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1. 发明专利

TW431925B 鋸線組合、利用該鋸線組合的切割方法及系統失效
简体标题：锯线组合、利用该锯线组合的切割方法及系统
公开(公告)号：TW431925B
公开(公告)日：2001-05-01
申请号：TW088111629
申请日：1999-07-08
申请人：日立電線股份有限公司
发明人：大橋晴志郎 , 松操
IPC分类号： B23D
CPC分类号： B23D61/185 , B23D57/0053 , B23D57/0061 , B23D57/0069 , B28D5/045 , Y10T83/696
摘要：本發明提出一種切割系統，藉由該切割系統，使用每個內含於一鋸線組合的結合有磨粒的鋸線來切開待工作材料。該鋸線組合之製備係藉由將結合有磨粒的鋸線沿著長的帶狀底材的縱長方向以能使該等鋸線在垂直於前述縱長方向的方向上並排被放置的方式安排在帶狀底材上,並且透過黏著劑將這些結合有磨粒的鋸線以可釋放的方式暫時地結合在帶狀底材上。該切割系統包含用於在鋸線組合到達待工作材料之前將帶狀底材從鋸線組合釋放的機構;以及用於施加一張力到該鋸線組合及每個結合有磨粒的鋸線的機構。
简体摘要：本发明提出一种切割系统，借由该切割系统，使用每个内含于一锯线组合的结合有磨粒的锯线来切开待工作材料。该锯线组合之制备系借由将结合有磨粒的锯线沿着长的带状底材的纵长方向以能使该等锯线在垂直于前述纵长方向的方向上并排被放置的方式安排在带状底材上,并且透过黏着剂将这些结合有磨粒的锯线以可释放的方式暂时地结合在带状底材上。该切割系统包含用于在锯线组合到达待工作材料之前将带状底材从锯线组合释放的机构;以及用于施加一张力到该锯线组合及每个结合有磨粒的锯线的机构。

2. 发明专利

TW200841988A 用於線鋸的線導輥 DRAHTFUHRUNGSROLLE FUR DRAHTSAGE 审中-公开
简体标题：用于线锯的线导辊 DRAHTFUHRUNGSROLLE FUR DRAHTSAGE
公开(公告)号：TW200841988A
公开(公告)日：2008-11-01
申请号：TW097114821
申请日：2008-04-23
申请人：世創電子材料公司 SILTRONIC AG
发明人：安東胡博 HUBER, ANTON , 英傑爾伯特奧爾 AUER, ENGELBERT , 曼福列得秀恩哈佛 SCHONHOFER,MANFRED , 赫穆特西侯佛 SEEHOFER, HELMUT , 彼得魏斯納 WIESNER, PETER
IPC分类号： B24B , B28D
CPC分类号： B23D57/0053 , B24B27/0633 , Y10T83/696
摘要：本發明係關於一線導輥,其係供一由一圓柱形工件同時切割多個晶圓之線鋸使用。該線導輥具有一厚度至少2毫米且至多7.5毫米的塗層,該塗層係由蕭氏A硬度至少60且至多99的材料組成,且該線導輥更包含多個導引鋸線的溝槽,各該溝槽具有一曲率半徑R為該鋸線直徑D的0.25倍至l.6倍的彎曲溝槽底部以及一孔徑角為60度至130度。此外,本發明更關於一使用一線鋸由圓柱形工件同時切割多個晶圓的方法,其中係使用該線導輥。
简体摘要：本发明系关于一线导辊,其系供一由一圆柱形工件同时切割多个晶圆之线锯使用。该线导辊具有一厚度至少2毫米且至多7.5毫米的涂层,该涂层系由萧氏A硬度至少60且至多99的材料组成,且该线导辊更包含多个导引锯线的沟槽,各该沟槽具有一曲率半径R为该锯线直径D的0.25倍至l.6倍的弯曲沟槽底部以及一孔径角为60度至130度。此外,本发明更关于一使用一线锯由圆柱形工件同时切割多个晶圆的方法,其中系使用该线导辊。

3. 发明专利

TWI352642B 用於線鋸的線導輥及使用該線導輥以同時切割多個晶圓的方法 WIRE GUIDE ROLL FOR WIRE SAW AND METHOD FOR SIMULTANEOUSLY SLICING A MULTIPLICITY OF WAFERS USING THE SAME 有权
简体标题：用于线锯的线导辊及使用该线导辊以同时切割多个晶圆的方法 WIRE GUIDE ROLL FOR WIRE SAW AND METHOD FOR SIMULTANEOUSLY SLICING A MULTIPLICITY OF WAFERS USING THE SAME
公开(公告)号：TWI352642B
公开(公告)日：2011-11-21
申请号：TW097114821
申请日：2008-04-23
申请人：世創電子材料公司
发明人：安東胡博 , 英傑爾伯特奧爾 , 曼福列得秀恩哈佛 , 赫穆特西侯佛 , 彼得魏斯納
IPC分类号： B24B , B28D , H01L
CPC分类号： B23D57/0053 , B24B27/0633 , Y10T83/696
摘要：本發明係關於一線導輥，其係供一由一圓柱形工件同時切割多個晶圓之線鋸使用。該線導輥具有一厚度至少2毫米且至多7.5毫米的塗層，該塗層係由蕭氏A硬度至少60且至多99的材料組成，且該線導輥更包含多個導引鋸線的溝槽，各該溝槽具有一曲率半徑R為該鋸線直徑D的0.25倍至1.6倍的彎曲溝槽底部以及一孔徑角為60度至130度。此外，本發明更關於一使用一線鋸由圓柱形工件同時切割多個晶圓的方法，其中係使用該線導輥。
简体摘要：本发明系关于一线导辊，其系供一由一圆柱形工件同时切割多个晶圆之线锯使用。该线导辊具有一厚度至少2毫米且至多7.5毫米的涂层，该涂层系由萧氏A硬度至少60且至多99的材料组成，且该线导辊更包含多个导引锯线的沟槽，各该沟槽具有一曲率半径R为该锯线直径D的0.25倍至1.6倍的弯曲沟槽底部以及一孔径角为60度至130度。此外，本发明更关于一使用一线锯由圆柱形工件同时切割多个晶圆的方法，其中系使用该线导辊。

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