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    • 3. 发明专利
    • 產生供給水分裝置及產生水分用反應爐
    • 产生供给水分设备及产生水分用反应炉
    • TW553900B
    • 2003-09-21
    • TW089115809
    • 2000-08-05
    • 富士金股份有限公司大見忠弘
    • 大見忠弘池田信一皆見幸男川田幸司米華克典本井傳晃央平井暢森本明弘成相敏郎平尾圭志田口將暖中村修瑪儂哈魯拉魯 休雷司他
    • C01B
    • B01J3/006B01J7/00B01J12/007C01B5/00
    • 本發明之目的在於提供一種減壓型產生供給水分裝置,藉由將水分氣體減壓供給(例如數Torr)將水分產生用反應爐之內壓保持於較高,而可防止氫之自然引燃,具有安全性;本發明之目的又在提供一種產生水分用反應爐,藉由將產生水分反應爐高效率地冷卻,同在不增大反應爐之尺寸下,大幅增大產生水分量。
      為此,本發明之減壓型產生供給水分裝置,係由:自氫及氧以觸媒反應產生水分氣體之產生水分用反應爐,以及設於該產生水分用反應爐的下游側之減壓機構所構成;其特徵在於:藉由該減壓機構將水分氣體減壓供給至下游側,並將反應爐內之內壓保持於較高。
      又本發明之散熱式產生水分用反應爐,係由:組合入口側爐本體部件及出口側爐本體部件而形成內部空間之反應爐本體,密接於上述爐本體部件外壁面之散熱片基板,以及立設於該散熱片基板之多數個散熱用散熱片所構成,藉由上述散熱用散熱片,將產生之熱強制放射而令反應爐低溫化。又,將散熱用散熱片作防蝕鋁加工而增大熱放射率,使放射效率更為增大。
    • 本发明之目的在于提供一种减压型产生供给水分设备,借由将水分气体减压供给(例如数Torr)将水分产生用反应炉之内压保持于较高,而可防止氢之自然引燃,具有安全性;本发明之目的又在提供一种产生水分用反应炉,借由将产生水分反应炉高效率地冷却,同在不增大反应炉之尺寸下,大幅增大产生水分量。 为此,本发明之减压型产生供给水分设备,系由:自氢及氧以触媒反应产生水分气体之产生水分用反应炉,以及设于该产生水分用反应炉的下游侧之减压机构所构成;其特征在于:借由该减压机构将水分气体减压供给至下游侧,并将反应炉内之内压保持于较高。 又本发明之散热式产生水分用反应炉,系由:组合入口侧炉本体部件及出口侧炉本体部件而形成内部空间之反应炉本体,密接于上述炉本体部件外壁面之散热片基板,以及立设于该散热片基板之多数个散热用散热片所构成,借由上述散热用散热片,将产生之热强制放射而令反应炉低温化。又,将散热用散热片作防蚀铝加工而增大热放射率,使放射效率更为增大。
    • 5. 发明专利
    • 自試劑之固體源輸送該試劑之系統
    • 自试剂之固体源输送该试剂之系统
    • TW201406453A
    • 2014-02-16
    • TW102140367
    • 2006-03-15
    • 尖端科技材料股份有限公司ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
    • 馬根斯基保羅MARGANSKI, PAUL J.戴茨詹姆士DIETZ, JAMES I.斯威尼約瑟夫SWEENEY, JOSEPH D.
