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    • 4. 发明专利
    • 製作粒子的裝置與方法
    • 制作粒子的设备与方法
    • TW201343540A
    • 2013-11-01
    • TW102114975
    • 2013-04-26
    • 反應金屬粒子公司REACTIVE METAL PARTICLES AS
    • 魯德 艾利克RUUD, EIRIK
    • B82Y40/00B82Y30/00
    • B22F9/12B01J4/002B01J12/02B01J19/123B01J19/26B01J2219/00123B01J2219/00128B01J2219/0013B01J2219/00137B01J2219/00139B01J2219/00141B01J2219/0286B01J2219/029B22F1/0011B22F1/0018B22F9/28B22F9/30B22F2201/02B22F2304/05B22F2304/10B22F2998/10C01B13/20C01B21/06C01G9/03C01P2004/04C22C18/00
    • 本發明提供一種製作粒子的裝置與方法相關,該裝置與方法能依據惰性氣體蒸發而製作多種固態粒子,其中該方法包含形成一種連續氣態供料流,該連續氣態供料流含有該材料的飽和蒸汽,而以一種供料噴流形式經由一個入口將該連續氣態供料流注入一個反應室的自由空間區域並使該供料噴流從該入口噴出,該方法並且能形成至少一種冷卻流體噴流,使該至少一種冷卻流體噴流注入該反應室中,其中該供料流可在壓力高於反應室壓力、且壓力值介於0.01×105至20×105 Pa之間時通過一個注射噴嘴而形成該供料噴流,該注射噴嘴的功用是該反應室的入口,且該注射噴嘴之噴嘴開口含有一個矩形截面,該矩形截面高度為Afeed而寬度為Bfeed,其中該寬高比Bfeed/Afeed≧2:1,該高度Afeed的範圍介於0.1至40 mm,該冷卻流體可通過一個注射噴嘴而形成該至少一種冷卻流體噴流的其中一者,該注射噴嘴能導引該冷卻流體噴流,使該冷卻流體噴流能以一個介於30°至150°的交叉角而與該供料噴流交會,且其中該至少一種冷卻流體噴流能在該噴嘴開口外的一個預定距離處單獨或加乘混合全部的該供料噴流氣體,而達到注入該供料噴流。
    • 本发明提供一种制作粒子的设备与方法相关,该设备与方法能依据惰性气体蒸发而制作多种固态粒子,其中该方法包含形成一种连续气态供料流,该连续气态供料流含有该材料的饱和蒸汽,而以一种供料喷流形式经由一个入口将该连续气态供料流注入一个反应室的自由空间区域并使该供料喷流从该入口喷出,该方法并且能形成至少一种冷却流体喷流,使该至少一种冷却流体喷流注入该反应室中,其中该供料流可在压力高于反应室压力、且压力值介于0.01×105至20×105 Pa之间时通过一个注射喷嘴而形成该供料喷流,该注射喷嘴的功用是该反应室的入口,且该注射喷嘴之喷嘴开口含有一个矩形截面,该矩形截面高度为Afeed而宽度为Bfeed,其中该宽高比Bfeed/Afeed≧2:1,该高度Afeed的范围介于0.1至40 mm,该冷却流体可通过一个注射喷嘴而形成该至少一种冷却流体喷流的其中一者,该注射喷嘴能导引该冷却流体喷流,使该冷却流体喷流能以一个介于30°至150°的交叉角而与该供料喷流交会,且其中该至少一种冷却流体喷流能在该喷嘴开口外的一个预定距离处单独或加乘混合全部的该供料喷流气体,而达到注入该供料喷流。
    • 5. 发明专利
    • 自試劑之固體源輸送該試劑之系統
    • 自试剂之固体源输送该试剂之系统
    • TW201406453A
    • 2014-02-16
    • TW102140367
    • 2006-03-15
    • 尖端科技材料股份有限公司ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
    • 馬根斯基保羅MARGANSKI, PAUL J.戴茨詹姆士DIETZ, JAMES I.斯威尼約瑟夫SWEENEY, JOSEPH D.
