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1. 发明专利

TW200523496A 包含攜帶型乾式滌氣系統及/或過壓控制配置之氣體利用設施 GAS-USING FACILITY INCLUDING PORTABLE DRY SCRUBBER SYSTEM AND/OR OVER-PRESSURE CONTROL ARRANGEMENT 审中-公开
简体标题：包含便携式干式涤气系统及/或过压控制配置之气体利用设施 GAS-USING FACILITY INCLUDING PORTABLE DRY SCRUBBER SYSTEM AND/OR OVER-PRESSURE CONTROL ARRANGEMENT
公开(公告)号：TW200523496A
公开(公告)日：2005-07-16
申请号：TW093131935
申请日：2004-10-21
申请人：尖端科技材料公司 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人：保羅馬根斯基 PAUL J. MARGANSKI , 約翰斯威尼 JOSEPH D. SWEENEY , 西奧多施里夫 THEODORE A. SHREVE , 卡爾奧蘭多 W. KARL OLANDER
IPC分类号： F17C
CPC分类号： H01L21/67046 , B01D53/0415 , B01D2251/30 , B01D2251/40 , B01D2251/60 , B01D2253/1124 , B01D2257/93 , B01D2258/0216 , B01D2259/40009 , B01D2259/40084 , B01D2259/402 , B01D2259/4525 , B01D2259/4541
摘要：一種氣體利用設施，其係包括一攜帶型乾式滌氣系統及／或過壓控制配置。該攜帶型乾式滌氣系統係為一單元模組形式，提供在製程設施中之運輸且快速建立、拆下及再運用。在過壓情形期間，例如在半導體廠火災時一壓縮氣體鋼瓶過熱狀態，該過壓控制配置係提供來自一壓縮氣體儲存容器之過壓氣體排放的能力，以避免當使用習知壓力釋放裝置時所發生之全部容器內容物的大量釋放。
简体摘要：一种气体利用设施，其系包括一便携式干式涤气系统及／或过压控制配置。该便携式干式涤气系统系为一单元模块形式，提供在制程设施中之运输且快速创建、拆下及再运用。在过压情形期间，例如在半导体厂火灾时一压缩气体钢瓶过热状态，该过压控制配置系提供来自一压缩气体存储容器之过压气体排放的能力，以避免当使用习知压力释放设备时所发生之全部容器内容物的大量释放。

2. 发明专利

TW200700141A 自試劑之固體源輸送該試劑之系統 SYSTEM FOR DELIVERY OF REAGENTS FROM SOLID SOURCES THEREOF 审中-公开
简体标题：自试剂之固体源输送该试剂之系统 SYSTEM FOR DELIVERY OF REAGENTS FROM SOLID SOURCES THEREOF
公开(公告)号：TW200700141A
公开(公告)日：2007-01-01
申请号：TW095108712
申请日：2006-03-15
申请人：尖端科技材料公司 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人：保羅馬根斯基 PAUL J. MARGANSKI , 詹姆士戴茨 JAMES A. DIETZ , 約瑟夫斯威尼 JOSEPH D. SWEENEY
IPC分类号： B01J
CPC分类号： B01J7/00 , B01J2219/00094 , B01J2219/00141 , B01J2219/00146 , C23C14/48 , C23C14/564 , C23C16/4405 , C23C16/4481
摘要：一種自試劑之固體源輸送該試劑之系統(10),包含:一結構(16、22、24),被設置成保持固體來源材料(30)由該結構之至少一部分所限制,用來藉固體源材料之揮發而從該固體源材料加熱且產生蒸氣;一熱源(82),被設置來加熱用於此種揮發的固體源材料;以及,一蒸氣配送總成(52、54),被設置來從該系統排放該蒸氣。也說明一種高傳導閥(1510),其適合用作為試劑貯存與配送容器之配送控制閥,而該容器例如為含有於低壓配送之半導體製造試劑的容器。高傳導閥包括一閥本體(1512),其中入口通道與出口通道實質上彼此垂直,該等通道之內部極端處係與閥室(1536)連通,而該閥室含有可介於全開位置與全關位置間移動之可選擇性定位閥元件。經由使用此種高傳導閥,可達成約為2.7至2.9之閥流量係數(Cv)値,允許閥即使於極低壓力程序例如低於20托耳壓力下,仍可達成優異的配送操作。
简体摘要：一种自试剂之固体源输送该试剂之系统(10),包含:一结构(16、22、24),被设置成保持固体来源材料(30)由该结构之至少一部分所限制,用来藉固体源材料之挥发而从该固体源材料加热且产生蒸气;一热源(82),被设置来加热用于此种挥发的固体源材料;以及,一蒸气配送总成(52、54),被设置来从该系统排放该蒸气。也说明一种高传导阀(1510),其适合用作为试剂贮存与配送容器之配送控制阀,而该容器例如为含有于低压配送之半导体制造试剂的容器。高传导阀包括一阀本体(1512),其中入口信道与出口信道实质上彼此垂直,该等信道之内部极端处系与阀室(1536)连通,而该阀室含有可介于全开位置与全关位置间移动之可选择性定位阀组件。经由使用此种高传导阀,可达成约为2.7至2.9之阀流量系数(Cv)値,允许阀即使于极低压力进程例如低于20托耳压力下,仍可达成优异的配送操作。

3. 发明专利

TW200525109A 具比色方式檢驗密封性之流體儲存及配送容器暨其製造方法 FLUID STORAGE AND DISPENSING VESSELS HAVING COLORIMETRICALLY VERIFIABLE LEAK-TIGHTNESS, AND METHOD OF MAKING SAME 审中-公开
简体标题：具比色方式检验密封性之流体存储及配送容器暨其制造方法 FLUID STORAGE AND DISPENSING VESSELS HAVING COLORIMETRICALLY VERIFIABLE LEAK-TIGHTNESS, AND METHOD OF MAKING SAME
公开(公告)号：TW200525109A
公开(公告)日：2005-08-01
申请号：TW093133435
申请日：2004-11-03
申请人：尖端科技材料公司 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人：保羅馬根斯基 PAUL J. MARGANSKI , 荷西亞諾 JOSE I. ARNO , 愛德華史特姆 EDWARD A. STURM , 克里斯堤薩烈塔 KRISTY L. ZALETA
IPC分类号： G01N , F17C
CPC分类号： G01N31/22 , B65D79/02 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391
摘要：本發明揭示一種具有與其結合之比色構件之化學儲存及配送容器，該比色構件當暴露於該容器所含氣體之洩漏時可有效改變顏色。該比色構件可由薄膜組成，例如具有收縮包覆特徵之薄膜，其包含或結合於當暴露於從該容器洩漏之流體時可進行顏色改變之比色劑。此收縮包覆薄膜可應用於該容器容易洩漏的部分，或整個容器，以使該薄膜可藉由視覺上可辨別的顏色改變而比色有效地指出洩漏事件的發生。
简体摘要：本发明揭示一种具有与其结合之比色构件之化学存储及配送容器，该比色构件当暴露于该容器所含气体之泄漏时可有效改变颜色。该比色构件可由薄膜组成，例如具有收缩包覆特征之薄膜，其包含或结合于当暴露于从该容器泄漏之流体时可进行颜色改变之比色剂。此收缩包覆薄膜可应用于该容器容易泄漏的部分，或整个容器，以使该薄膜可借由视觉上可辨别的颜色改变而比色有效地指出泄漏事件的发生。

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