    • B01J16/00
    • B01J7/00B01J2219/00094B01J2219/00141B01J2219/00146C23C14/48C23C14/564C23C16/4405C23C16/4481
    • 一種自試劑之固體源輸送該試劑之系統(10),包含:一結構(16、22、24),被設置成保持固體來源材料(30)由該結構之至少一部分所限制,用來藉固體源材料之揮發而從該固體源材料加熱且產生蒸氣;一熱源(82),被設置來加熱用於此種揮發的固體源材料;以及,一蒸氣配送總成(52、54),被設置來從該系統排放該蒸氣。也說明一種高傳導閥(1510),其適合用作為試劑貯存與配送容器之配送控制閥,而該容器例如為含有於低壓配送之半導體製造試劑的容器。高傳導閥包括一閥本體(1512),其中入口通道與出口通道實質上彼此垂直,該等通道之內部極端處係與閥室(1536)連通,而該閥室含有可介於全開位置與全關位置間移動之可選擇性定位閥元件。經由使用此種高傳導閥,可達成約為2.7至2.9之閥流量係數(CV)值,允許閥即使於極低壓力程序例如低於20托耳壓力下,仍可達成優異的配送操作。
    • 一种自试剂之固体源输送该试剂之系统(10),包含:一结构(16、22、24),被设置成保持固体来源材料(30)由该结构之至少一部分所限制,用来藉固体源材料之挥发而从该固体源材料加热且产生蒸气;一热源(82),被设置来加热用于此种挥发的固体源材料;以及,一蒸气配送总成(52、54),被设置来从该系统排放该蒸气。也说明一种高传导阀(1510),其适合用作为试剂贮存与配送容器之配送控制阀,而该容器例如为含有于低压配送之半导体制造试剂的容器。高传导阀包括一阀本体(1512),其中入口信道与出口信道实质上彼此垂直,该等信道之内部极端处系与阀室(1536)连通,而该阀室含有可介于全开位置与全关位置间移动之可选择性定位阀组件。经由使用此种高传导阀,可达成约为2.7至2.9之阀流量系数(CV)值,允许阀即使于极低压力进程例如低于20托耳压力下,仍可达成优异的配送操作。
    • 7. 发明专利
    • 自試劑之固體源輸送該試劑之系統 SYSTEM FOR DELIVERY OF REAGENTS FROM SOLID SOURCES THEREOF
    • 自试剂之固体源输送该试剂之系统 SYSTEM FOR DELIVERY OF REAGENTS FROM SOLID SOURCES THEREOF
    • TW200700141A
    • 2007-01-01
    • TW095108712
    • 2006-03-15
    • 尖端科技材料公司 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
    • 保羅 馬根斯基 PAUL J. MARGANSKI詹姆士 戴茨 JAMES A. DIETZ約瑟夫 斯威尼 JOSEPH D. SWEENEY
    • B01J
    • B01J7/00B01J2219/00094B01J2219/00141B01J2219/00146C23C14/48C23C14/564C23C16/4405C23C16/4481
    • 一種自試劑之固體源輸送該試劑之系統(10),包含:一結構(16、22、24),被設置成保持固體來源材料(30)由該結構之至少一部分所限制,用來藉固體源材料之揮發而從該固體源材料加熱且產生蒸氣;一熱源(82),被設置來加熱用於此種揮發的固體源材料;以及,一蒸氣配送總成(52、54),被設置來從該系統排放該蒸氣。也說明一種高傳導閥(1510),其適合用作為試劑貯存與配送容器之配送控制閥,而該容器例如為含有於低壓配送之半導體製造試劑的容器。高傳導閥包括一閥本體(1512),其中入口通道與出口通道實質上彼此垂直,該等通道之內部極端處係與閥室(1536)連通,而該閥室含有可介於全開位置與全關位置間移動之可選擇性定位閥元件。經由使用此種高傳導閥,可達成約為2.7至2.9之閥流量係數(Cv)値,允許閥即使於極低壓力程序例如低於20托耳壓力下,仍可達成優異的配送操作。
    • 一种自试剂之固体源输送该试剂之系统(10),包含:一结构(16、22、24),被设置成保持固体来源材料(30)由该结构之至少一部分所限制,用来藉固体源材料之挥发而从该固体源材料加热且产生蒸气;一热源(82),被设置来加热用于此种挥发的固体源材料;以及,一蒸气配送总成(52、54),被设置来从该系统排放该蒸气。也说明一种高传导阀(1510),其适合用作为试剂贮存与配送容器之配送控制阀,而该容器例如为含有于低压配送之半导体制造试剂的容器。高传导阀包括一阀本体(1512),其中入口信道与出口信道实质上彼此垂直,该等信道之内部极端处系与阀室(1536)连通,而该阀室含有可介于全开位置与全关位置间移动之可选择性定位阀组件。经由使用此种高传导阀,可达成约为2.7至2.9之阀流量系数(Cv)値,允许阀即使于极低压力进程例如低于20托耳压力下,仍可达成优异的配送操作。