    • B01J16/00
    • B01J7/00B01J2219/00094B01J2219/00141B01J2219/00146C23C14/48C23C14/564C23C16/4405C23C16/4481
    • 一種自試劑之固體源輸送該試劑之系統(10),包含:一結構(16、22、24),被設置成保持固體來源材料(30)由該結構之至少一部分所限制,用來藉固體源材料之揮發而從該固體源材料加熱且產生蒸氣;一熱源(82),被設置來加熱用於此種揮發的固體源材料;以及,一蒸氣配送總成(52、54),被設置來從該系統排放該蒸氣。也說明一種高傳導閥(1510),其適合用作為試劑貯存與配送容器之配送控制閥,而該容器例如為含有於低壓配送之半導體製造試劑的容器。高傳導閥包括一閥本體(1512),其中入口通道與出口通道實質上彼此垂直,該等通道之內部極端處係與閥室(1536)連通,而該閥室含有可介於全開位置與全關位置間移動之可選擇性定位閥元件。經由使用此種高傳導閥,可達成約為2.7至2.9之閥流量係數(CV)值,允許閥即使於極低壓力程序例如低於20托耳壓力下,仍可達成優異的配送操作。
    • 一种自试剂之固体源输送该试剂之系统(10),包含:一结构(16、22、24),被设置成保持固体来源材料(30)由该结构之至少一部分所限制,用来藉固体源材料之挥发而从该固体源材料加热且产生蒸气;一热源(82),被设置来加热用于此种挥发的固体源材料;以及,一蒸气配送总成(52、54),被设置来从该系统排放该蒸气。也说明一种高传导阀(1510),其适合用作为试剂贮存与配送容器之配送控制阀,而该容器例如为含有于低压配送之半导体制造试剂的容器。高传导阀包括一阀本体(1512),其中入口信道与出口信道实质上彼此垂直,该等信道之内部极端处系与阀室(1536)连通,而该阀室含有可介于全开位置与全关位置间移动之可选择性定位阀组件。经由使用此种高传导阀,可达成约为2.7至2.9之阀流量系数(CV)值,允许阀即使于极低压力进程例如低于20托耳压力下,仍可达成优异的配送操作。
    • 6. 发明专利
    • 自試劑之固體源輸送該試劑之系統 SYSTEM FOR DELIVERY OF REAGENTS FROM SOLID SOURCES THEREOF
    • 自试剂之固体源输送该试剂之系统 SYSTEM FOR DELIVERY OF REAGENTS FROM SOLID SOURCES THEREOF
    • TW200700141A
    • 2007-01-01
    • TW095108712
    • 2006-03-15
    • 尖端科技材料公司 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
    • 保羅 馬根斯基 PAUL J. MARGANSKI詹姆士 戴茨 JAMES A. DIETZ約瑟夫 斯威尼 JOSEPH D. SWEENEY
    • B01J
    • B01J7/00B01J2219/00094B01J2219/00141B01J2219/00146C23C14/48C23C14/564C23C16/4405C23C16/4481
    • 一種自試劑之固體源輸送該試劑之系統(10),包含:一結構(16、22、24),被設置成保持固體來源材料(30)由該結構之至少一部分所限制,用來藉固體源材料之揮發而從該固體源材料加熱且產生蒸氣;一熱源(82),被設置來加熱用於此種揮發的固體源材料;以及,一蒸氣配送總成(52、54),被設置來從該系統排放該蒸氣。也說明一種高傳導閥(1510),其適合用作為試劑貯存與配送容器之配送控制閥,而該容器例如為含有於低壓配送之半導體製造試劑的容器。高傳導閥包括一閥本體(1512),其中入口通道與出口通道實質上彼此垂直,該等通道之內部極端處係與閥室(1536)連通,而該閥室含有可介於全開位置與全關位置間移動之可選擇性定位閥元件。經由使用此種高傳導閥,可達成約為2.7至2.9之閥流量係數(Cv)値,允許閥即使於極低壓力程序例如低於20托耳壓力下,仍可達成優異的配送操作。
    • 一种自试剂之固体源输送该试剂之系统(10),包含:一结构(16、22、24),被设置成保持固体来源材料(30)由该结构之至少一部分所限制,用来藉固体源材料之挥发而从该固体源材料加热且产生蒸气;一热源(82),被设置来加热用于此种挥发的固体源材料;以及,一蒸气配送总成(52、54),被设置来从该系统排放该蒸气。也说明一种高传导阀(1510),其适合用作为试剂贮存与配送容器之配送控制阀,而该容器例如为含有于低压配送之半导体制造试剂的容器。高传导阀包括一阀本体(1512),其中入口信道与出口信道实质上彼此垂直,该等信道之内部极端处系与阀室(1536)连通,而该阀室含有可介于全开位置与全关位置间移动之可选择性定位阀组件。经由使用此种高传导阀,可达成约为2.7至2.9之阀流量系数(Cv)値,允许阀即使于极低压力进程例如低于20托耳压力下,仍可达成优异的配送操作。