料之方法及用於切割塊材料之切割機械有权
简体标题：切割块状材料之方法及用于切割块材料之切割机械
公开(公告)号：TWI556928B
公开(公告)日：2016-11-11
申请号：TW100136393
申请日：2011-10-07
申请人：菲肯克菲爾兩合股份有限公司 , FECKEN-KIRFEL GMBH & CO. KG
发明人：提爾曼麥可 , TILLMANN, MICHAEL , 湯內斯哈穆特 , TOENNES, HELMUT , 溫葛特那路格 , WEINGAERTNER, LUDGER
IPC分类号： B26D3/20 , B26D1/547
CPC分类号： B26D5/086 , B23D51/12 , B23D51/16 , B23D57/0053 , B26D1/10 , B26D1/547 , B26D3/006 , B26D5/14 , Y10T83/04 , Y10T83/687 , Y10T83/7055

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